省スペース・配管レス　水集積ユニット WXUシリーズ

豊富なバリエーションの水制御機器が省スペースにオールインワン 水集積ユニット WXUシリーズ INTEGRATED WATER UNIT 省スペース・配管レス フットプリント８０％レス（２流体制御タイプ） CC-1116 6

水集積ユニットWXUシリーズ WXU-H 1流体制御タイプ 水制御の新時代 ●冷却配管のサプライとリターンを1ユニットで行うことができます。 ●サプライ側とリターン側それぞれにバルブの搭載が可能です。 豊富なバリエーションの水制御機器が ●コックタイプバルブを採用することにより、ワンアクションで開閉操作が 　でき、目視での確認が容易です。 ●インブロック、バルブハウジングの軽量化により、取扱いが容易です。 省スペースにオールインワン WXU-HC 1流体制御タイプ 配管レスで ●WXU-Hタイプと同じサプライとリターンを1ユニットで行う1流体仕様 　コックバルブ形です。 フットプリント ●静電容量式電磁流量センサを搭載し、水質による検出不良のリスクを低減 します。 80％レス WXU-J 1流体制御タイプ ●冷却配管のサプライとリターンを1ユニットで行うことができます。 Compact ●サプライ側には、バルブとニードルが搭載可能であり、系統ごとに 　個別制御(on/off )が可能です。 ●ニードル搭載で流量の調整が容易です。 WXU-P ２流体制御タイプ ●サプライとリターンユニットを使用して、2種類の流体(水・空気等）を 　流すことができます。 ●スパッタリング装置等、冷却水と空気を持つ回路に適しています。 ●系統ごとに個別制御(通水/エアーパージ）が可能です。 ▶個別配管の手間を省く アプリケーション ▶配管の漏れを低減 液晶半導体 真空成膜装置 スポット溶接装置 鋳造 ▶設計・手配の工数を低減 システムイメージ 流体をユニット内で個別配管に分岐します。 1流体制御タイプ 2流体制御タイプ サプライユニット リターンユニット 冷 WXU-P/H WXU-HC WXU-P/J/H 却 冷 部 却 カスタム対応例 部 使い勝手に合わせたユニットが製作可能です。 ●別置き表示器対応 　〈センサー部〉 ●アナログ＋SW出力 　〈センサー部〉 ●分岐（WXU-P） 水 水 ●シリンダバルブ無し 水 水 エアー IN OUT ドレン 　（WXU-J） IN OUT IN チラー OUT チラー 継手付 マスキング 中間ブロック MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN

水集積ユニット　１流体制御タイプ WXU-H/HC Series ●接続口径：Rc3/8, Rc1/2, Rc1 ●流量範囲：0.5～32L/min 形番表示方法 ●カルマン渦式流量センサタイプ 全ての1連組立の機器構成が同 WXU-H 6 L 15 12 A0N0 じ場合には記号選択によりユ ニット全体を形番表示すること ができます。 機種形番 1 連数 3 接続口径 5 流量センサ 異なる機器構成の1連組立を （分岐ポート） 出力① 混成してユニットを組む場合 に は「マ ニ ホ ー ル ド 仕 様 書」 2 インブロック位置 4 流量センサ流量範囲 6 流量センサ出力② （24ページ）で構成を明記して ください。 1 連数 記号 内容 ２ ２連 ～ ～ 10 10連 2 インブロック位置 記号 L R W 内容 左側 右側 両側 配置 3 接続口径（分岐ポート） 4 流量センサ流量範囲 記号 内容 記号 内容 10 Rc3/8 04 0.5〜4.0L/min 15 Rc1/2 12 1.5〜12L/min 32 4.0〜32L/min 6 流量センサ出力② 内容 トランジスタ出力1点 不要 NPN NPN PNP PNP 5 流量センサ出力① a接点 b接点 a接点 b接点 記号 内容 無記号 N0 N1 P0 P1 A0 DC0〜5V ● ● ● ● ● A1 DC4〜20mA ● ● ● ● ● A2 DC1〜5V ● ● ● ● ● A3 DC0〜10V ● ● ● ● ● N0 NPNトランジスタ出力2点（a接点） ● N1 NPNトランジスタ出力2点（b接点） ● P0 PNPトランジスタ出力2点（a接点） ● P1 PNPトランジスタ出力2点（b接点） ● 1

WXU-H/HC Series 形番表示方法 形番表示方法 ●電磁流量センサタイプ 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（25ページ）で 構成を明記してください。 WXU-HC 6 L 10 150 N V C3 機種形番 1 連数 3 接続口径 5 スイッチ出力 7 ケーブル （分岐ポート） 2 インブロック位置 4 流量センサ 6 アナログ出力 流量範囲 1 連数 記号 内容 ２ ２連 ～ ～ 10 10連 2 インブロック位置 記号 L R W 内容 左側 右側 両側 配置 3 接続口径（分岐ポート） 4 流量センサ流量範囲 5 スイッチ出力 4 流量センサ流量範囲 記号 内容 記号 内容 記号 内容 150 600 150 0.5〜15L/min N NPNトランジスタ出力 10 Rc3/8 ● 600 2.0〜60L/min P PNPトランジスタ出力 15 Rc1/2 ● 6 アナログ出力 7 ケーブル 記号 内容 記号 内容 V DC1〜5V 無記号 なし A DC4〜20mA C3 ケーブル（M12・4芯・3m添付) L3 L形ケーブル（M12・4芯・3m添付) 2

WXU-H/HC Series <アプリケーション例> 共通仕様 項　目 WXU-H/HC （サプライ＋リターンユニット） 使用流体 水、温水 使用圧力 MPa 0〜0.7 耐圧（水圧にて） MPa 1.4 冷 流体温度 ℃ WXU-H：1〜70/WXU-HC：1〜85 却 部 周囲温度 ℃ 5〜50 雰囲気 腐食性ガス・爆発性ガスのない場所 流量調整範囲 ％ 0〜100（ 水にて）〈閉止機能付〉 冷 却 連数 2〜10連 部 取付姿勢 自在 シール材質 フッ素ゴム 流体 流体 接続口径 IN/OUTポート Rc1 分岐ポート Rc3/8またはRc1/2 冷却配管のサプライとリターンを １ユニットで行うことができます。 質量 各回路ごとに個別制御が可能です。 インブロック （kg） 0.67 なお、流量調整は、リターン側の エンドブロック （kg） 0.63 バルブで行ってください。 1連組立 （kg） 0.76 1連組立（WFC搭載） （kg） 1.00 流量特性 給排水区分 構　成 流量センサ Cv値 Kv値 注1 サプライ側（1連） － 3.00 2.60 WFK3004 0.35 0.30 WFK3012 1.05 0.91 リターン側（1連） WFK3032 1.80 1.56 WFC-150 2.10 1.82 注1：Kv値については、RJ-008「センサ・コントローラ」をご参照ください。 注2： 1連（各系統）およびユニット全体の流量確認を必ず行ってください。 WFC-600 2.30 2.00 （28ページの「流量特性表の見方について」をご参照ください。） ●1連 ●ユニット全体 100 1000 条件 ・サプライ＋リターンのみ 条件 ・サプライ＋リターンのみ 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 7連以上 WFC-600搭載時 6連 WFC-150搭載時 5連 WFK3032搭載時 流 流 量10 量100 (L/min) (L/min) WFK3012搭載時 4連 3連 WFK3004搭載時 2連 1 10 0.01 0.1 1 0.01 0.1 1 圧力損失(MPa) 圧力損失(MPa) 3

WXU-H/HC Series 内部構造図・材質 内部構造図・材質 ●カルマン渦式流量センサタイプ　WXU-H 1 2 3 開 4 閉 5 6 7 〈バルブは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 1 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 2 プレート SUS304 ステンレス 3 ノブ PBT ポリブチレンテレフタレート 4 スペーサ PPS ポリフェニレンサルファイド PPS ポリフェニレンサルファイド 5 コック FKM フッ素ゴム 6 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 7 流量センサ[WFK3000シリーズ] ●電磁流量センサタイプ　WXU-HC 1 2 3 開 4 開 5 6 7 8 〈バルブは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 1 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 2 プレート SUS304 ステンレス 3 ノブ PBT ポリブチレンテレフタレート 4 スペーサ PPS ポリフェニレンサルファイド PPS ポリフェニレンサルファイド 5 コック FFM フッ素ゴム 6 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 7 流量センサ[WFCシリーズ] 8 口金 CAC804またはC6931 黄銅 4

WXU-H/HC Series 外形寸法図 ●カルマン渦式流量センサタイプ　WXU-H 63 C D リターン側IN ノブ固定用ねじ 出荷時は、仮止め Rc1 OUT Rc1 A視 IN D 26.5 12 40 40 C 35 サプライ側OUT エンドブロック (40×n)+60 63 インブロック (n:連数) 100 4-M8深さ 10 6 L　6ページ参照 29 A視図 形　番 A B C D E WXU-H-※-※-10-※-※ 190 5 24 Rc3/8 − WXU-H-※-※-15-※-※ 200 10 29 Rc1/2 − WXU-HC-※-※-10-150-※※※ 218 5 24 Rc3/8 24 WXU-HC-※-※-15-600-※※※ 227 10 29 Rc1/2 28 5 2-17.5 2-90 45 35 B 125 A 41 37.5 87.5

WXU-H/HC Series 外形寸法図 外形寸法図 ●電磁流量センサタイプ　WXU-HC 120 E コネクタ D 63 M12ピッチ1 リターン側IN Rc1 OUT Rc1 IN D サプライ側OUT 26.5 12 C 35 63 (40×n)+60 100 (n:連数) 本体固定用ねじピッチ（L）について ねじピッチ（L）は、下記の通りです。 取付用の穴は、片側を長穴にする等、考慮をお願いいたします。 連数 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Ｌ： ねじピッチ 92 ＋1 −2 132 ＋1.5 −2.5 172 ＋1.5 −3 212 ＋2 −3.5 252 ＋2 −4 292 ＋2 −4.5 332 ＋2.5 −5 372 ＋2.5 −5.5 412 ＋3 −6 6 45 35 B 125 A 37.5 41 87.5

水集積ユニット　１流体制御タイプ WXU-J Series ●接続口径：Rc3/8, Rc1/2, Rc3/4, Rc1 ●流量範囲：0.5～32L/min 形番表示方法 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（26ページ）で 構成を明記してください。 WXU-J 6 L 25 B1 15 12 A0N0 機種形番 1 連数 3 接続口径 5 接続口径 7 流量センサ （IN/OUTポート） （分岐ポート） 出力① 2 インブロック位置 4 バルブ作動区分 6 流量センサ 8 流量センサ出力② 流量範囲 1 連数 2 インブロック位置 記号 内容 記号 L R W ２ ２連 内容 左側 右側 両側 ～ ～ 10 10連 配置 3 接続口径（IN/OUTポート） 4 バルブ作動区分 5 接続口径（分岐ポート） 記号 内容 記号 内容 記号 内容 20 Rc3/4 B1 NC（ノーマルクローズ）形（大流量仕様） 10 Rc3/8 25 Rc1 B2 NO（ノーマルオープン）形（大流量仕様） 15 Rc1/2 00 なし 6 流量センサ流量範囲 8 流量センサ出力② 記号 内容 内容 04 0.5〜4.0L/min トランジスタ出力1点 12 1.5〜12L/min 不要 NPN NPN PNP PNP 7 32 4.0〜32L/min 流量センサ出力① a接点 b接点 a接点 b接点 記号 内容 無記号 N0 N1 P0 P1 A0 DC0〜5V ● ● ● ● ● A1 DC4〜20mA ● ● ● ● ● A2 DC1〜5V ● ● ● ● ● A3 DC0〜10V ● ● ● ● ● N0 NPNトランジスタ出力2点（a接点） ● N1 NPNトランジスタ出力2点（b接点） ● P0 PNPトランジスタ出力2点（a接点） ● P1 PNPトランジスタ出力2点（b接点） ● 7

WXU-J Series 仕様 <アプリケーション例> 共通仕様 項　目 WXU-J （サプライ＋リターンユニット） 使用流体 水、温水 使用圧力 MPa 0〜0.4　　（注） 耐圧（水圧にて） MPa 1.0 冷 却 流体温度 ℃ 1〜70 部 周囲温度 ℃ 5〜50 雰囲気 腐食性ガス・爆発性ガスのない場所 冷 流量調整範囲 ％ 0〜100（ 水にて）〈閉止機能付〉 却 連数 2〜10連 部 取付姿勢 自在 シール材質 フッ素ゴム 流体 流体 IN/OUTポート Rc3/4またはRc1 接続口径 冷却配管のサプライとリターンを 分岐ポート Rc3/8またはRc1/2 １ユニットで行うことができます。 注：使用圧力以上でご使用の際はお問い合わせください。 各回路ごとに個別制御が可能です。 質量 接続口径 − インブロック （kg） 20A 1.30 25A 1.20 エンドブロック （kg） 1.05 サプライ側 シリンダバルブ − 1連組立 （kg） 大流量仕様 1.29 なし 1.05 流量特性 給排水区分 構　　成 シリンダバルブ 流量センサ Cv値 Kv値 注1 大流量仕様 － 1.34 1.16 サプライ側（1連） なし － 2.51 2.18 WFK3004 0.41 0.36 リターン側（1連） － WFK3012 1.18 1.02 WFK3032 2.82 2.45 注1：Kv値については、RJ-008「センサ・コントローラ」をご参照ください。 注2：1連（各系統）およびユニット全体の流量確認を必ず行ってください。 （28ページの「流量特性表の見方について」をご参照ください。） ●1連 ●ユニット全体 100 1000 条件 ・サプライ＋リターンのみ 条件 ・サプライ＋リターンのみ 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 （ 冷却部負荷なし） 7連以上 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 6連 WFK3032搭載時 5連 シリンダバルブ、 流 WFK3032搭載時 流 量 10 量100 (L/min) シリンダバルブ、 WFK3012搭載時 (L/min) WFK3012搭載時 4連 3連 WFK3004搭載時 2連 1 10 0.01 0.1 1 0.01 0.1 1 圧力損失(MPa) 圧力損失(MPa) 8

WXU-J Series 内部構造図・材質 ●1連組立 　・ バルブ付 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 〈ニードルは、全開状態にて出荷いたします。〉 　・ バルブなし 3 4 5 6 7 8 9 10 〈ニードルは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 品番 部品名称 材　　質 1 シリンダバルブ[GNABシリーズ] 6 ニードル SUS304 ステンレス 2 プレート SUS304 ステンレス 7 弁体 PP ポリプロピレン 3 ニードルブロック SUS304 ステンレス 8 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 4 ニードルストッパー SUS304 ステンレス 9 流量センサ[WFK3000シリーズ] 5 六角ナット SWCH 冷間圧造用炭素鋼 10 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 9

WXU-J Series 外形寸法図 外形寸法図 78 C 20 I リターン側IN H I OUT サプライ側OUT C A視 六角ナット H IN エンドブロック インブロック 出荷時は、仮止め φ1.8ワンタッチ継手 25 40 40 35 D (40×n)+60 E (n:連数) 117 4-M8深さ 10 17.5 L　下記参照 27.5 A視図 形　番 A B C D E F G H I WXU-J-※-※-20-※-10-※-※ 164 228 24 22 33 24 65 Rc3/4 Rc3/8 WXU-J-※-※-25-※-10-※-※ 164 228 24 23 35 20 70 Rc1 Rc3/8 WXU-J-※-※-20-※-15-※-※ 169 233 29 22 33 24 65 Rc3/4 Rc1/2 WXU-J-※-※-25-※-15-※-※ 169 233 29 23 35 20 70 Rc1 Rc1/2 本体固定用ねじピッチ（L）について ねじピッチ（L）は、下記の通りです。 取付用の穴は、片側を長穴にする等、考慮をお願いいたします。 連数 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Ｌ： ねじピッチ 95±1 135±1.5 175±1.5 215±2 255±2 295±2 335±2.5 375±2.5 415±3 10 30 2-9.5 2-75 62 93.5 A B F G

水集積ユニット　２流体制御タイプ WXU-P Series ●接続口径：Rc3/8, Rc1/2, Rc1 ●流量範囲：0.5～32L/min 形番表示方法 全ての1連組立の機器構成が同じ場合には記号選択によりユニット全体を形番表示することができます。 異なる機器構成の1連組立を混成してユニットを組む場合には「マニホールド仕様書」（27ページ）で 構成を明記してください。 WXU-P R 6 L S 1 1 N 15 12 A0N0 機種形番 1 給排水区分 3 インブロック 5 流体１用 7 流量調整機能 9 流量センサ 11 流 量センサ 位置 バルブ作動区分 流量範囲 出力② 2 連数 4 流体１用 6 流体2用 8 接続口径 10 流量センサ バルブサイズ バルブ作動区分 （分岐ポート） 出力① 1 給排水区分 2 連数 記号 内容 記号 内容 Ｓ サプライ側 ２ ２連 Ｒ リターン側 ～ ～ 6 6連 3 インブロック位置 記号 L R W 内容 左側 右側 両側 配置 4 流体１用バルブサイズ 5 流体１用バルブ作動区分 6 流体2用バルブ作動区分 記号 内容 記号 内容 記号 内容 Ｓ 標準仕様 １ ＮＣ（ノーマルクローズ）形 １ ＮＣ（ノーマルクローズ）形 Ｂ 大流量仕様 ２ ＮＯ（ノーマルオープン）形 ２ ＮＯ（ノーマルオープン）形 11

WXU-P Series 形番表示方法 7 流量調整機能 8 接続口径（分岐ポート） 9 流量センサ流量範囲 記号 内容 記号 内容 記号 内容 10 Rc3/8 04 0.5〜4.0L/min Ｎ 流量調整機能付 15 Rc1/2 12 1.5〜12L/min ０ なし 32 4.0〜32L/min 00 流量センサなし （❶給排水区分「S」の場合） 11 流量センサ出力② 内容 トランジスタ出力1点 不要 NPN NPN PNP PNP 10 流量センサ出力① a接点 b接点 a接点 b接点 記号 内容 無記号 N0 N1 P0 P1 A0 DC0〜5V ● ● ● ● ● A1 DC4〜20mA ● ● ● ● ● A2 DC1〜5V ● ● ● ● ● A3 DC0〜10V ● ● ● ● ● N0 NPNトランジスタ出力2点（a接点） ● N1 NPNトランジスタ出力2点（b接点） ● P0 PNPトランジスタ出力2点（a接点） ● P1 PNPトランジスタ出力2点（b接点） ● 000 流量センサなし （❶給水区分「S」の場合） ● 12

WXU-P Series <アプリケーション例> 共通仕様 （サプライユニット） （リターンユニット） 項　目 WXU-P 使用流体 水、温水、空気 使用圧力 MPa 0〜0.4　　（注） 冷 耐圧（水圧にて） MPa 1.0 却 部 流体温度 ℃ 1〜70 周囲温度 ℃ 5〜50 雰囲気 腐食性ガス・爆発性ガスのない場所 冷 却 流量調整範囲 ％ 15〜100（ 水にて） 部 連数 2〜6連 取付姿勢 自在 流体1 流体2 流体1 流体2 シール材質 フッ素ゴム 流体1ポート Rc1 ２種類の流体（水と空気等）を流すことができます。 接続口径 流体2ポート Rc1/2 冷却水とエアパージを持つ回路に適しています。 分岐ポート Rc3/8またはRc1/2 各回路ごとに個別制御が可能です。 注：使用圧力以上でご使用の際はお問い合わせください。 （2台のユニットを使用します） 質量 インブロック （kg） 2.60 エンドブロック （kg） 0.70 給排水区分 流体1用 流体2用 シリンダバルブ シリンダバルブ − 1連組立 標準仕様 標準仕様 0.87 サプライ側 （kg） 大流量仕様 標準仕様 0.90 標準仕様 標準仕様 1.14 リターン側 大流量仕様 標準仕様 1.17 流量特性 給排水区分 構　　成 流体1側 流体2側 シリンダバルブ 流量センサ Cv値 Kv値 注1 C［dm3/(s・bar)］ b 標準仕様 － 0.44 0.38 1.4 0.2 サプライ側（1連） 大流量仕様 － 1.28 1.11 3.0 0.1 WFK3004 0.33 0.29 標準仕様 1.4 0.2 WFK3012 0.52 0.45 リターン側（1連） WFK3012 0.94 0.82 大流量仕様 3.0 0.1 WFK3032 1.37 1.19 注1：Kv値については、RJ-008「センサ・コントローラ」をご参照ください。 注2：1連（各系統）およびユニット全体の流量確認を必ず行ってください。（28ページの「流量特性表の見方について」をご参照ください。） ●1連 ●ユニット全体 100 1000 条件 ・サプライ＋リターンのみ 条件 ・サプライ＋リターンのみ 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 （ 冷却部負荷なし） 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 　　 ・IN/OUTポート配管：25A 大流量仕様シリンダバルブ、 5連以上 WFK3032搭載時 100 大流量仕様シリンダバルブ、 流 WFK3012搭載時 流 量10 量 (L/min) (L/min) 4連 10 3連 標準仕様シリンダバルブ、 2連 WFK3012搭載時 標準仕様シリンダバルブ、 1 WFK3004搭載時 1 0.01 0.1 1 0.01 0.1 1 圧力損失(MPa) 圧力損失(MPa) 13

WXU-P Series 内部構造図・材質 内部構造図・材質 ●1連組立 6 7 1 2 9 3 10 4 5 8 〈ニードルは、全開状態にて出荷いたします。〉 品番 部品名称 材　　質 1 アタッチメント SCS13 ステンレス鋳物 2 流量センサ[WFK3000シリーズ] 3 ニードルストッパー SUS304 ステンレス 4 六角ナット SWCH 冷間圧造用炭素鋼 5 ニードル SUS304 ステンレス 6 流体1用シリンダバルブ[GNABシリーズ] 7 流体2用シリンダバルブ[GNABシリーズ] 8 プラグ SUS304 ステンレス 9 プレート SUS304 ステンレス 10 ベース PPS ポリフェニレンサルファイド 14

WXU-P Series 外形寸法図 129 ●WXU-P-S Rc1 φ1.8ワンタッチ継手 B 流体1 IN D OUT インブロック Rc1/2 エンドブロック 流体2 IN 15 40 40 45 18.5 (40×n)+60 105.5 (n:連数) 153 4-M8深さ 10 形　番 A B C D WXU-P-S-※-※-S※※-※-10-※-※ 59 24 97.5 Rc3/8 WXU-P-S-※-※-B※※-※-10-※-※ 59 24 103 Rc3/8 WXU-P-S-※-※-S※※-※-15-※-※ 64 29 97.5 Rc1/2 7.5 L　下記参照 10 WXU-P-S-※-※-B※※-※-15-※-※ 64 29 103 Rc1/2 129 ●WXU-P-R B D Rc1 IN 流体1 OUT φ1.8ワンタッチ継手 インブロック Rc1/2 流体2 OUT エンドブロック 15 40 40 45 18.5 (40×n)+60 六角ナット (n:連数) 出荷時は、仮止め 105.5 14 153 4-M8深さ 10 形　番 A B C D WXU-P-R-※-※-S※※-※-10-※-※ 114 24 97.5 Rc3/8 WXU-P-R-※-※-B※※-※-10-※-※ 114 24 103 Rc3/8 WXU-P-R-※-※-S※※-※-15-※-※ 119 29 97.5 Rc1/2 7.5 L　下記参照 10 WXU-P-R-※-※-B※※-※-15-※-※ 119 29 103 Rc1/2 本体固定用ねじピッチ（L）について ねじピッチ（L）は、右記の通りです。 連数 2 3 4 5 6 取付用の穴は、片側を長穴にする等、考慮をお願いいたします。 Ｌ：ねじピッチ 122.5±2 162.5±2 202.5±2.5 242.5±2.5 282.5±2.5 15 A 2-30 2-100 A 2-30 2-100 C C 30 30 29 29 97.5 97.5

WXU Series 搭載機器の仕様 搭　載　機　器　の　仕　様 バルブ部仕様 項　　目 ＧＮＡＢ−Ｘ□ 標準仕様 大流量仕様 弁座漏れ cm3/min 0.12以下（空気圧にて） オリフィス径 mm 7 10 Cv値 1.0 1.6 C［dm3/（s・bar）］ 3.8（ 注1） − b 0.3 − パイロットエア圧力 MPa NC（ノーマルクローズ）形：0.25〜0.7 NO（ノーマルオープン）形：（注2） 　　 パイロット接続 エアファイバ用φ1.8ワンタッチ継手（ その他の接続については別途お問い合わせください。） 注1　有効断面積Sと音速コンダクタンスCとの換算はS≒5.0×Cです。 注2　NO形のパイロットエア圧力については、下のグラフをご参照ください。 ●GNABシリーズNO形 0.4 パ イ 0.3 ロ ッ パイロットエア圧力設定範囲 ト エ 0.2 ア 圧 力 0.1 (MPa) 00 0.1 0.2 0.3 0.4 使用圧力(MPa) 流量センサ部仕様 ■WFK30※※S流量センサ部仕様（センサタイプ） ■WFK30※※M流量センサ部仕様（スイッチタイプ） ・流量センサ出力①：-A0, -A1, -A2, -A3 ・流量センサ出力①：-N0, -N1, -P0, -P1 ・流量センサ出力②：無記号 ・流量センサ出力②：無記号 項　　目 04 12 32 2 (WFK3004S) (WFK3012S) (WFK3032S) 項　　目 04 12 3 (WFK3004M) (WFK3012M) (WFK3032M) 流量範囲　L/min 0.5〜4.0 1.5〜12 4.0〜32 流量範囲　L/min 0.5〜4.0 1.5〜12 4.0〜32 精度 ±2.5％F.S. 精度 ±2.5％F.S.±1digit アナログ出力 -A0：DC0〜5V、-A1：DC4〜20mA、 表示 瞬時流量　2桁　LED表示 -A2：DC1〜5V、-A3：DC0〜10V 2点トランジスタ出力（NPN/PNP選択） 供給電圧 DC12〜24V±10％（MAX80mA） 出力 スイッチ出力 MAX.DC50mA -A3はDC15〜24V 内部降下電圧：（NPN）2.0V以下（, PNP）2.5V以下 供給電圧 DC12〜24V±10%（MAX80mA） ■WFK30※※C流量センサ部仕様（センサ・スイッチタイプ） ・流量センサ出力①：-A0, -A1, -A2, -A3 ・流量センサ出力②：N0, N1, P0, P1 項　　目 04 12 32 (WFK3004C) (WFK3012C) (WFK3032C) 流量範囲　L/min 0.5〜4.0 1.5〜12 4.0〜32 精度 ±2.5％F.S.±1digit 表示 瞬時流量　2桁　LED表示 アナログ出力 -A0：DC0〜5V、-A1：DC4〜20mA、 出力 -A2：DC1〜5V、-A3：DC0〜10V 1点トランジスタ出力（NPN/PNP選択） スイッチ出力 MAX.DC50mA 内部降下電圧：（NPN）2.0V以下（, PNP）2.5V以下 供給電圧 DC12〜24V±10%（MAX80mA） 16

WXU Series 流量センサ配線方法 ・配線を行う際には、使用上の注意事項を必ずご参照ください。 ・ケーブルは4芯キャブタイヤケーブル芯線0.2 mm2を使用しています。 ・オプション センサタイプ（アナログ出力） スイッチタイプ（スイッチ出力形式） -A0；（0-5［V］） -N0；（NPN a 接点、2点） -A1；（4-20［mA］） -N1；（NPN b 接点、2点） -A2；（1-5［V］） -P0；（PNP a 接点、2点） -A3；（0-10［V］） -P1；（PNP b 接点、2点） ※センサ・スイッチタイプのアラーム出力は1点となります。 ● WFK3※※※S（センサタイプ電圧出力仕様：-A0/-A1/-A2/-A3） ケーブル(3m) ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ： DC12〜24V±10% (オプションA3はDC15〜24V±10％) ANO(橙) 主 ・・・アナログ出力 ：流量に比例した電圧を出力 回 路 NC/ANO2(黒) ・・・標準：ＮＣ GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V ● WFK3※※※S(センサタイプ電圧出力仕様：-A1) ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% ANO+(橙) ＋ 主 ・・・4-20mA入力装置に接続 回 受信器 路 ANO-(黒) GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V 注：上位入力回路（受信器）に流量センサを2台以上接続する場合は、信号が干渉しないように接続してください。 注：センサタイプ(A1：電流出力タイプ)は配線方法が2種類ありますので、製品の表示をよく確認して配線してください。 ● WFK3※※※M（スイッチタイプNPN出力仕様：-N0/-N1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% ALARM2(橙) 主 ・・・スイッチ2(OUT2)出力 ：MAX DC30V･50mA 回 路 ALARM1(黒) ・・・スイッチ1(OUT1)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V ● WFK3※※※Ｍ（スイッチタイプPNP出力仕様：-P0/-P1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% ALARM2(橙) 主 ・・・スイッチ2(OUT2)出力 ：MAX 50mA 回 路 ALARM1(黒) ・・・スイッチ1(OUT1)出力 ：MAX 50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V 17

WXU Series 搭載機器の仕様 ● WFK3※※※Ｃ（センサタイプ電圧出力仕様：-A0/-A2/-A3，スイッチタイプNPN出力仕様：N0/N1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ： DC12〜24V±10% （オプションA3はDC15〜24V±10%） ANO(橙) 主 ・・・アナログ出力 ：流量に比例した電圧を出力 回 路 ALARM(黒) ・・・スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V ● WFK3※※※Ｃ（センサタイプ電流出力仕様：-A1，スイッチタイプNPM出力仕様：N0,N1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% ANO(橙) ＋ 主 ・・・4-20mA入力装置に接続 回 受信器 路 ALARM(黒) ・・・ スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V ● WFK3※※※Ｃ（センサタイプ電圧出力仕様：-A0/-A2/-A3，スイッチタイプPNP出力仕様：P0,P1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ： DC12〜24V±10% （オプションA3はDC15〜24V±10%） ANO(橙) 主 ・・・アナログ出力 ：流量に比例した電圧を出力 回 路 ALARM(黒) ・・・スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V ● WFK3※※※Ｃ（センサタイプ電流出力仕様：-A1，スイッチタイプPNP出力仕様：P0,P1） ＋Ｖ(茶) ・・・直流電源プラス[＋]に接続 ：DC12〜24V±10% 主 ANO(橙) ＋ ・・・4-20mA入力装置に接続 回 受信器 ALARM(黒) 路 ・・・ スイッチ(OUT)出力 ：MAX DC30V･50mA GND(青) ・・・直流電源マイナス[−]に接続 ：DC 0V 18