差動排気系質量ガス分析計 Qulee with YTP-H Series

プロセスガスモニターで”大気圧下の分析” をしてみませんか？ 概 要 特 徴 差動排気系キット(DeskTop YTP) ・大気圧下における各種環境測定が 付きで大気圧下での測定を可能にした リアルタイムで可能 アルバックのプロセスガスモニター。 ・掃引ポンプの搭載によりレスポンス良 世界的な課題ともなっている環境分析 く測定が可能 や排ガス分析をリアルタイムに測定可 ・表示部一体型の設計でPCレスでも 能です。 測定可能 ・簡単操作、One Click機能搭載 用 途 ・DeskTop YTPを採用したコンパク ト設計 大気圧仕様 ・タッチパネルの採用により現況も一目 ・脱炭素関連分析 確認可能、真空計の専用表示機も ・各種環境測定 不要 ・触媒反応分析 ・低騒音：運転音が43dB(A)以下 ・排ガス分析 の低音設計 ・各種研究開発用途向け分析 ・Ethernet対応でソフトウエアが標準 搭載/Qulee QCS 真空仕様 （Windows.10/11対応） ・真空装置のプロセスモニタリングから 残留ガス分析まで1台で対応可能

大気圧において自動車とバイクの 排ガス分析のData比較 Before Baking 100 燃料の種類や触媒の有無などの条 10-1 件を変更して自動車とバイクの排 自動車 10-2 m/z=2 ガスを測定したときのData。 m/z=14 10-3 m/z=16 キャピラリー ユニット m/z=18 大気 CO2やNOxといった温室効果ガス 10-4 m/z=28 ガス輸送ポンプ 6L/min m/z=32 m/z=40 ストップバルブ を検出。 10-5 m/z=44 電離真空計 Total Prassure このように各プロセスの排ガス分析 10-6 ガス分析計Qulee ターボ分子ポンプ をすることでCO2などの現状把握が 10-7 500 600 700 800 900 1000 1100 ロータリーポンプ 出来ます。 バイク Time (sec) After Baking ◼最適なProcess条件 スパッタリング装置においてプロセ ス条件が異なった際のData比較 m/z=2 m/z=14 m/z=16 m/z=18 真空仕様を使用すれば、もちろん各種真 m/z=28 m/z=32 空装置のプロセス管理なども可能です。 m/z=40 m/z=44 Total Prassure 例えば、スパッタリングプロセスにおいて、 大気リークの常時監視は最重要ポイント のひとつ。 大気成分の窒素(N2)や酸素(O2)の混 入は、最終製品への窒化や酸化による ◼ガスラインに微小リーク(N2)シート抵抗の増大や反射率・結晶性の低 がm/z=2 下を招きます。 真空計での圧力監 mあ/z=1っ4 たProcess条件 m/z=16 視だけでは見逃してしまう可能性がありま m/z=18 す。 m/z=28 m/z=32 m/z=36 m/z=40 m/z=44 Total Prassure Time (sec) 安心の実績 m/z=2 ULVACのプロセスガスモニタは、製造/販売で50年以上の実績m/z=14 mと/z=1裏6 付けがあります m/z=18 m/z=28 m/z=32 全世界 Quleeシリーズ m/z=36 mQ/zu=4le0 e2 10,000台以上の 10,000台以上 m全/z=機44種 販売実績 販売の リTニotュal ーPraアssルure 大ヒット商品 パワーアップ Time (sec) NEW!! Qulee CGM2-101 Qulee with YTP-H 大気圧仕様 株式会社アルバック お問い合わせ先 コンポーネント事業本部 営業部 050—1720ー5136 URL https://www.ulvac.co.jp PN-QM01-033-01J Partial Pressure (Pa) Partial Pressure (Pa) Pressure (Pa)