走査電子顕微鏡 JSM-IT510

Scientific / Metrology Instruments 走査電子顕微鏡 JSM-IT510

100 μ m Ti-6Al-4Vと呼ばれる合金粉末は、 金属3Dプリンター用の素材として利用され、 粒径と形状の管理が重要となります。 1 JSM-IT510

50 μ m 10 μ m 試料：チタン合金粉末（Ti-6Al-4V）　加速電圧：20 kV　信号：二次電子 右の写真は、 3Dプリンター（日本電子製 JAM-5200EBM）で造形した チタン合金製ガスタービンの模型です。 JSM-IT510 2

必要なデータを、いつだってシンプルに。 NEW Simple SEM ルーティンワークは、おまかせ 試料交換ナビ Zeromag 試料を入れて、迷わず観察 光学像※1を拡大すれば、SEM像 観察 分析 データ管理 Live Analysis※2 SMILE VIEW T M Lab 観察中も常に元素分析 データを一元管理 ※ 1 光学像撮影には SNS (オプション) が必要です。 ※ 2 A (Analysis)、LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。 3 JSM-IT510

必要なデータを、いつだってシンプルに。 JSM-IT510 4

試料を入れて、迷わず観察 試料交換ナビ 観察 安全・簡単！ 試料交換ナビ 1 試料交換ナビに従って試料を挿入 2 真空排気時間を利用して観察準備 試料高さ測定スケール 広領域も簡単視野探し SNSLS※2 200 mmφ 試料の全面撮影が 可能になります。 NEW ステージナビゲーションシステム （SNS）※1 100 mm 以上 試料：マスク 200 mm 5 JSM-IT510 80 mm 以上 200 mm

3 自動的に観察開始 真空排気完了後、目的視野でフォーカスと明るさが調整された状態です。 チャンバー内を把握できる機能 チャンバースコープ（CS）※3 真横から試料位置を確認できます。 リアルタイムで確認できるので、 傾斜時も安心です。 20°傾斜時 ※1 ステージナビゲーションシステム (SNS) はオプションになります。 ※2 SNS Large Sample（SNSLS) は別途オプションになります。SNS と併用できます。 ※3 チャンバースコープ (CS) はオプションになります。 JSM-IT510 6

ルーティンワークは、おまかせ 観察 従来は、観察作業を全てマニュアルで行っていました。 SEMは研究開発だけでなく、品質保証や製造現場で欠かせないツールになっています。 そのような現場では、同じ観察作業を繰り返し行う必要があり、工程の効率化が求められてきました。 従来の観察作業 1 条件設定 2 観察視野選択 3 指定倍率設定 4 画像調整 5 撮影 SEMの観察作業を 6 観察視野選択 もっと効率よく 7 指定倍率設定 8 画像調整 進められないかな？ 9 撮影 10 観察視野選択 11 指定倍率設定 12 画像調整 13 撮影 作業終了 7 JSM-IT510

低倍率で視野を探して 観察視野選択 倍率：×50 500 μm 指定倍率設定 倍率：×1,000 10 μm 画像調整 ルーティン ワーク 試料：電子部品　加速電圧：15 kV　倍率：×1,000　信号：反射電子 10 μm 撮影 JSM-IT510 8

NEW 撮影したい視野を選ぶだけ Simple SEM Simple SEMは日々のルーティンワークをサポートします。 Simple SEMなら Simple SEMを 使えば、 1 条件設定 効率化できるね！ 2 観察視野選択 視野移動 画像調整すべ て 3 おまかせ スタート 連続撮影開始！ ×1,000 作業終了 倍率：×1,000 10 μm JSM-IT510 9

撮影したい視野を選ぶだけ Simple SEM 観察したい ×50 視野を選択！ Simple SEMは日々のルーティンワークをサポートします。 視野移動 画像調整すべ て おまかせ 試料：電子部品　加速電圧：15 kV　倍率：×50　 500 μm 信号：反射電子 倍率：×1,000 10 μm 倍率：×1,000 10 μm JSM-IT510 JSM-IT510 10

光学像を拡大すれば、SEM像 Zeromag 観察 Zeromagは、ホルダーグラフィックや光学像※とSEM像が連動する機能です。 複数の試料をホルダーにセットした場合や特定箇所を観察する場合の視野探しが容易になります。 ×50 500 μm モンタージュ機能 複数視野を一枚の画像に自動で繋ぎ合わせます。 9.0 mm JSM-IT510 11 JSM-IT510 6.8 mm

光学像を拡大すれば、SEM像 ×5,000 Zeromag ×500 試料：アンモナイトの化石　加速電圧：7 kV　信号：反射電子 5 μm 50 μm 試料：アンモナイトの化石　加速電圧：15 kV　信号：反射電子　視野数：13×13　倍率：×150 2 mm ※光学像を表示するにはオプションのステージナビゲーションシステム（ SNS） が必要となります。 JSM-IT510 12

観察中も常に元素分析 Live Analysis※ 分析 Live Analysisは、常に特性X線スペクトルや元素マップを表示させる機能です。 観察しながら、目的の元素を探すことができます。 切り替え 観察視野から検出されたスペクトルと、自動定性の結果をライブ表示します。 簡単分析機能 3クリックで分析を開始できます。 C O Mg P Ca Fe 試料：アンモナイトの化石　加速電圧：15 kV　倍率：×1,000 10 μm 13 JSM-IT510

Live Map 切り替え 観察視野の元素マップをライブ表示します。 ※ A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。 JSM-IT510 14

データを一元管理 SMILE VIEW TM Lab データ管理 SMILE VIEWTM Labは光学像・SEM像・分析結果を一元管理できるJEOL独自のソフトウェアです。 オフライン版※を利用して、装置の稼働率を上げることもできます。 光学像・SEM像・分析結果が 全て紐づいて保存されます。 測定後に再解析も可能です。 マップ SEM像 光学像 スペクトル 3 すぐに報告書を作成 1 Word・PowerPointへ出力 レイアウトを選択 2 報告書テンプレートに 合わせてデータを展開 ※オフラインデータ解析ソフトウェア（オプション）が必要です。 15 JSM-IT510

スピーディーにアシスト オート機能 鮮明な像撮影にはフォーカス・スティグマ・ビームアライメントの調整が必要です。 これらの操作は全て自動で行えます。 500 nm 500 nm 試料：酸化チタン粒子　加速電圧：10 kV　倍率：×30,000　信号：二次電子 Auto! 信号深さ表示 信号深さ表示機能は、SEMのGUIに組み込まれ、測定して いる試料の分析深さ（目安）を即座に知ることができます。 元素分析の際に有効です。 メンテナンス ナビゲーションに従って、誰でも安全・簡単に フィラメント交換を行えます。 フィラメント交換ガイド画面 JSM-IT510 16

充実のオプション機能 NEW 低真空ハイブリッド二次電子検出器（LHSED）※ JSM-IT510は、新開発のLHSEDを搭載できます。二次電子が残留ガス分子に衝突した際に発生する 電子と励起光を検出することで、低真空でも凹凸情報が得られます。 低真空ハイブリッド二次電子検出器の動作原理 入射電子 光信号 光検出器 オリフィス G G 電 板 グ ッ ） G ＋ 極 （ リ ド G G G G ＋ 二次電子信号 ＋ G G G G 試料：石膏　加速電圧：7 kV　倍率：×10,000　信号：低真空二次電子 1 μm 電子 ＋ 陽イオン 二次電子 励起光 試料 G 残留ガス分子 鉱物や酸化物などでは、電子線照射によって発光するものがあります。このような試料に対して、LHSE PD（ Photon Detector）像は発光現象そのものを捉えることができるため、二次電子や反射電子とは異なるカソードルミネッセンス （CL）由来のコントラストが得られます。 LHSE PD像 反射電子像 試料：ジルコン　加速電圧：10 kV　倍率：×800 20 μm 20 μm ※オプションになります。LV (Low Vacuum)、LA (Low Vacuum & Analysis) が必要です。 17 JSM-IT510

NEW Live 3D※1 新開発の4分割反射電子検出器※1で3D画像をライブ表示します。 それにより、凹凸の判断が難しい 試料形状を視覚的に認識できます。 4分割反射電子検出器像 3D画像 試料：ねじ　加速電圧：15 kV　倍率：×100　信号：反射電子 100 μm SMILE VIEWTM Map※2 さらに 詳しく3D ステレオペアや4画像※1からの3D構築だけでなく、着色や画像編集等が行える多機能ソフトウェアです。 一度設定したレイアウトやワークフローを保存できるため、同じ解析作業をスムーズに行えます。 さらに、ISO4287などの表面解析における各種規格に対応しています。 4画像3D再構築 深さ分布ヒストグラム 表面性状（表面粗さ測定） ISO4287 断面曲線 ※ 1 LV（ Low Vacuum）、LA（ Low Vacuum & Analysis）に適用されます。 BU（ Base Unit）、A（ Analysis）は反射電子検出器（オプション）を装着すれば可能です。　 ※ 2 オプションになります。 JSM-IT510 18

1 2 3 4 粒子解析 対象となる粒子を自動認識し、解析や分析を行います。SEM像からサイズ、アスペクト比等の粒子 情報が得られ、各粒子に対してEDS分析※を行うことにより、元素情報が得られます。 これらの情報を基に、検出された粒子の形状や主成分に応じた統計処理が可能です。 粒子解析ソフトウェアの応用例 ● 自動車部品の清浄度検査 ● 銃発射残渣（GSR）分析 銃発射残渣（GSR）測定例 ● 鉄鋼中の介在物検査 ● アスベスト調査　他 SEM像の輝度差から粒子を検出します。各粒子に対して元素分析を行います。 分析領域 解析 50 μm 試料：銃発射残渣　加速電圧：15 kV　倍率：×300　信号：反射電子 分析 分析 測定結果の例 表⽰粒⼦数 5粒⼦ 形状情報 定量値 No. ラベルNo. 粒⼦画像 分類名 最⼤弦⻑ (⽔平) 最⼤弦⻑ (垂直) フェレ⻑ (⽔平) フェレ⻑ (垂直) ⾯積 [µm²] 周囲⻑ [µm] 円形度 円相当径 [µm] 絶対最⼤⻑ [µm] 幅 [µm] アスペクト⽐ 最⼤径 [µm] 最⼩径 [µm] 平均径 [µm] 最⼤径幅 [µm] C [Mass%] O [Mass%] F [Mass%] Na [Mass%] Al [Mass%] Si [Mass%] P [Mass%] S [Mass%] Cl [Mass%] K [Mass%] Ca [Mass%] Cr [Mass%] Mn [Mass%] Fe [Mass%] Ni [Mass%] Cu [Mass%] Zn [Mass%] As [Mass%] Mo [Mass%] Sb [Mass%] Ba [Mass%] Pb [Mass%] [µm] [µm] [µm] [µm] 1 Stub1-396-1 Sb,Ba 7.639 11.667 0.705 3.119 4.125 3.363 1.227 2.917 2.917 2.917 2.917 3.817 2.500 3.087 3.469 0.000 0.000 3.651 4.360 11.144 2.350 27.169 42.094 9.232 2 Stub1-64-4 Pb,Sb,Ba 85.590 58.333 0.316 10.439 14.796 10.383 1.425 9.583 14.167 10.000 14.583 13.750 8.072 10.418 8.333 0.000 0.000 1.524 7.206 13.910 40.050 37.310 個数割合 3 Stub1-74-1 Pb,Sb,Ba 7.465 12.500 0.600 3.083 3.584 Pb 3.190 1.124 2.917 3.333 2.917 3.333 3.508 2.506 3.071 3.007 0.000 0.000 7.136 1.184 13.534 3.754 43.917 14.809 15.666 Ba, Al Ba 4 Stub1-162-2 Pb,Sb,Ba 15.278 20.833 0.442 4.410 5.893 Pb, S4.b69, 9Ba 1.254 5.833 4.167 5.833 4.583 5.833 3.399 4.376 4.167 0.000 0.000 7.622 8.423 18.691 43.956 21.309 Pb, Ba Pb, Sb 5 Stub1-281-1 Pb,Sb,Ba 3.646 8.333 0.660 2.155 2.668 Sb, B2.a250 1.186 2.083 2.083 2.083 2.083 2.449 1.804 2.147 2.175 0.000 0.000 7.468 10.702 41.944 39.886 ※対象粒子のみ抽出しています。 6 Stub1-308-3 Pb,Sb,Ba 6.424 ※オプ10シ.83ョ3ンになります0.。68A8 (Analysis) / 2L.8A6 (0Low Vacuum3 .&58 A4nalysis) に適2用.84さ3れます。 1.261 2.917 2.500 2.917 2.500 3.413 2.500 2.834 2.581 0.000 0.000 4.049 11.186 1.822 7.208 29.300 12.512 33.923 19 JSM-IT510 7 Stub1-169-1 Pb,Sb 202.083 82.500 0.373 16.041 23.954 12.970 1.847 12.917 21.667 12.917 23.333 22.099 12.177 15.668 12.177 0.000 0.000 2.472 9.009 17.191 71.328 8 Stub1-270-1 Pb,Sb 2.257 8.333 0.408 1.695 2.946 1.301 2.265 1.667 1.250 2.083 2.083 2.765 1.069 1.636 1.179 0.000 0.000 14.865 15.370 69.765 9 Stub1-372-1 Pb,Sb 1.910 5.833 0.705 1.559 2.083 1.572 1.325 1.667 1.250 1.667 1.250 1.991 1.250 1.539 1.503 0.000 0.000 4.319 70.418 25.263 10 Stub1-392-1 Pb,Sb 2.604 7.500 0.582 1.821 2.357 1.890 1.247 2.083 1.667 2.083 1.667 2.124 1.353 1.785 1.699 0.000 0.000 13.189 30.019 56.792 11 Stub1-466-2 Pb,Sb 14.931 18.333 0.558 4.360 5.154 4.404 1.170 4.167 4.583 4.167 5.000 5.098 3.750 4.364 4.248 0.000 0.000 1.337 8.696 16.374 73.593 12 Stub1-189-1 Pb,Ba 1.736 7.500 0.388 1.487 2.244 1.629 1.377 1.667 1.667 2.083 1.667 2.178 1.002 1.476 1.089 0.000 0.000 21.102 10.543 6.863 2.648 4.661 26.549 27.633 13 Stub1-361-1 Pb,Ba 3051.215 685.000 0.082 62.329 119.464 47.595 2.510 39.167 115.000 39.167 117.917 112.155 30.588 57.230 33.137 0.000 0.000 1.275 6.977 46.967 44.781 14 Stub1-362-2 Pb,Ba 5.729 20.000 0.180 2.701 6.374 2.008 3.175 1.667 6.250 1.667 6.250 5.833 0.850 2.281 1.250 0.000 0.000 7.371 8.423 33.185 51.021 15 Stub1-498-1 Pb,Ba 2.951 8.333 0.534 1.939 2.534 1.667 1.521 2.500 1.667 2.500 1.667 2.500 1.667 1.916 1.667 0.000 0.000 1.136 13.093 7.030 8.114 2.328 3.932 28.276 36.092 16 Stub1-499-3 Pb,Ba 2.951 8.333 0.534 1.939 2.534 1.667 1.521 2.500 1.667 2.500 1.667 2.500 1.667 1.916 1.667 0.000 0.000 6.324 6.028 10.238 2.248 2.409 43.106 29.646 17 Stub1-5-1 Pb 12.326 16.667 0.558 3.962 4.751 3.750 1.267 3.750 4.167 4.167 4.167 4.510 3.399 3.945 3.750 0.000 0.000 1.251 98.749 18 Stub1-26-1 Pb 4.340 10.000 0.545 2.351 3.254 2.174 1.497 2.500 2.083 2.500 2.500 3.007 1.727 2.297 1.827 0.000 0.000 17.034 2.905 80.060 19 Stub1-32-1 Pb 2.604 8.333 0.471 1.821 3.173 1.339 2.370 2.500 1.250 2.917 1.250 3.157 1.002 1.704 1.046 0.000 0.000 1.140 7.516 13.620 3.171 74.554 20 Stub1-48-1 Pb 15.625 25.000 0.314 4.460 5.922 4.842 1.223 5.000 4.167 5.000 4.583 5.512 3.333 4.441 4.734 0.000 0.000 5.118 11.862 7.053 75.967 21 Stub1-49-1 Pb 15.104 24.167 0.325 4.385 5.667 4.718 1.201 4.583 4.167 4.583 4.583 5.508 3.333 4.438 3.508 0.000 0.000 3.568 9.678 5.715 81.039 22 Stub1-25-1 Ba,Al 22.049 31.667 0.276 5.298 6.783 5.994 1.132 6.250 5.833 6.250 5.833 6.514 3.536 5.345 3.748 0.000 0.000 25.579 2.512 2.822 69.087