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走査電子顕微鏡 JSM-IT710HR

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見えるから、追求したい。

自動測定機能を進化させた新型モデルです。シンプルな光学系・検出システムと、 SEM-EDSのワークフローを考えたユーザーインターフェイスにより、誰でも簡単に 高解像度の画像の取得と同時に元素分析ができるSEMを目指しました。

電子光学系・ハードウェアに関わるKey Technology
◆自動調整機能 - 最適なビーム径に自動で調整
◆ショットキー電界放出電子銃 - 大電流でもビーム径を維持
◆シンプルな光学設計- 優れた操作性と汎用性
◆ドローアウト試料交換 - 大きな試料への対応

◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

このカタログについて

ドキュメント名 走査電子顕微鏡 JSM-IT710HR
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 28.6Mb
登録カテゴリ
取り扱い企業 日本電子株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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Scientific / Metrology Instruments 走査電子顕微鏡 JSM-IT710HR
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10 μm 1 μm 試料名 左上：LED 上の Au ボンディングワイヤー 右上：配線パターン（ 傾斜） 左中：描画パターン（ 傾斜） 左下：絹繊維※ ※観察試料提供：東京農工大学 工学部生命工学科　朝倉 哲郎 先生 200 μm
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10 μm 試料名 左上：LED 上の Au ボンディングワイヤー 見えるから、追求したい。 右上：配線パターン（ 傾斜） 左中：描画パターン（ 傾斜） 左下：絹繊維※ ※観察試料提供：東京農工大学 工学部生命工学科　朝倉 哲郎 先生 JSM-IT710HR 2
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JSM-IT710HR のコンセプト 自動測定機能を進化させた新型モデルです。シンプルな光学系・検出システムと、 SEM-EDSのワークフローを考えたユーザーインターフェイスにより、誰でも簡単に 高解像度の画像の取得と同時に元素分析ができるSEMを目指しました。 3 JSM-IT710HR
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JSM-IT710HR のコンセプト Intelligent 電子光学系・ハードウェアに関わる 自動測定機能を進化させた新型モデルです。シンプルな光学系・検出システムと、 & High Resolution SEM-EDSのワークフローを考えたユーザーインターフェイスにより、誰でも簡単に Key Technology 高解像度の画像の取得と同時に元素分析ができるSEMを目指しました。 ▶ 自動調整機能 – 最適なビーム径に自動で調整 ▶ ショットキー電界放出電子銃 – 大電流でもビーム径を維持 ▶ シンプルな光学設計 – 優れた操作性と汎用性 ▶ ドローアウト試料交換 – 大きな試料への対応 観 特異点を探し出し、高分解能で観察 miru ▶ Zeromag – 光学像を利用した視野探し ▶ モンタージュ – 広域測定 ▶ Simple SEM – 自動測定シーケンス 測 元素情報から構造解析 hakaru ▶ EDS インテグレーション ▶ 元素分析 ▶ 粒子解析 / 相分析 ▶ 結晶方位解析 (EBSD) まとめ 光学像・SEM像・EDS分析結果を一元管理 matomeru ▶ SMILE VIEWTM Lab – データ管理・レポート自動作成機能 JSM-IT710HR 4
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観 すべての解析は "Zeromag" からスタート miru Zeromag の光学像を使うと視野探しのスループットが向上します。 光学像に SEM 像をリンクさせることができるため、 観察、分析、自動測定へ簡単につながります。 Zeromag による光学像 100 μm 試料：電子デバイス 自動観察・高倍率観察 詳細は p8、 p23 100 μm 試料：生物 低真空・形態観察 詳細は p19 ※観察試料提供：ヒノトントン ZOO（ 羽村市動物公園） 5 JSM-IT710HR
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標準機能※ ※光学像撮影には SNS （ オプション）が必要です。 すべての解析は "Zeromag" からスタート Zeromag の光学像を使うと視野探しのスループットが向上します。 光学像に SEM 像をリンクさせることができるため、 観察、分析、自動測定へ簡単につながります。 10 μm 試料：鉱物 自動分析・広領域分析 詳細は p11、 p12 Zeromag から 各種解析への流れを 以下の動画から 確認できます。 Zeromag 単体の 機能紹介です。 100 μm 試料：セラミックス 低真空・元素分析 詳細は p26 JSM-IT710HR 6
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観 自動観察機能 miru モンタージュ撮影 広範囲の SEM 像を取得する場合、複数の視野を自動で移動しながら連続撮影を行い、 最終的に 1 枚の画像に結像することで高画素数の広領域画像が得られます。 試料：プラスチック破面 20 μm 入射電圧：2 kV、二次電子像、 視野数：72 枚（12 × 6）、 単一観察倍率：×7,000 広領域画像から 気になった箇所を拡大 2 μm 2 μm 7 JSM-IT710HR
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標準機能 自動観察機能 Simple SEM NEW Simple SEM は複数の条件を一度に登録することで、自動測定が可能な機能です。 これにより、ルーティンワークの作業性が一気に向上します。 倍率、取り込み時間、 入射電圧などを設定 ① 条件をまとめて設定 ② 観察視野をまとめて選択 ×250 100 μm ③ 自動観察スタート ×1,000 ×8,000 ×20,000 10 μm 2 μm 1 μm JSM-IT710HR 8
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測 EDS インテグレーション hakaru 日本電子は SEM だけでなく EDS も自社で製造・販売しています。 その強みを活かし、SEM の観察画面と EDS 分析結果を一括で操作・管理できるため、 操作性とデータ管理が大幅に向上しています。 EDS 機能アイコン SEM 操作画面から EDS の 各解析を選択できます インスタント 分析 点分析 全面分析 エリア分析 全体マップ エリアマップ 線分析 斜め線分析 粒子内分析 多角形分析 楕円分析 自由線分析 EDS メイン画面 SEM から EDS メイン画面へ、 1 クリックで切り替え可能です 9 JSM-IT710HR
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標準機能※ ※ EDS を JEOL 製にした 場合の標準機能です。 EDS インテグレーション 日本電子は SEM だけでなく EDS も自社で製造・販売しています。 その強みを活かし、SEM の観察画面と EDS 分析結果を一括で操作・管理できるため、 操作性とデータ管理が大幅に向上しています。 スペクトルモニター ・常時 EDS スペクトルを表示します ・指定元素のアラート機能があります HR シリーズの Live Analysis 動画はこちら JSM-IT710HR 10
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標準機能※ ※ EDS を JEOL 製にした 場合の標準機能です。 測 EDS 自動元素分析機能 hakaru モンタージュマップ モンタージュは SEM 像だけでなく、EDS マップでも実現でき、 広領域で組成分布を把握するのに便利です。 ● 広領域観察・分析例 Zeromag の光学像 モンタージュ 視野指定 モンタージュによる SEM-EDS 測定結果 12 mm Al-K Si-K 2 mm Na-K K-K Ca-K 試料：石灰石の機械研磨面、視野数：99 枚（ 9 × 11）、入射電圧：12 kV、真空度：低真空（ 50 Pa）、単一観察倍率：×70 11 JSM-IT710HR 11 mm
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標準機能※ ※ EDS を JEOL 製にした 場合の標準機能です。 EDS 自動元素分析機能 EDS 予約分析機能 面 / 線 / 点分析等を一度に複数箇所で予約することで、自動測定が行えます。 ● 分析予約画面 ● 測定予約リスト JSM-IT710HR 12
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オプション 機能 測 EDS 解析ソフト hakaru 相分析機能 NEW 日本電子製 EDS に相分析機能が加わりました。 物質（化合物・単体）ごとのマッピングが可能です。 反射電子像 相マップ（ 各相 重ね合わせ） 試料：精密切削刃の断面 Co、Cu、Sn の成分差に よるマッピングが相分析 で得られています。 2 μm 2 μm Co 　面積（%）: 68.15 Co-L 1,000 500 Co-K Co-K C-K Cu-K 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 EnEenrgeryg [yk [ekVe]V] 2 μm CuSn（ CuRich） 　面積（%）: 16.25 2,000 Cu-L 1,500 1,000 500 O-K Sn-L Cu-K S Cu-K C-K n-L Co-K 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 EnEenrgeryg [yk [ekVe]V] 2 μm CuSn（ SnRich） 　面積（%）: 14.54 Cu-L 1,000 500 Sn-L Cu-K Sn-L Cu-K C-K Co-K 0 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 EnEenrgeryg [yk [ekVe]V] 2 μm 13 JSM-IT710HR Intensity [CPS] Intensity [CPS] Intensity [CPS] Intensity [CPS] Intensity [CPS] Intensity [CPS]
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オプション 機能 EDS 解析ソフト 粒子解析 材料毎に異なる反射電子像の輝度差を利用して、指定した範囲に存在する粒子の数やサイズ、元素情報の 自動計測を行います。 JSM-IT710HR では大電流が利用できるため、迅速な測定が可能です。 ② Zeromag から ① 二値化（しきい値設定） 　 測定範囲を指定 測定範囲 ③ 測定結果 粒子形状および組成情報一覧 粒子の分類分け ※この結果を統計処理し、Microsoft®Excel® に出力可能です。 ● Zn ● Si ● Ti ● Ba ⃝ Unknown 解析結果のグラフ化 固定リング ● 多試料リボルバーホルダー（ オプション） フィルター 多数のフィルターや輝度調整用の試料を載せられる リボルバーホルダーです。 プレート JSM-IT710HR 14
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標準機能※ ※ EDS を JEOL 製にした 場合の標準機能です。 測 EDS の便利機能・アタッチメント hakaru 分析プレイバック機能 日本電子製 EDS はフレームごとにマッピングを保存することができ、時間を遡ってデータを抜き出すことが 可能です。そのため、コンタミネーションが付着しやすい試料やダメージを受けやすい試料の分析に有効です。 ● 応用例：分析途中で汚れが付着した場合の活用 SEM 像 断面の模式図 分析方向 酸化グラフェン Si 基板 汚れが吸着 試料：Si 基板上の酸化グラフェン（多層） 5 μm 入射電圧（SEM / EDS）：2.5 kV 100% （分析完了） 0 % （分析開始前） 周囲に コンタミネーション 清浄 が吸着 赤色部のみのフレームを積算した C K のマップ 全フレームを積算した C K のマップ 5 μm 5 μm ※分析前に取得したSEM像と比較して、長時間マッピングを行ったマップは画像周囲にコンタミネーションの吸着が見られました（右図）。 　そこで、コンタミネーションが吸着し始める前のマップのみを積算することで汚れの影響が無いマッピングが取得できました（左図）。 15 JSM-IT710HR
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オプション 機能 EDS の便利機能・アタッチメント 結晶方位解析 -EBSD- ショットキー電界放出電子銃における安定した大電流とレンズ磁場の影響が無いアウトレンズによって、 高分解能の EBSD パターンが取得できます。 IQ ※ 像 ※ IQ（ Image Quality）像：EBSD パターンの鮮明度を⽰します。 50 μm IPF ※ 像（ 方向：Axis1） Axis 3 Axis 2 Axis 1 ※ IPF（ Inverse Pole Figure）像：逆極点図方位マップ 111 試料：鉄鋼材料（ SCM435） ; マルテンサイト組織の機械研磨断面※ 入射電圧：15 kV、照射電流：11 nA、観察倍率：×300、ステップサイズ ：300 nm ※表面仕上げ：機械研磨後に平面 Ar イオンミリング処理 有り 観察試料提供：国立研究開発法人 物質・材料研究機構（ NIMS）　津﨑 兼彰 先生 001 101 JSM-IT710HR 16
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Key Technology Intelligent & High 高い安定性と汎用性を重視した電子光学系 Resolution 自動ビーム調整 JSM-IT710HR は煩雑なマニュアル調整に頼ることなく、 軸合わせから非点・フォーカスまで、自動で調整可能です。 アライメントが合っていない場合 オート ビームアライメント （ABA） 1 μm 1 μm 非点・フォーカスが合っていない場合 オートフォーカス オートスティグマ HR シリーズの （AF・AS） ABA 動画はこちら 1 μm 試料：SRAM の断面 1 μm 二次電子検出システム 二次電子検出器（ SED） 低真空二次電子検出器（ LVSED、もしくは、LHSED） 試料：クジャクの羽※ 100 μm ※観察試料提供：ヒノトントン ZOO（羽村市動物公園） 試料：セルロースマイクロファイバー 10 μm 17 JSM-IT710HR
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高い安定性と汎用性を重視した電子光学系 高分解能と大電流の両立 JSM-IT710HR で採用したショットキー電界放出電 子銃は、コンデンサーレンズと電子銃を一体化する ことで、ビーム径の広がりを抑制しながら大電流を使 用できるため、高分解能での観察と分析が可能です。 反射電子検出システム 新型の多分割反射電子検出器では、4 方向からの 反射電子像を 1 度に取得し、簡易的な三次元再 構築像を作成し、ライブ像として表示することが できます。 検出器外観 分割検出素子 シャドウ検出素子 ４分割素子から取得した像 試料：プラスチック破面 10 μm ライブ 3D 画像 NEW JSM-IT710HR 18
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Key Technology Intelligent & High 低真空機能 Resolution 低真空機能の効果 標準機能 JSM-IT710HR は低真空機能が標準で搭載されており、非導電性試料の観察・分析を 蒸着せずに測定することが可能です。 低真空 70 Pa（ 帯電の影響無） 高真空（ 帯電の影響有） 試料：クジャクの羽※ 100 μm ※観察試料提供：ヒノトントン ZOO（ 羽村市動物公園） 100 μm 低真空ハイブリッド二次電子検出器（LHSED）NEW オプション 低真空用の新型検出器である LHSED は発光情報を含む 機能 入射電子 像と凹凸像を切り替えて観察することが可能です。 BED（ 組成情報主体） 光信号 光検出器 オリフィス G G 電極板（グリッド） G ＋ G G G G ＋ 二次電子信号 ＋ G G G G 電子 ＋ 陽イオン 試料：紙に印字した蛍光塗料 二次電子 励起光 試料 G 残留ガス分子 100 μm LHSED-PD（ 発光情報主体） LHSED-E（ 凹凸情報主体） 発光する 塗料を明確に 蛍光塗料 紙 観察することが できます。 100 μm 100 μm 19 JSM-IT710HR