クリーン化の四原則から見るクリーン仕様の重要性

半導体製造の最前線 高信頼・高品質な製造を支える クリーン仕様製品の重要性

高信頼・高品質な製造を支えるクリーン仕様製品の重要性 半導体の重要性 半導体製造に必須のクリーン仕様 デジタル化を支えるコンピューティング基盤の基幹品 半導体は髪の毛の太さ（1000分の1以下）の大きさの異物でも影響を受けるほど繊細なもの 半導体はスマートフォン、センサー、自動車、家電などあらゆる電子機器を動かす必需品。 です。そのため埃や塵などの異物を極力排除する必要があります。 DX、デジタル化にはハードウェアとソフトウェアの双方が不可欠であり、半導体はその両方を POINT1 微細化と高集積 支える基盤です。IT企業、製造業だけでなく、サービス業、農業も含めて全ての産業・生活に おいてDX、デジタル化が必須となっていることを踏まえると、グリーン成長や、地方創生、 現在の半導体デバイスは微細化が進んでおり、トランジスタのサイズがナノ単位まで小さく 少子高齢化などの課題はデジタル化なしには解決できないと言われています。 なっています。そのため微小な汚染物質や粒子（ホコリ、化学物質、バイオ汚染など）によって 容易に影響を受けるためクリーンな環境が必要です。 POINT2 製造歩留まりの向上 クリーンな環境で製造を行うことで、製品における不良率が低下し、製造歩留まりが向上 日本の半導体の基本戦略 します。これによりコスト削減と生産性向上が実現できます。 日本では、2030年に、国内で半導体を生産する企業の合計売上高（半導体関連）として、 15兆円超を実現し、半導体の安定的な供給を確保することを目標としています。 2030 年 2400社以上の協力会社と共に、幅広いサポートが可能です 2025 年 2020 年 工場の最適化提案には、部品メーカー、ロボットSIer、ソフトSIer、ネットワーク工事、 配線工事、データ加工といった「、ソフト「」ハード「」インテグレート」の全ての準備が PC スマート家電 携帯電話 自動車 必要です。私たち日伝は、80年の歴史の中で徐々にパートナーを拡大し、お客様の データセンター SSD 産業機器 ご希望にお応えできる体制を整えています。 市場規模全体 市場規模全体 市場規模全体 家電 約50兆円 約75兆円 約100 兆円 ソフトウェア ハード（メカニカルパーツ） デバイスインテグレート Step1：生産基盤の強化 半導体や装置・素材・原料等の生産基盤の強化 在庫・所在管理 空圧・油圧・伝導部品 装置・設備・搬送ライン MES・ペーパーレス センサ・制御・計測 AGV・AMR・自動倉庫 Step2：次世代半導体技術の確立 Step3：将来技術の実現 2ナノ以降の先端ロジック半導体を中心とした 光電融合や量子コンピューティングなど 次世代半導体技術の確立 将来技術の実現 AI・画像処理 ロボット・カメラ オーバーホール・リプレイス ※商務情報政策局 情報産業課 半導体政策について を基に制作

● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● クリーン仕様 食品・半導体・医療業界などの製造現場ではクリーンな環境は必須 です。今回は、クリーン化の四原則の観点から「発生させない」 特集 製品の品質 「堆積させない」「排除する」に貢献する製品をご提案いたします。 を高める クリーン化の四原則とは・・・ 1. 持ち込まない 2. 発生させない 3. 堆積させない 4. 排除する ゴミ・異物を嫌うものづくりの現場では、 ・作業者はエアシャワー等の徹底をする ・発塵するものは使わない ・配管等がむき出しの状態を減らす ・局所排気設備を活用する 作業環境の清浄度が極めて重要であり、 ・材料や機器等は清掃後に持ち込む ・不用品は持ち込まない ・基準にそった清掃を実行する ・清掃ルールを定め それを維持するために設けられた4つの ・室圧の制御をする ・防塵着の着用する ・清掃しやすい配置にする 　定期的に清掃する 基本原則が、「クリーン化の四原則」です。 ・リークなし 他 ・無駄な動きを減らす 他 ・帯電させず除電する 他 ・換気回数を増やす 他 発生させない 発塵するものは使わない 堆積させない 帯電させず除電する No. 摩耗粉の飛散を抑制し、 No. 半導体など、高い清浄度が No. 広範囲で精度良く除電 No. ワークエリアやガウニング ② 歩留まり改善に貢献 ③ 要求される環境下での使用に最適 ⑦ 片側エア配管でエア供給が可能 ⑧ ルームの広範囲除電に最適 動　画 動　画 動　画 椿本チエイン フラットベヤ ZP仕様 日本トムソン SMC イオナイザ IZS40・41・42 /バータイプ シムコジャパン ルームイオナイザーシステム モデル5515 ・サポートメンバによりケーブル・チューブが自立可能 クリーン精密位置決めテーブル TC-EB ・清浄度 ISOクラス 2 ・軽量・低断面・コンパクトな位置決めテーブル ・3種類のエミッタカートリッジ : 高速除電カートリッジ、 ・風速ゼロの環境でも超広範囲にイオンを供給 省エネ除電カートリッジ、省エネ高効率カートリッジ ・つばき独自開発の開閉チューブを採用 ・清浄度クラス３に対応 ・異物付着の抑制や工程内への持込異物の ・ケーブル・チューブの収納や交換が可能 ・高精度な位置決めを実現 ・バーの長さの選択が可能 抑制に効果を発揮 ・エア供給口の選択が可能 ・ワールドワイドにて無類の納入実績に ・出し入れが容易 ・優れた耐食性 ・黒色と白色をラインアップ ・長期メンテナンスフリー ・エアなしでも除電可能 裏付けされる高信頼性とローカルサポート 排 除 す る 局所排気設備を活用する  No. 溝のない4面フラットのため、 No. 搭載盤にSUS材を使用し ④ ⑤ 2025年１月 クリーンで高い組立精度を実現 クリーンルームで対応可能 発売予定 コンパクトな設計ながら強力な集塵性能！クリーンな環境づくりに最適 SU S ボックスフレーム BF 倉敷化工 卓上形除振台 TSP/TCP シリーズ チコーエアーテック ・クリーン度と軽さに優れた製品 ・高さ57mmの薄型・軽量モデルで使いやすい No. 小型高圧型集塵機（クリーン用） No. レーザークリーン集塵機 ・位置決めやけがき無しで組立てが可能 ・レベリング方式：TSPは大気中で解放 /TCPは集中排気仕様 ⑨ CBAシリーズ ⑩ CBA-750/1000/1500 ・組立工数の削減と高い組立精度を実現 ・コストパフォーマンスに優れています ・埃が溜まりにくく美観にも優れています ・美麗な外観 ・場所を取らないコンパクト設計 ・フィルタ目詰まり信号出力、遠隔ON/OFF に対応 ・ □30mm/40mm/50mmの3シリーズ展開 ・高圧ブロアで小径配管でも吸引力が落ちません ・添加剤を用いたカセット式フィルタを採用 ・フィルタ目詰まり信号出力、遠隔ON/OFFに対応 ・粘着性の強いヒュームを吸っても吸引力を保持 ・1次フィルタはバッグ式。周囲を汚さずにフィルタ交換可能 ・簡単にフィルタ交換可能 動　画 up 非接触で低発塵なこんな製品もあります 半導体業界向けのイチオシ製品 No. FPD製造装置など、耐熱・耐薬品性が ⑥ 必要な環境やクリーンルームで使用可能 マグネットカップリング No. 冷媒にCO2を使用した No. 脱気することで酸化防止、製品の品質向上 鍋屋バイテック会社 クリーン・真空・耐熱対応カップリング 非接触なので低発塵、 低振動。クリーン環境下 11 フロンレス対応 12 MSXP-C 富士インパルス での使用に最適です。 真空脱気シーラー/真空ガス充填シーラー ・円筒材にスリットを入れた完全一体構造の樹脂ばねカップリング SMC 半導体業界向サーモチラー 磁気ねじ INR-495-042/INR-495-043 V-610・V-460シリーズ VA-610G・VA-460Gシリーズ ・クリーン洗浄・クリーン梱包済みの状態でお届け可能 ・物理的・化学的特性にすぐれたPEEKを採用 ・フロンレス(CO2冷媒)に対応 ・シール駆動機構に電磁石を ・エアシリンダー駆動を採用して 非接触動力伝達であるため ・アウトガスが極微量 給油レスで使用可能です。 ・GWPは1( 自然冷媒 )。冷媒規制:EUは GWP150 以下、 活用したソレノイド駆動を採用 強いシール圧力を発揮 ・スリットで形成された板ばねが、偏心・ 潤滑状態・給脂タイミング 米国はGWP700以下、カリフォルニア州はGWP750以下クリア ・「外部エア配管」の設備費用が不要 ・厚手アルミガゼット袋の包装で威力を発揮 偏角・エンドプレイを許容します の管理が必要ありません。 ・使用冷媒が無毒で不燃性のため空輸が可能 ・フィルター交換が不要 ・真空源の選択が可能 お気軽にご相談ください ・スリム設計により効率的なチラー配置可能 ・真空源の選択が可能 「 標準タイプ「」 高速度脱気 タイプ」の2タイプをご用意 pick ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●