半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源などに使用するマグネトロン式のマイクロ波電源です。 アイソレータ、方向性結合器、自動整合器、導波管とセットでご使用ください。
■ 半導体式に比べ安価
■ 豊富な販売実績
■ 多数のラインナップ
■ 仕様・形状・通信仕様など、カスタム対応が可能
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 2450MHz マイクロ波発振装置 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 316Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 日本高周波株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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スライド 1
The Future of Wave Technology
Microwave Power Generator
2450MHz マイクロ波発振装置
半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源などに使用するマグネトロン式のマイクロ波電源です。
アイソレータ、方向性結合器、自動整合器、導波管とセットでご使用ください。
＜アプリケーション例＞
【特長】 ・成膜装置
ロジック ・エッチング装置
■ 半導体式に比べ安価 ・熱処理装置
メモリ ・アッシング装置
■ 豊富な販売実績 ・イオン注入装置
アナログ ・平坦化装置
■ 多数のラインナップ センサ ・除害装置
■ 仕様・形状・通信仕様など、カスタム対応が可能 ・プラズマ処理装置
パワー ・無線通信
デバイス ・電力伝送
1kW 1.5kW 3kW
5kW 6kW 10kW
【使用例】
アイソレータ 方向性結合器 自動整合器 プラズマ
導波管
負荷等
電源部 発振部
電源ユニット
【仕様】
形式 MKN-102 MKN-152 MKS-030N MKN-502 MKS-060A MKS-100A
定格出力電力 1kW 1.5kW 3kW 5kW 6kW 10kW
発振周波数 2450MHz±30MHz 2460MHz±15MHz 2450MHz±30MHz 2460MHz±15MHz 2460MHz±15MHz
出力可変範囲 200W～1kW 200W～1.5kW 500W～3kW 500W～5kW 1kW～6kW 1kW～10kW
出力フランジ BRJ-2相当
出力安定度 最大出力の±3％以内 最大出力の±1％以内
(電源入力±10％の変動に対して)
出力リップル 最大出力電力の5％p-p以下 -
電源入力 三相 AC200V 50Hz/60Hz
所要電力 2.3kVA 3kVA 5.5kVA 12kVA 12kVA 18kVA
電源部 強制空冷
冷却方式
発振部 強制空冷 強制空冷および水冷
外形寸法 電源部 480x500x199 480x500x199 482.6x600x132.6 480x540x399 480x550x199 480x600x499
WxDxH(mm) 発振部 350x240x200 360x310x350 200x300x240 370x270x270 200x300x240 300x250x370
電源部 25kg 25kg 23kg 65kg 30kg 70㎏
質量
発振部 15kg 25kg 13kg 25kg 13kg 25㎏
1-MKN-01-004
本社:〒226-0019 横浜市緑区中山3-15-1 Tel. 045-939-6961 Fax. 045-932-1900
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