半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源などに使用するマグネトロン式のマイ...
■ 半導体式に比べ安価 ■ 豊富な販売実績 ■ 多数のラインナップ ■ 仕様・形状・通信仕様など、カスタム対応が可能 ◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源に使用する半導体式のマイクロ波発振...
■ 小型、軽量化 【アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズ】 ■ マグネトロンに比べ、発振周波数・発振波形・出力電力が安定 ■ マグネトロンでは難しい低出力が可能 ■ パルス発振機能を搭載 ■ 1kW、3kWは発振周波数を可変して細かな制...