2450MHz ソリッドステート型マイクロ波発振装置

The Future of Wave Technology Solid State Microwave Power Generator 2450MHz ソリッドステート型マイクロ波発振装置 半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源に使用する半導体式のマイクロ波発振装置です。 発振周波数と出力電力が安定している為、装置の安定性と信頼性に貢献します。 ロジック アイソレータ、方向性結合器、自動整合器、導波管とセットでご使用ください。 メモリ アナログ 【特長】 センサ ■ 小型、軽量化 【アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズ】 パワー デバイス ■ マグネトロンに比べ、発振周波数・発振波形・出力電力が安定 ■ マグネトロンでは難しい低出力が可能 ＜アプリケーション例＞ ■ パルス発振機能を搭載 ・成膜装置 ■ 1kW、3kWは発振周波数を可変して細かな制御が可能 ・エッチング装置 ■ 位相制御・アナログ電圧による各種設定・各種通信仕様はオプション対応 ・熱処理装置 ・アッシング装置 ・イオン注入装置 ･電源とアンプは一体型 ･2400MHz～2500MHzと広帯域発振 ・平坦化装置 ･アイソレータを内蔵 ･アンプユニットは小型で軽量 ・除害装置 ･正面パネルにモニタ表示 ･タッチパネル表示 ・プラズマ処理装置 ・無線通信 ・電力伝送 150W 1kW 3kW MSS-002AP01 MSS-2450M50M-102 MSS-2450M50M-302 【使用例】 プラズマ アイソレータ 方向性結合器 3E TUNER 導波管 負荷等 アンプ 電源ユニット ユニット 【仕様】 形式 MSS-002AP01 MSS-2450M50M-102 MSS-2450M50M-302 発振周波数 2450MHz±1MHz 2450MHz±50MHz 2450MHz±50MHz 周波数安定度 1×10-4/day以下 1×10-4/day以下 1×10-4/day以下 定格出力電力 150W（CWおよびPulse） 1kW（CWおよびPulse） 3kW（CWおよびPulse） 出力可変範囲 20W～150W連続可変 50W～1kW連続可変 100W～3kW連続可変 高調波電力 -25dBc以下(foに対して2fo、3fo) -25dBc以下(foに対して2fo、3fo) -25dBc以下(foに対して2fo、3fo) 電源ユニット 強制空冷 強制空冷 冷却方式　 強制空冷　※一体型 アンプユニット 水冷 冷却水流量：4リットル/min以上 水冷 冷却水流量：6リットル/min以上 電源入力 単相AC200V　50Hz/60Hz 三相AC200V±10％　50Hz/60Hz 三相AC200V±10％　50Hz/60Hz 出力 N-R(ケーブルはRG-14A/Uを使用) TBR-2A2相当(2GHz偏平導波管フランジ) TBR-2A2相当(2GHz偏平導波管フランジ) 外形寸法 電源ユニット 480×450×149　※突起物含まず 480×450×199　※突起物含まず 480×450×149　※突起物含まず W×Ｄ×Ｈ(㎜) アンプユニット 200×200×310　※突起物含まず 280×280×310　※突起物含まず 電源ユニット 20kg 25kg 重量 約15kg アンプユニット 15kg 20kg 1-MSS-04-002 本社:〒226-0019 横浜市緑区中山3-15-1　　Tel. 045-939-6961 Fax. 045-932-1900 Email sales@nikoha.co.jp URL https://www.nikoha.co.jp