大流量用 スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ　DFシリーズ

ダイヤフラム・バルブ　DFシリーズ B-303 大流量用 スプリングレス・ダイヤフラム・バルブ DFシリーズ n ボディ材質：316L VAR ステンレス鋼 n 最高使用圧力：2.06 MPa n エンド・コネクション・サイズ：1/4インチ、3/8インチ、1/2インチ、10 mm、12 mm 経済産業大臣認定品も供給可能です。

B-304　ダイヤフラム・バルブ 特徴 バルブ エアー・アクチュエーター n 流量係数（ Cv値）：0.62（ 大流量に対応） n ノーマル・クローズ型／ノーマル・オー n 接ガス部ではスプリングやねじを使用 プン型（遠隔操作が可能） していないため、 清浄度が向上 n 低圧での操作が可能 n 流路から障害物を一掃し、パージ性 n 軽量なアルミニウム製 およびガス置換性を強化 n PCTFEの容積を最小化し、ガスの吸収 手動式アクチュエーター や放出を最小限に抑える n 3/4回転のハンドル操作で開閉 n 完全に組み込まれたシート・インサート n 7種類のハンドル・カラーがございます により、長いサイクル・ライフを実現 丸ハンドル n エンド・コネクション：Swagelok®大流 量用 Hタイプ VCR® 継手、Swagelok n ウィンドウ付きハンドルにより、バル VCR継手、チューブ突き合わせ溶接 ブの開閉状態が一目で確認可能 一体型ロッキング・ハンドル n 標準の南京錠またはロック機器を使用 して、ハンドルを閉状態で確実に固定 n ハンドルの向きにより、バルブの開閉 状態が一目で確認可能 技術情報 使用圧力範囲（ MPa） 使用温度範囲（ °C） エアー・ アクチュエーター 流量係数 オリフィス 内容積 作動圧力 排気量 型式 操作時 破裂時 操作時 ① ベークアウト時② （CV値） （mm） （cm3） （MPa） （cm3） 手動式 真空 ～ 2.06 4.4 22.0 2 23 ～ 65 150 （バルブ：開状態） 0.62 5.8 （エンド・コネクションが ― ― 空気作動式 真空 Hタイプ VCR継手 ～ 0.86 の場合） 0.50 ～ 0.68 2.1 ① オプションにて、132°Cまで使用可能なポリイミド製シートを使用したバルブもございます。詳細につきましては、B-306 ページのポリイミド製シート（ 高温用） の項を ご参照ください。 ② 詳細につきましては、スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。 工程仕様 工程、 工程管理、 工程評価に関する詳細につきましては、『 超高純度工程仕様（ Swagelok SC-01仕様）』（ MS-06-61） 、『太陽光発電工程仕 様（Swagelok SC-06仕様）』（MS-06-64）、『特別なクリーニングおよびパッケージング（ Swagelok SC-11仕様）』（ MS-06-63） をご参 照ください。 組み立て／ 接ガス部の クリーニング パッケージング 工程仕様コード 工程仕様 表面粗さ（ Ra） テスト 超高純度クリーニング バルブは ISOクラス 4の （常時モニターを行いなが ワーク・ エリアで組み立 ら、 超純水と超音波を使用 てられ、クリーンルーム P 超高純度工程仕様 した洗浄システム） 用バッグにて二重パック （Swagelok SC-01仕様） と真空シールがされます。 最大許容リーク・ レートを 131029 std cm3/sとして、 高純度クリーニング 平均値で 0.13 µmの インボード・ヘリウム・ （常時モニターを行いなが バルブは特にクリーンな 電解研磨仕上げ リーク・テスト（ 真空法） ら、 超純水と超音波を使用 エリアで組み立てられ、 P6 太陽光発電工程仕様 した洗浄システム） 個々にパックされます。 （Swagelok SC-06仕様） および内部ヘリウム・リー ク・テストを行っており、 SEMI F1に準拠しています。 特別なクリーニング バルブは特にクリーンな 特別なクリーニング （非オゾン破壊化学物質を エリアで組み立てられ、 P1 およびパッケージング 使用） 個々にパックされます。 （Swagelok SC-11 仕様） 性能／仕様 パーティクル・ カウント、 水分分析、 炭化水素分析、 残留イオン濃度、 実験室でのサイクル・ テストに関する詳細につきましては、 『Swagelokダイヤフラム・バルブ DFシリーズ 技術情報』（ MS-06-14） をご参照ください。

ダイヤフラム・バルブ　DFシリーズ B-305 構成部品とその材質 流量情報（ 20°Cにて） オリフィス：5.8 mm、 構成部品 材質グレード／ ASTM 規格 構成部品 材質グレード／ ASTM規格 流量係数（ Cv値）： 0.62の場合 バルブ 丸ハンドル ハンドル ポリエステル 大気圧に 316L VAR ステンレス鋼／ （ステンレス鋼製インサート付き） 対する差圧 水の流量 空気の流量 （MPa） （L/min） （std L/min） ボディ SEMI F20準拠の アクチュエーター／ 高純度用 ① ボンネット・ ナット 316ステンレス鋼 0.1 8.9 230 ボンネット S17400ステンレス鋼 0.5 19 710 シート PCTFE NUPRO一 DF体 SE型RIEロS Bッ 1 28 1300 OTキTOMン VグIEW・ ハンドル N-ELD-444 ダイヤフラム コバルト基超合金（UNS R30003）／ AMS 5876 ハンドル ガラス含浸ナイロン エアー・アクチュエーター 止めネジ 合金鋼／ F912 シリンダー／ キャップ／ピストン アルミニウム リテイナー・ リング PH 15-7 Mo ® ステンレス鋼 NUPRO DF SERIES MALE ROTATABLE VCR N-ELD-446 Oリング ブナ N Oリング フルオロカーボン FKM NUPRO DF SERIES BUTT WELD N-ELD-445 スプリング S17700ステンレス鋼 スリーブ ／ベース ステンレス鋼（ 焼結） 接ガス部コンポーネントは網掛けのイタリック体（ 斜字体） で表記しています。 ① 伸び≧ 20 ％ ご注文に際して NUPRO DF SERIES FEMALE HVCR 一体型ロッNキ-ELンDグ-44・3 ハンドル付きバルブ 寸法は参考情報として記載しており、予告なく変更される場合があります。 空気作動式バルブ 下面図 31.8 38.1 エア－供給ポート： mm 37.8 シャンク径 mm 1/8 インチ・サイズ NPTねじ 丸ハンドル付きバルブ mm 最大 8.3 mm 最小 4.6 mm 31.8 38.1 mm mm 取り付け用穴（ 4カ所） 使用ねじ：M530.8-6H 深さ：6.4 mm 直径 25.4 mmの円周上で、中心線から 94.2 45°の位置 mm 80.8 M530.8-6Hねじ取り付け用穴は、 mm ユニファイ 10-32ねじでも使用できます。 全閉時 （ロック時） 109 mm A 11.1 A A 11.1 回転可能型おす Hタイプ mm チューブ突き合わせ溶接 mm めす VCR継手 VCR継手 丸ハンドル付きバルブ／空気作動式バルブ エンド・コネクション ご注文の際は、B-304 ページの表から工程仕様コードを選んで型番 A寸法 基本コードに付け、さらに下の表から該当するエアー・アクチュエー 一次側／二次側 サイズ 型番基本コード （mm） ター・ コードまたはハンドル・ カラー・ コードを選んで付けてください。 めす Hタイプ VCR継手 1/4インチ 6LV-DFHFR4- 70.6 例： 6LV-DFHFR4-P-BK 超高純度工程仕様（ Swagelok SC-01仕様）、 回転可能型 おす Hタイプ VCR継手 1/4インチ 6LV-DFHMR4- 75.2 丸ハンドル（ ブラック） 付き 6LV-DFHMR4-P1-C　特 別なクリーニングおよびパッケージング めす H タイプ VCR 継手／ （Swagelok SC-11仕様）、ノーマル・ クロー 回転可能型 1/4インチ 6LV-DFHFR4HMR4- 75.2 ズ型エアー･アクチュエーター付き おす Hタイプ VCR継手 めす VCR継手 1/2インチ 6LV-DFFR8- 106 エアー・ ハンドル・カラー コード アクチュエーター コード 回転可能型 ブラック -BK おす VCR継手 1/2インチ 6LV-DFMR8- 106 ノーマル・ クローズ型 -C ブルー -BL 外径サイズ 3/8インチ 3 グリーン -GR 肉厚 0.89 mm 6LV-DFBW6- ノーマル・ オープン型 -O オレンジ -OR 外径サイズ 1/2 インチ 3 ノーマル・ クローズ型 レッド -RD 肉厚 1.24 mm 6LV-DFBW8- チューブ突き合わせ溶接 57.1 （インジケーター・ -CM ホワイト -WH 外径サイズ 10 mm 3 スイッチ付き） イエロー -YW 肉厚 1 mm 6LV-DFBW10M- 外径サイズ 12 mm 3 肉厚 1 mm 6LV-DFBW12M- 一体型ロッキング・ハンドル付きバルブ ご注文の際は、型番基本コード中に Lを入れ 、さらに B-304 ペー ジの表から工程仕様コードを、上の表からハンドル・カラー・コー ドを選んで、型番基本コードに付けてください。 例： 6LV-DFLHFR4-P-BK　超高純度工程仕様（ Swagelok SC-01仕様）、 　一体型ロッキング・ ハンドル（ ブラック） 付き 6LV-DFLHMR4-P6-BL 　太陽光発電工程仕様（ Swagelok SC-06仕様）、 　一体型ロッキング・ハンドル（ ブルー） 付き

B-306　ダイヤフラム・バルブ オプション／アクセサリー ポリイミド製シート（ 高温用） パネル取り付け n ポリイミド製シートを使用した DFシリーズ・バルブの使用温 n 丸ハンドル付きバルブの場合、パネル 度範囲： 10 ～ 132°C 取り付けが可能です。 n エアー・アクチュエーターには、フルオロカーボン FKM製 n ねじ切りされたボンネット・ナット Oリングを組み込んでいます。 に 1 1/8 インチ・サイズ六角パネル取 n その他すべての構成部品の材質および仕様は標準品と同じです。 り付け用ナットが付いています。 ご注文の際は、バルブ型番に Vを入れてください。 n 直径 24.4 mmの取り付け用穴が必要 例： 6LV-DFLVBW8-P-C です。 インジケーター ･スイッチ ご注文の際は、バルブ型番に -PMを付けてください。 例： 6LV-DFHFR4-BK-PM n 電気機器に信号を送り、空気作動式 バルブの開閉状態を表示 n 単極・単投スイッチを使用 メンテナンス ･キット n ノーマル・オープン・スイッチの 場合：0.5 A、115 V（AC） ダイヤフラム交換キット n ノーマル・クローズ・スイッチの ダイヤフラム（ 2枚） および取り扱い 場合：0.25 A、115 V（AC） 説明書が含まれます。 n 使用温度範囲：2 40 ～ 85°C キット型番：E-3DK-DF n 長さ 61 cm のワイヤー・ アクチュエーター交換キット コード（インライン・ キットには、全部品（ ボディ、シート、ダイヤフラムを除く） が クリップ付き）が付属 含まれます。 品として含まれます。 n スイッチ単品、またはノー アクチュエーター交換キット 型番 マル・クローズ型アクチュ 丸ハンドル（ グリーン） PY-DF-K1-GR エーター付き DFシリーズ・バ 一体型ロッキング・ハンドル（ グリーン） NY-DFL-K1-GR ルブとセット（ 工場にてバルブに取り付けて出荷） でご注文い ノーマル・クローズ型エアー・アクチュエーター ただけます。 （ブナ N製 Oリング付き） A-DF-K1-C ノーマル・オープン型エアー・アクチュエーター （ブナ N製 Oリング付き） A-DF-K1-O バルブとインジケーター・スイッチをセット（工場にて ノーマル・クローズ型エアー・アクチュエーター バルブに取り付けて出荷）でご注文の場合 （フルオロカーボン FKM製 Oリング付き）、 A-DFV-K1-C ポリイミド製シート（ オプションインジケーター・ ） 用 スイッチ付きバルブをご注文の際は、 ノーマル・ オープン・ ノーマル・オープン型エアー・アクチュエーター スイッチ（ 通常オフ） にはMを、 ノーマル・ クローズ・ （フルオロカーボン FKM製 Oリング付き）、 A-DFV-K1-O スイッチ（ 通常オン） にはM-2を、 バルブ型番に付けてください。 ポリイミド製シート（ オプション） 用 例：6LV-DFHFR4-P-CM 　　6LV-DFBW8-P-CM-2 ご注文の際は、上の表から該当す ハンドル・カラー コード インジケーター・スイッチを単品（インジケーター・スイッ るキット型番をお選びください。 ブラック BK チ・キット）でご注文の場合 グリーン以外のカラーの丸ハン ブルー BL インジケーター ･ スイッチ・キットを単品でご注文の際は、以下 ドルまたは一体型ロッキング ･ オレンジ OR の型番をご使用ください。 ハンドル用のキットをご注文の レッド RD 際は、右の表から該当するハン ホワイト WH MS-ISK-DF-CM（ ノーマル・オープン・スイッチ） ドル・カラー・コードを選んで、 イエロー YW MS-ISK-DF-CM-2（ ノーマル・クローズ・スイッチ） キット型番中の GRの代わりに キットには、スイッチ用アクチュエーターおよびスイッチが含ま 付けてください。 れます。 例：PY-DF-K1-BK 酸素用 マルチポート・バルブ／エルボー・バルブ／ 高酸素濃度システムの危険性およびリスクに関する詳細につき モノブロック型マニホールド ましては、技術情報『 Swagelok 酸素システムの安全性』（ MS-06- マルチポート／エルボー形状／モノブロック型マニホールドの 13） をご参照ください。 DFシリーズ・バルブもございます。詳細につきましては、製品 カタログ『Swagelokベローズ・シール・バルブ／ダイヤフラム・ バルブ：マルチポート・バルブ／エルボー・バルブ／モノブロッ ク型マニホールド』（MS-02-442）をご参照ください。 警告 スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない スウェージロック部品（Swagelokチューブ継手エンド・コネ クションを含む）は、他社製品との混用や互換は絶対に行わな January 2023, Rev.L いでください。 MS-02-24J4-E G24P

本書類について 電子版製品カタログをダウンロードしていただき、ありがとうございました。本電子版 カタログは、『Swagelok総合製品カタログ』（印刷版)から抜粋したものです。製品カタログ の内容変更あるいは改訂の際は、印刷版カタログに先駆けて電子版カタログを更新し、 ウェブサイト上で提供させていただく場合がございますので､ご了承ください。 スウェージロック社は、研究開発、計装、製薬、オイルおよびガス、発電、石油化学、 代替燃料、半導体などの業界向け流体システム・ソリューション(製品、配管ユニット製作、 サービス)の開発および提案を行っています。スウェージロックの製造工場、研究施設、 技術サポートや流通などの拠点は、70カ国で約200カ所の指定販売会社で形成されるグロー バル・ネットワークを支えています。 ウェブサイトにアクセスしていただくと、最寄りのスウェージロック指定販売会社を 検索することができます。製品の特徴や、技術情報などの詳細につきましては、 スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。ウェブサイトでは、世界各地域 の指定販売会社とサービス拠点がお届けする幅広いサービスについてもご紹介しています。 製品保証 Swagelok製品には、Swagelokリミティッド・ライフタイム保証 が付いています。詳細につきましては、www.swagelok.com/jp にアクセスいただくか、スウェージロック指定販売会社までお問 い合わせください。 以下のすべての商標が、本カタログに適用されるものではありません。 15-7 PH̶TM AK Steel Corp. AccuTrak, Beacon, Westlock̶TM Tyco International Services アフラス̶TM AGC株式会社 安全な製品の選定について Alleima̶TM Alleima 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮 ASCO, El-O-Matic̶TM Emerson AutoCAD̶TM Autodesk, Inc. して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データ CSA̶TM Canadian Standards Association Crastin, デュポン, カルレッツ, クライトックス, テフロン, バイトン̶TM イー･アイ･デュポン･ドゥ･ などを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作 ヌムール･アンド･カンパニー およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザー DeviceNet̶TM ODVA ダイニオン, Elgiloy, TFM̶TM ダイニオン社 の責任ですので、十分にご注意ください。 Elgiloy̶TM Elgiloy Specialty Metals Festo̶TM Festo SE & Co. KG FM̶TM FM Global 　　警告 Grafoil̶TM GrafTech International Holdings, Inc. ハネウェル, MICRO SWITCH̶TM ハネウェル スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない MAC̶TM MAC Valves Microsoft, Windows̶TM マイクロソフト・コーポレーション スウェージロック部品（Swagelokチューブ継手エンド・コネ NACE̶TM NACE International クションを含む）は、他社製品との混用や互換は絶対に行わな PH 15-7 Mo, 17-7 PH̶TM AK Steel Corp いでください。 picofast̶Hans Turck KG ピラー̶TM 株式会社PILLAR レイケム̶TM Tyco Electronics Corp. Sandvik, SAF 2507̶TM Sandvik AB この日本語版製品カタログは、英語版製品カタログの内容を忠 Simriz̶TM Freudenberg-NOK 実に反映することを目的に、製作いたしました。日本語版の内容 ソリッドワークス̶TM ソリッドワークス・コーポレイション UL̶Underwriters Laboratories Inc. に英語版との相違が生じないよう、細心の注意を払っておりま Xylan̶TM Whitford Corporation Swagelok, Cajon, Ferrule-Pak, Goop, Hinging-Colleting, すが、万が一相違が生じてしまった場合には、英語版の内容が IGC, Kenmac, Micro-Fit, Nupro, Snoop, Sno-Trik, SWAK, VCO, 優先されますので、ご留意ください。 VCR, Ultra-Torr, Whitey̶TM Swagelok Company © 2023 Swagelok Company Catalog Last page_3 3.indd 1 2024/07/12 10:02:11