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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ

製品カタログ

超高純度システム・コンポーネント向けのSEMI F57-0301に適合

優れた流体流路(特許)
◆たまり部分を最小限に抑える半球形のバルブ内部および独自の形状のダイヤフラム
◆接液・接ガス表面は、素早く清浄な状態になり、プロセス流体やコンタミネーションの残留を防止
◆流体のせん断を最小限に抑え、スラリーの凝集を低減する流路

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このカタログについて

ドキュメント名 超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ
ドキュメント種別 製品カタログ
登録カテゴリ
取り扱い企業 日本スウェージロックFST株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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このカタログの内容

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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ B-319 超高純度用フルオロポリマー・ ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ n 空気作動式バルブ(2方タイプ/ 3方タイプ) 1/4回転手動式バルブ(2方タイプ)、手動式流量調節バルブ 空気作動式流量調節バルブ(開度調節機能付き、ストローク・リミッター) 空気作動式流量調節バルブ(バイバス流量調節機能付き、トリックル・フロー) n 接液・接ガス部の材質:次世代 PTFE アクチュエーターの材質:ポリプロピレン n 超高純度システム・コンポーネント向けの SEMI F57-0301に適合 n 標準のエンド・コネクション:フレアー継手、スーパー 300タイプピラーフィッティング ® Flowel(l フロウエル)、スペース・セーバーなど、その他のエンド・コネクションもございます n カスタム・マニホールドやサブアセンブリーもございます
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B-320 ダイヤフラム・バルブ 目次 特徴. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-320 流量調節バルブ 構成部品とその材質 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-322 モデル. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-327 各温度における最高使用圧力 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-323 バルブ開度(%)と流量係数(Cv値) . . . . . . . . . . . . . B-327 流量情報(20°Cにて) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-323 ご注文に際して . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-328 トレーサビリティと材料の認証 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-323 オプション/アクセサリー テスト . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-323 一体型ロッキング・ハンドル . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-329 クリーニング/パッケージング . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-323 PFA製フレアー継手用ナット . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-329 ご注文に際して 標準以外のエンド・コネクションおよび 空気作動式 2方タイプ・バルブ . . . . . . . . . . . . . . . . . B-324 バルブの形状について . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-329 1/4回転手動式 2方タイプ・バルブ . . . . . . . . . . . . . . B-325 ダイヤフラム・キット . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . B-329 空気作動式 3方タイプ・バルブ . . . . . . . . . . . . . . . . . B-326 超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ Swagelok® DRPシリーズ・バルブは、超高純度薬液供給システムおよび装置向けの SEMI F57-0301に適合するように 製造されており、以下のようなシステムでの使用に適しています。 n 反応性の高い CMPスラリー・システム n 超純水を使用するシステム n 薬液のバルク供給システム n 反応性の高い酸、アルカリなどの化学物質を使用するシステム 特徴 優れた流体流路(特許) n たまり部分を最小限に抑える半球形のバルブ内部および独自の 形状のダイヤフラム n 接液・接ガス表面は、素早く清浄な状態になり、プロセス流体 やコンタミネーションの残留を防止 n 流体のせん断を最小限に抑え、スラリーの凝集を低減する流路 長いサイクル・ライフを実現したダイヤフラム n 次世代 PTFE製ダイヤフラムにより、耐久性およびシール性に 優れ、かつサイクル・ライフが向上 UHP SERIES VALVE OPEN POSITION N-PH-1434 n 開閉時の応力を最小限に抑える次世代 PTFE製ダイヤフラムの 形状(特許) 閉状態 開状態 高性能を実現したデザイン n ダイヤフラムの縁(特許)により、バルブ内部を密封 n 締め切る力が均一にかかるため、バルブ・シートのひずみを最 小限に抑制 n ダイヤフラムの曲面を厚くし、酸が透過する可能性を低減 n プロセス流体へのコンタミネーション発生を最小限に抑えるデ ザイン n 接液・接ガス部への金属部品の露出なし 密着シール構造 n 締め切り動作をソフトにし、システムへの衝撃圧やパーティク バルブ開閉時も密着シール構造を保持しているため、 ルの発生、シール時におけるシート部分の損傷を防止すると同 たまり部分が生じません。 時に、材料のクリープ(受けた応力によって生じる変形)を最 小限に抑えるスプリング n ハンドルの向きやポジション・インジケーターによるバルブの ユニークなダイヤフラム・シール 開閉状態の確認が可能 ダイヤフラムは、バルブ・ボディに収まる位置と同じ外径になっ n ダイヤフラムは容易に交換できるため、現場でのメンテナンス ており、クリープを最小限に抑えるため、バルブ開閉時もシール が容易 性に優れています。 たまりの低減 ボウルの形状(特許) ダイヤフラムとバルブ・ボディとの間で密着シール構造を形成し、 オープンで、丸みを帯びたボウル形状により、流れがスムーズで、 たまり部分を最小限に抑えます。 清浄度が向上します。
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ B-321 特徴 2方タイプ・バルブ ポジション・インジケーター 空気式アクチュエーター 1/4回転手動式もございます フルオロカーボン製 Oリング 優れた耐久性 流路から障害物を一掃したデザイン 確実にクリーニングができ、流体の せん断を最小限に抑える 独自の形状のダイヤフラム およびボウル( 特許) たまり部分を最小限に抑える 一体型取り付け用ブラケット 3方タイプ・バルブ ポジション・インジケーター 空気式アクチュエーター フルオロカーボン製 Oリング 優れた耐久性 独自の形状のダイヤフラム 2方タイプの DRPシリーズの およびボウル( 特許) 構造(特許) を採用 たまり部分を最小限に抑える 流路から障害物を一掃したデザイン 確実にクリーニングができ、流体の せん断を最小限に抑える 一体型取り付け用 ブラケット
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B-322 ダイヤフラム・バルブ 構成部品とその材質 1 1 1 2 2 2 3 3 3 4 4 4 5 5 7 11 5 6 6 7 6 7 7 7 8 7 5 9 7 12 10 10 空気作動式 2方タイプ 手動式 2方タイプ 空気作動式 3方タイプ (エンド・コネクションが (エンド・コネクションが (エンド・コネクションが フレアー継手の場合) スーパー 300タイプ フレアー継手の場合) ピラーフィッティングの場合) エンド・コネクション スーパー300タイプ フレアー継手 ピラーフィッティング 構成部品 材質 1 ホール・プラグ ポリプロピレン 2 キャップ・ネジ ステンレス鋼(PTFE被膜) 3 ワッシャー 4 アクチュエーター・ハウジング 20 %ガラス含浸ポリプロピレン 5 ダイヤフラム 次世代PTFE 6 ボディ 7 ナット PVDF PFA 8 スリーブ PFA ̶ 9 ゲージ・リング ETFE 10 取り付け用ブラケット 20 %ガラス含浸ポリプロピレン 11 コネクション・ロッド 次世代PTFE 12 アクチュエーター・ハウジング ポリプロピレン 接液・接ガス部コンポーネントは網掛けのイタリック体(斜字体)で表記しています。
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ B-323 各温度における最高使用圧力 下の表に記載の数値は、周囲の温度を室温(256 5°C)とした場合です。 2方タイプ 3方タイプ バルブ・ボディ・ 流体温度 最高使用圧力①② サイズ エンド・コネクション・サイズ (°C) (MPa) 小(Sサイズ) 6 mm、8 mm、10 mm、12 mm 23~ 65 0.55 0.55 1/4インチ、3/8インチ、1/2インチ 100 0.27 0.27 中(Mサイズ) 12 mm、19 mm、25 mm 23~ 65 0.68 0.55 1/2インチ、3/4インチ、1インチ 100 0.27 0.27 23~ 65 0.55 ̶ 3/4インチ、1インチ 大(Lサイズ) 100 0.27 ̶ 1 1/4インチ 23 0.55 ̶ ① 一次側からだけでなく二次側からもこの圧力でご使用いただけます。 ② アクチュエーターに供給可能な最大圧力:0.68 MPa バルブ全開または全閉に最低限必要なアクチュエーター作動圧力*:0.42 MPa * ノーマル・クローズ型バルブで、システム圧力が 0 MPaの場合/ ノーマル・オープン型バルブで、システム圧力が最高使用圧力の場合 流量情報 流量係数(Cv値) 流量係数(Cv値)に関する詳細につきましては、技術資料『バルブ・サイズの選定』(MS-06-84)をご参照ください。 エンド・コネクションがスーパー300タイプ エンド・コネクションがフレアー継手の場合 ピラーフィッティングの場合 フレアー継手の 2方タイプ 3方タイプ スーパー 300タイプ 2方タイプ 3方タイプ バルブ・ボディ・ エンド・コネクション・ 流量係数 ピラーフィッティングの サイズ サイズ(インチ) (Cv値) バルブ・ボディ・ エンド・コネクション・ 流量係数 サイズ サイズ (Cv値) 1/4 0.4 0.32 1/4 インチ、6 mm 0.5 0.41 小(Sサイズ) 3/8 0.8 0.48 8 mm 0.8 ̶ 1/2 0.8 0.65 小(Sサイズ) 3/8 インチ、10 mm 0.7 0.48 1/2 2.6 2.61 1/2 インチ、12 mm 0.9 ̶ 中(Mサイズ) 3/4 4.1 2.55 1/2 インチ、12 mm 2.9 ̶ 1 3.6 2.51 中(Mサイズ) 3/4 インチ、19 mm 4.5 ̶ 3/4 6.9 ̶ 大(Lサイズ) 1 インチ、25 mm 3.6 ̶ 1、1 1/4 10.2 ̶ 3/4 インチ、19 mm 7.2 ̶ 大(Lサイズ) 1 インチ、25 mm 10.0 ̶ トレーサビリティと材料の認証 テスト n ダイヤフラムおよびバルブ・ボディには、トレーサビリティ用 工場にて、シート部および本体外部へのリーク・テストを全品に のレーザー刻印を施しています。 行っています。 n すべての接液・接ガス部コンポーネントの材質は、21CFR Part 177に基づき、FDAに準拠しています。 クリーニング/パッケージング n Swagelok DRPシリーズ・バルブは、SEMI F57-0301の要件に 超高純度用流体システム・コンポーネント向けの SEMI F57-0301 適合しています。技術情報につきましては、『Swagelok 超高純 に基づいたクリーニングおよびパッケージングを全品に行ってい 度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ ます。 技術情報(概要)』(MS-06-102)および『Swagelok 超高純度用 フルオロポリマー 3方ダイヤフラム・バルブ DRPシリーズ技 術情報(概要)』(MS-06-107)をご参照ください。
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B-324 ダイヤフラム・バルブ ご注文に際して 寸法は参考情報として記載しており、予告なく変更される場合があります。 空気作動式 2方タイプ・バルブ 側面図 平面図 (エンド・コネクションが (エンド・コネクションが ご注文の際は、下の表から該当する作動型式コード フレアー継手の場合) スーパー 300タイプ を選んで、型番基本コードに付けてください。 ピラーフィッティングの場合) エアー供給ポートのネジ 作動型式 コード B J 10-32(Sサイズ)、 ノーマル・クローズ型 C E 1/8 インチ・サイズ NPT (Mサイズ、Lサイズ) ノーマル・オープン型 O A M530.8( Sサイズ)、 ノーマル・クローズ型 EC 全開時 C G H JIS Rc-1/8(ISO 7) (Mサイズ、Lサイズ) ノーマル・オープン型 EO F 例: NXT-DRP41AFCFC-C D C エンド・ 寸法 バルブ・ボディ・ コネクション・ サイズ サイズ 型番基本コード A B C D E F G H J 質量 エンド・コネクションがフレアー継手の場合 (インチ) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41AFCFC- 83.3 16.3 61.7 37.1 0.10 小(Sサイズ) 3/8 NXT-DRP41AFDFD- 88.4 32.8 15.0 17.3 40.9 46.5 21.8 1/2 NXT-DRP41AFEFE- 68.1 96.0 19.6 43.4 0.13 1/2 NXT-DRP81AFEFE- 122 116 21.3 67.8 0.54 中(Mサイズ) 3/4 NXT-DRP81AFGFG- 129 58.4 31.8 70.1 77.5 39.9 1 NXT-DRP81AFJFJ- 129 145 29.0 80.5 0.68 3/4 NXT-DRP161AFGFG- 159 163 27.4 86.4 大(Lサイズ) 1 NXT-DRP161AFJFJ- 175 89.4 56.1 98.0 115 64.8 1.6 1 1/4 NXT-DRP161AFKFK- 166 165 30.7 89.7 エンド・コネクションがスーパー 300タイプ ピラーフィッティングの場合 (インチ) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41ANCNC- 61.0 16.3 37.1 61.7 0.10 小(Sサイズ) 3/8 NXT-DRP41ANDND- 68.8 32.8 21.1 17.3 40.9 46.5 21.8 43.4 1/2 NXT-DRP41ANENE- 68.1 83.6 19.6 0.13 1/2 NXT-DRP81ANENE- 99.8 116 21.3 67.8 0.54 中(Mサイズ) 3/4 NXT-DRP81ANGNG- 109 58.4 31.8 70.1 77.5 39.9 1 NXT-DRP81ANJNJ- 129 119 30.7 80.5 0.68 3/4 NXT-DRP161ANGNG- 139 大(Lサイズ) 163 89.4 27.4 56.1 86.4 98.0 115 64.8 1.6 1 NXT-DRP161ANJNJ- 149   (mm)   (mm) (kg) 6 NXT-DRP41ANBNB- 61.0 16.3 61.7 37.1 8 NXT-DRP41ANFNF- 63.8 15.0 0.23 小(Sサイズ) 32.8 17.3 40.9 46.5 21.8 10 NXT-DRP41ANHNH- 68.8 21.1 68.1 43.4 12 NXT-DRP41ANINI- 83.6 19.6 0.28 12 NXT-DRP81ANINI- 99.8 116 21.3 67.8 1.2 中(Mサイズ) 19 NXT-DRP81ANONO- 109 58.4 31.8 70.1 77.5 39.9 25 NXT-DRP81ANQNQ- 129 119 30.7 80.5 1.5 19 NXT-DRP161ANONO- 139 大(Lサイズ) 163 89.4 27.4 56.1 86.4 98.0 115 64.8 3.5 25 NXT-DRP161ANQNQ- 149
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ B-325 ご注文に際して 寸法は参考情報として記載しており、予告なく変更される場合があります。 1/4回転手動式 側面図 平面図 2方タイプ・バルブ (エンド・コネクションが (エンド・コネクションが フレアー継手の場合) スーパー 300タイプ 手動式アクチュエーター付き DRP ピラーフィッティングの場合) シリーズ・バルブをご注文の際は、 下の表から型番をお選びください。 B J A C G H D C エンド・ 寸法 バルブ・ボディ・コネクション・ サイズ サイズ 型番 A B C D G H J 質量 エンド・コネクションがフレアー継手の場合 (インチ) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41AFCFC-WH 83.3 16.3 71.1 0.10 小(Sサイズ) 3/8 NXT-DRP41AFDFD-WH 88.4 32.8 15.0 40.9 46.5 21.8 1/2 NXT-DRP41AFEFE-WH 77.7 96.0 19.6 0.13 1/2 NXT-DRP81AFEFE-WH 122 111 21.3 0.54 中(Mサイズ) 3/4 NXT-DRP81AFGFG-WH 129 58.4 70.1 77.5 39.9 1 NXT-DRP81AFJFJ-WH 124 145 29.0 0.68 3/4 NXT-DRP161AFGFG-WH 159 193 27.4 大(Lサイズ) 1 NXT-DRP161AFJFJ-WH 175 89.4 98.0 115 64.8 1.6 1 1/4 NXT-DRP161AFKFK-WH 196 165 30.7 エンド・コネクションがスーパー 300 タイプピラーフィッティングの場合 (インチ) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41ANCNC-WH 61.0 16.3 71.1 0.10 小(Sサイズ) 3/8 NXT-DRP41ANDND-WH 68.8 32.8 21.1 40.9 46.5 21.8 1/2 NXT-DRP41ANENE-WH 77.7 83.6 19.6 0.13 1/2 NXT-DRP81ANENE-WH 99.8 111 21.3 0.54 中(Mサイズ) 3/4 NXT-DRP81ANGNG-WH 109 58.4 70.1 77.5 39.9 1 NXT-DRP81ANJNJ-WH 124 119 30.7 0.68 3/4 NXT-DRP161ANGNG-WH 139 大(Lサイズ) 193 89.4 27.4 98.0 115 64.8 1.6 1 NXT-DRP161ANJNJ-WH 149   (mm)   (mm) (kg) 6 NXT-DRP41ANBNB-WH 61.0 16.3 71.1 8 NXT-DRP41ANFNF-WH 63.8 15.0 0.10 小(Sサイズ) 32.8 40.9 46.5 21.8 10 NXT-DRP41ANHNH-WH 68.8 21.1 77.7 12 NXT-DRP41ANINI-WH 83.6 19.6 0.13 12 NXT-DRP81ANINI-WH 99.8 111 21.3 0.54 中(Mサイズ) 19 NXT-DRP81ANONO-WH 109 58.4 70.1 77.5 39.9 25 NXT-DRP81ANQNQ-WH 124 119 30.7 0.68 19 NXT-DRP161ANONO-WH 139 大(Lサイズ) 193 89.4 27.4 98.0 115 64.8 1.6 25 NXT-DRP161ANQNQ-WH 149
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B-326 ダイヤフラム・バルブ ご注文に際して 寸法は参考情報として記載しており、予告なく変更される場合があります。 Sサイズ 側面図 平面図 空気作動式 3方タイプ・バルブ (エンド・コネクションが (エンド・コネクションが フレアー継手の場合) フレアー継手の場合) ご注文の際は、下の表から該当するエアー供 給ポートのネジ・コードを選んで、型番基本 B コードに付けてください。 H エアー供給ポートのネジ コード C F 10-32 S A M5 3 0.8 ES E J 例: NXT-DRP41YFCFCFC-S D G エンド・ 寸法 コネクション・ サイズ 型番基本コード A B C D E F G H J 質量 エンド・コネクションがフレアー継手の場合 (インチ) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41YFCFCFC- 83.3 57.9 0.12 3/8 NXT-DRP41YFDFDFD- 75.4 88.4 32.8 31.2 65.0 21.8 40.9 46.5 60.5 0.13 1/2 NXT-DRP41YFEFEFE- 96.0 66.8 0.14 エンド・コネクションがスーパー 300 タイプピラーフィッティングの場合 (インチ) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41YNCNCNC- 61.0 46.7 0.12 75.4 32.8 31.2 65.0 21.8 40.9 46.5 3/8 NXT-DRP41YNDNDND- 69.1 50.8 0.13 Mサイズ 側面図 平面図 空気作動式 3方タイプ・バルブ (エンド・コネクションが (エンド・コネクションが フレアー継手の場合) フレアー継手の場合) ご注文の際は、下の表から該当するエアー 供給ポートのネジ・コードを選んで、型番 B 基本コードに付けてください。 エアー供給ポートのネジ コード 1/8インチ・サイズ NPT S A JIS Rc-1/8(ISO7) ES E C H 例: NXT-DRP81YFEFEFE-S D 直径 7.1 F mm G エンド・ 寸法 コネクション・ サイズ 型番基本コード A B C D E F G H 質量 エンド・コネクションがフレアー継手の場合 (インチ) (mm) (kg) 1/2 NXT-DRP81YFEFEFE- 122 119 0.73 3/4 NXT-DRP81YFGFGFG- 147 129 57.9 64.8 131 99.3 114 122 0.81 1 NXT-DRP81YFJFJFJ- 145 130 0.82
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ B-327 流量調節バルブ 本バルブのその他の特徴、構成部品とその材質、各温度における最高使用圧力、 トレーサビリティ、テスト、クリーニング/パッケージングなどに関する詳細に つきましては、B-320~ B-323ページをご参照ください。 モデル 手動式流量調節バルブ 空気作動式流量調節バルブ( 開度調節 空気作動式流量調節バルブ( バイパス流量 機能付き、ストローク・リミッター) 調節機能付き、トリックル・フロー) 流量調節ネジ ロック・ネジ ロック・ナット バイパス流量 調節ナット n 流量調節が可能 n アクチュエーター型式: n アクチュエーター型式: n 約 1回転のハンドル操作で全開 ノーマル・クローズ型 ノーマル・クローズ型 n ボディ・サイズが小(Sサイズ)また n 流量調節ネジにより、バルブが開く時の n バイパス流量調節ナットにより、閉位置から は中(Mサイズ)の場合、パネル取り 上向きのストロークを制限し、流量を調節 上向きのストロークを制限し、流量を調節 付けが可能(オプション) n 全閉状態から全開状態にするためのおお n 全開状態から全閉状態にするためのおおよ よその回転数 その回転数 ボディ・サイズ 回転数 ボディ・サイズ 回転数 小(Sサイズ) 1.5 小(Sサイズ) 1.5 中(Mサイズ) 2 中(Mサイズ) 2 大(Lサイズ) 4 大(Lサイズ) 4 n ロック・ナットにより、バルブのスト n 全開および低流量の切り替え可能 ローク(バルブ開度)の位置をしっか n ロック・ネジにより、バルブのストローク り固定 (バルブ開度)の位置をしっかり固定 流量情報(20°Cにて) バルブ開度(%)と流量係数(Cv値) ボディ・サイズが小(Sサイズ)の場合 ボディ・サイズが中(Mサイズ)または大(Lサイズ)の場合 0.4 10 0.3 エンド・コネクション: 流 フレアー継手( 1/4 インチ・サイズ) 流8.0 量 量 係 係 ボディ・サイズ:大(Lサイズ) 数 数6.0 エンド・コネクション: 0.2 フレアー継手(1 インチ・サイズ) (C 値) (Cv値) v 4.0 0.1 2.0 ボディ・サイズ:中(Mサイズ) エンド・コネクション: フレアー継手(1/2 インチ・サイズ) 0 0 0 25 50 75 100 0 25 50 75 100 バルブ開度(%) バルブ開度(%)
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B-328 ダイヤフラム・バルブ 流量調節バルブ ご注文に際して 寸法は参考情報として記載しており、予告なく変更される場合があります。 下記以外のバルブ寸法につきましては、B-324ページ(空気作動式バルブ)および B-325ページ(手動式バルブ)をご参照ください。 手動式流量調節バルブ 空気作動式流量調節バルブ( ノーマル・クローズ型アクチュエーター付き) ご注文の際は、下の表から該当するアク 開度調節機能付きバルブ バルブ・コード チュエーター・タイプ・コードを選んで、 ご注文の際は、右の表から該当する 開度調節 バイパス流量 型番基本コードに付けてください。 開度調節機能付きバルブのバルブ・ エアー供給ポートのネジ 機能付き 調節機能付き コードを選んで、型番基本コードに 10-32(Sサイズ)、 アクチュエーター・タイプ コード 付けてください。 1/8 インチ・サイズ NPT CL CB 例: (Mサイズ、Lサイズ) 標準 AWH NXT-DRP41AFCFC-CL M530.8(Sサイズ)、 パネル取り付け APM① バイバス流量調節機能付きバルブ JIS Rc-1/8(ISO 7) ECL ECB ご注文の際は、右の表から該当す (Mサイズ、Lサイズ) ① ボディ・サイズが大(Lサイズ)の場合、パネル取 り付けはできません。 るバイバス流量調節機能付きバル ブのバルブ・コードを選んで、型番 例: NXT-DRP41AFCFC-AWH 基本コードに付けてください。 例: NXT-DRP41AFCFC-CB 空気作動式 空気作動式 手動式 流量調節バルブ 流量調節バルブ バルブ・ エンド・ 流量調節バルブ (開度調節機能付き) (バイパス流量調節機能付き) ボディ・ コネクション・ 最大流量係数 サイズ サイズ 型番基本コード (Cv値) 高さ 質量 高さ 質量 高さ 質量 エンド・コネクションがフレアー継手の場合   (インチ)     (mm) (kg) (mm) (kg) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41AFCFC- 0.4 小 85.9 0.09 83.1 0.14 86.1 0.14 (Sサイズ) 3/8 NXT-DRP41AFDFD- 0.8 1/2 NXT-DRP41AFEFE- 92.2 0.11 89.4 0.15 92.5 0.15 1/2 NXT-DRP81AFEFE- 2.6 中 138 165 157 (Mサイズ) 3/4 NXT-DRP81AFGFG- 4.1 0.50 0.59 0.59 1 NXT-DRP81AFJFJ- 3.6 151 178 169 3/4 NXT-DRP161AFGFG- 6.9 大 197 204 203 (Lサイズ) 1 NXT-DRP161AFJFJ- 1.5 1.6 1.6 10.2 1 1/4 NXT-DRP161AFKFK- 201 209 208 エンド・コネクションがスーパー300 タイプピラーフィッティングの場合   (インチ)     (mm) (kg) (mm) (kg) (mm) (kg) 1/4 NXT-DRP41ANCNC- 0.5 85.9 83.1 86.1 小 0.09 0.14 0.14 (Sサイズ) 3/8 NXT-DRP41ANDND- 0.7 92.2 89.4 92.5 1/2 NXT-DRP41ANENE- 0.9 0.12 0.15 0.15 1/2 NXT-DRP81ANENE- 2.9 中 138 0.50 165 157 (Mサイズ) 3/4 NXT-DRP81ANGNG- 4.5 0.59 0.59 1 NXT-DRP81ANJNJ- 3.6 151 0.64 178 169 大 3/4 NXT-DRP161ANGNG- 7.2 (Lサイズ) 197 1.5 204 1.6 203 1.6 1 NXT-DRP161ANJNJ- 10.0   (mm)     (mm) (kg) (mm) (kg) (mm) (kg) 6 NXT-DRP41ANBNB- 0.5 85.9 83.1 86.1 小 8 NXT-DRP41ANFNF- 0.8 0.09 0.14 0.14 (Sサイズ) 10 NXT-DRP41ANHNH- 0.7 92.2 89.4 92.5 12 NXT-DRP41ANINI- 0.9 0.12 0.15 0.15 12 NXT-DRP81ANINI- 2.9 中 138 0.50 165 157 (Mサイズ) 19 NXT-DRP81ANONO- 4.5 0.59 0.59 25 NXT-DRP81ANQNQ- 3.6 151 0.64 178 169 大 19 NXT-DRP161ANONO- 7.2 (Lサイズ) 197 1.5 204 1.6 203 1.6 25 NXT-DRP161ANQNQ- 10.0
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超高純度用フルオロポリマー・ダイヤフラム・バルブ B-329 一体型ロッキング・ハンドル 標準以外のエンド・コネクションおよび バルブの形状について Flowell(フロウエル)継手、ISO、NPT、スペース・セーバー( お すボディではなく、加工されたチューブ端とめすナットが付いた 接続端) など、その他のエンド・コネクションや、お客さまのニー 南京錠の ズに合わせたカスタム・マニホールド、本カタログに記載されて バルブ・ボディ・ シャンク(軸部)・ いない形状のものにつきましては、スウェージロック指定販売会 サイズ サイズ 社までお問い合わせください。 小(Sサイズ) 直径:3.0 mmまで 長さ:25.4 mmまで ダイヤフラム・キット(2方タイプ/流量調節バルブ) 中(Mサイズ) 直径:7.1 mmまで DRPシリーズ・バルブは、配管ラインに取り付けたままでバルブ長さ:50.8 mmまで のメンテナンスを迅速かつ容易に行うことができます。 大(Lサイズ) 直径:7.9 mmまで 長さ:63.5 mmまで キット内容: n ホール・プラグ n ワッシャー の南京錠またはロック機器を使用して、ハンドルを開状態 n ダイヤフラム n 交換手順説明書 n 標準 または閉状態で確実に固定 n キャップ・ネジ n ハンドルの向きで、バルブの開閉状態の確認が可能 バルブ・ エンド・コネクション ダイヤフラム・キット n OSHA Lockout/Tagout, Standard 29 CFR Part 1910.147, ボディ・サイズ サイズ タイプ 型番基本コード Control of Hazardous Energyの準拠に役立ちます。 1/4 インチ、 開状態でバルブを固定する一体型ロッキング・ハンドル付きバル 3/8 インチ フレアー継手 ブをご注文の際は、1/4回転手動式バルブ型番中に LOを入れて 300 NXT-3DK-DRP4- ください。 1/4 インチ スーパー 小 6 mm、8 mm タイプピラー 例: NXT-DRP41AFCFC-LOWH フィッティング (Sサイズ) 閉状態でバルブを固定する一体型ロッキング・ハンドル付きバル 1/2 インチ フレアー継手 ブをご注文の際は、1/4回転手動式バルブ型番中に LCを入れて 3/8 インチ、 スーパー300 NXT-3DK-DRP4-6 ください。 1/2 インチ タイプピラー 10 mm、12 mm フィッティング 例: NXT-DRP41AFCFC-LCWH 1/2 インチ、 3/4 インチ フレアー継手 中 PFA製フレアー継手用ナット (Mサイズ) 1/2 インチ、 スーパー300 NXT-3DK-DRP8- 標準の 3/4 インチ タイプピラー PVDF製ナットの代わりに、PFA製フレアー継手用ナット 12 mm、19 mm フィッティング もご使用いただけます。ご注文の際は、バルブ型番中に Pを入れ てください。 3/4 インチ、 1インチ フレアー継手 例: NXT-DRP4P1AFCFC-C 大 3/4 インチ、 スーパー300 NXT-3DK-DRP16- NXT-DRP16P1AFKFK-O (Lサイズ) 1インチ タイプピラー 19 mm、25 mm フィッティング 1 1/4 インチ フレアー継手 NXT-3DK-DRP16-20 ご注文の際は、空気作動式バルブの場合は Aを、手動式バルブの 場合は Hを、型番基本コードに付けてください。 例: NXT-3DK-DRP4-A NXT-3DK-DRP4-6H 超高純度用フルオロポリマー製品 スウェージロックでは、ポペット式逆止弁(エラストマー・フリー)、 フレアー継手、溶接継手、チューブなどの超高純度用フルオロポリ マー製品を各種ご用意しています。 詳細につきましては、スウェージロック指定販売会社までお問い 合わせいただくか、以下の製品カタログをご参照ください。 n 『Swagelok 超高純度用フルオロポリマー・ポペット式逆止弁 (エラストマー・フリー) CHPシリーズ』(MS-02-320) n 『Swagelok 高純度用 PFA製フレアー継手』(MS-02-195) 警告 スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない スウェージロック部品(Swagelokチューブ継手エンド・コネ クションを含む)は、他社製品との混用や互換は絶対に行わな March 2021, Rev.I いでください。 MS-02-171J4-E E24P
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本書類について 電子版製品カタログをダウンロードしていただき、ありがとうございました。本電子版 カタログは、『Swagelok総合製品カタログ』(印刷版)から抜粋したものです。製品カタログ の内容変更あるいは改訂の際は、印刷版カタログに先駆けて電子版カタログを更新し、 ウェブサイト上で提供させていただく場合がございますので、ご了承ください。 スウェージロック社は、研究開発、計装、製薬、オイルおよびガス、発電、石油化学、 代替燃料、半導体などの業界向け流体システム・ソリューション(製品、配管ユニット製作、 サービス)の開発および提案を行っています。スウェージロックの製造工場、研究施設、 技術サポートや流通などの拠点は、70カ国で約200カ所の指定販売会社で形成されるグロー バル・ネットワークを支えています。 ウェブサイトにアクセスしていただくと、最寄りのスウェージロック指定販売会社を 検索することができます。製品の特徴や、技術情報などの詳細につきましては、 スウェージロック指定販売会社までお問い合わせください。ウェブサイトでは、世界各地域 の指定販売会社とサービス拠点がお届けする幅広いサービスについてもご紹介しています。 製品保証 Swagelok製品には、Swagelokリミティッド・ライフタイム保証 が付いています。詳細につきましては、www.swagelok.com/jp にアクセスいただくか、スウェージロック指定販売会社までお問 い合わせください。 以下のすべての商標が、本カタログに適用されるものではありません。 15-7 PH̶TM AK Steel Corp. AccuTrak, Beacon, Westlock̶TM Tyco International Services アフラス̶TM AGC株式会社 安全な製品の選定について Alleima̶TM Alleima 安全にトラブルなく機能するよう、システム全体の設計を考慮 ASCO, El-O-Matic̶TM Emerson AutoCAD̶TM Autodesk, Inc. して、製品をご選定ください。機能、材質の適合性、数値データ CSA̶TM Canadian Standards Association Crastin, デュポン, カルレッツ, クライトックス, テフロン, バイトン̶TM イー・アイ・デュポン・ドゥ・ などを考慮し製品を選定すること、また、適切な取り付け、操作 ヌムール・アンド・カンパニー およびメンテナンスを行うのは、システム設計者およびユーザー DeviceNet̶TM ODVA ダイニオン, Elgiloy, TFM̶TM ダイニオン社 の責任ですので、十分にご注意ください。 Elgiloy̶TM Elgiloy Specialty Metals Festo̶TM Festo SE & Co. KG FM̶TM FM Global 警告 Grafoil̶TM GrafTech International Holdings, Inc. ハネウェル, MICRO SWITCH̶TM ハネウェル スウェージロック製品、または工業設計規格に準拠していない MAC̶TM MAC Valves Microsoft, Windows̶TM マイクロソフト・コーポレーション スウェージロック部品(Swagelokチューブ継手エンド・コネ NACE̶TM NACE International クションを含む)は、他社製品との混用や互換は絶対に行わな PH 15-7 Mo, 17-7 PH̶TM AK Steel Corp いでください。 picofast̶Hans Turck KG ピラー̶TM 日本ピラー工業株式会社 レイケム̶TM Tyco Electronics Corp. Sandvik, SAF 2507̶TM Sandvik AB この日本語版製品カタログは、英語版製品カタログの内容を忠 Simriz̶TM Freudenberg-NOK 実に反映することを目的に、製作いたしました。日本語版の内容 ソリッドワークス̶TM ソリッドワークス・コーポレイション UL̶Underwriters Laboratories Inc. に英語版との相違が生じないよう、細心の注意を払っておりま Xylan̶TM Whitford Corporation Swagelok, Cajon, Ferrule-Pak, Goop, Hinging-Colleting, すが、万が一相違が生じてしまった場合には、英語版の内容が IGC, Kenmac, Micro-Fit, Nupro, Snoop, Sno-Trik, SWAK, VCO, 優先されますので、ご留意ください。 VCR, Ultra-Torr, Whitey̶TM Swagelok Company © 2023 Swagelok Company