電子式圧力スイッチPS3

Page 1:マニホールド形式A A形マニホールド（P, Vマニホールド）ASAS形マニホールド（真空スイッチ取付用P, Vマニホールド ME05M・ME07Mのみ）マイクロエジェクタ注文記号 マニホールド注文記号電子式真空スイッチ注文記号 アディショナルパーツ（別売部品）電子式真空スイッチの有無無記入 真空スイッチなしE 真空スイッチ付注3（AS形マニホールドのみ）ステーション（真空発生ポートを手前にして左からのマイクロエジェ クタ取付位置）stn.1 1番目stn.2 2番目 stn.5 5番目注1：6連以上のマニホールドは特殊仕様となります。詳しい仕様、寸法および納期、価格につきましては最寄りの弊社営業所へお問い合わせください。注2：取り付けるマイクロエジェクタのオプションはマイクロエジェクタ注文記号例をご覧ください。また、ステーションにマイクロエジェクタを取り付けずにブロックプレートで閉止するときは-BPと記入してください。注3：電子式真空スイッチにはオーダーメイドとして、リード線長さ2000mmのものが用意されています。取付マイクロエジェクタ形式注2AME03-E1 - …-AME05-E□- …-AME07-E□- …-●マイクロエジェクタ単体（電磁弁なし）●電磁弁付マイクロエジェクタMEマイクロエジェクタ本体形式 ノズル径：真空側最大流量03 φ0.3： 3.0R/min（ANR）05 φ0.5： 6.3R/min（ANR）07 φ0.7：12.5R/min（ANR）連数注11 1連2 2連 5 5連マニホールド基本形式ME03M AME03-E1取付用ME05M AME05-E□取付用ME07M AME07-E□取付用 電圧DC12V（□ME03-E1のみ）DC24VAC100V（□ME05・07のみ）AC200V（□ME05・07のみ）注1：供給エア制御用電磁弁のみ。真空破壊エア制御用電磁弁は常時閉（NC）のみ。注2：プラグコネクタ式にはオーダーメイドとして、リード線長さ、1L：1000mm, 3L：3000mmのものが用意されています。ソレノイド無記入 グロメット PSLストレートコネクタ（LEDインジケータ付） PLLエルコネクタ（LEDインジケータ付）注2注2手動ボタン無記入 ノンロック形 83ロック突出形（□ME05・07のみ）電磁弁機能注1無記入 常時閉（NC） 11 常時開（NO）電磁弁仕様E1 供給エア制御用シングル電磁弁付E2 供給エア・真空破壊エア制御用ツイン電磁弁付（AME05・07のみ）本体形式 ノズル径：真空側最大流量03 φ0.3： 3.0R/min（ANR）05 φ0.5： 6.3R/min（ANR）07 φ0.7：12.5R/min（ANR）マイクロエジェクタME 単体用AME マニホールド取付用DC24Vリード線長さ無記入 500mm L 2000mmDC12〜24V用スイッチ電子式真空スイッチPS310 本体のみPS310E AS形マニホールド取付用（ガスケット、スプリングピン付）PS310E-01 単体取付用（R1/8おねじ仕様）●ブロックプレートME MA-BP03 ME03M用05 ME05M用07 ME07M用●交換用フィルタME MA-F03 ME03M用05 ME05M用07 ME07M用18372014_10

Page 2:マニホールド名 称 材 質アルミ合金（アルマイト）合成ゴム（NBR）樹脂（PVF）軟鋼（ニッケルめっき）本体パッキンフィルタブロックプレート作動原理と各部の名称マイクロエジェクタアルミ合金（アルマイト）黄銅合成ゴム（NBR）電磁ステンレス本体アダプタノズル、ディフューザOリングガスケットプランジャコラム主要部材質●非通電時●供給エア制御用電磁弁通電時（真空発生）●真空破壊エア制御用電磁弁通電時調P374-1真空破壊流量調節ニードルロックナット手動ボタン真空破壊エア制御用電磁弁 供給エア制御用電磁弁マフラチェック弁フィルタマニホールドV（真空発生ポート）P（圧縮空気供給ポート）アダプタ真空スイッチソレノイドカバーコラムモールドソレノイドプランジャプランジャスプリングプランジャピンフラッパノズルディフューザ本体調P374-2VP調P374-3VP18382014_10

Page 3:表示記号質量単体●ME03 ●ME05 ●ME07シングル電磁弁付●ME03-E1 ●ME05-E1 ●ME07-E1シングル電磁弁付●AME03-E1 ●AME05-E1 ●AME07-E1（マニホールド取付状態）真空スイッチ付シングル電磁弁付●AME05-E1-□-E ●AME07-E1-□-E（AS形マニホールド取付状態）ツイン電磁弁付●AME05-E2 ●AME07-E2（マニホールド取付状態）真空スイッチ付ツイン電磁弁付●AME05-E2-□-E ●AME07-E2-□-E（AS形マニホールド取付状態）●マイクロエジェクタ ●電子式真空スイッチgPS310E（AS形マニホールド取付用）……21gPS310E-01（単体取付用）……38gME03 ME05 ME079電磁弁なし 34 5224シングル電磁弁付ME□-E180 103項目 基本形式●マニホールド gME07ME05ME03ME03M□A ME05M□A ME05M□AS ME07M□A ME07M□AS1連2連3連4連5連連数別マニホールド本体質量加算質量シングル電磁弁付 -AME□-E1ツイン電磁弁付 -AME□-E2電子式真空スイッチ付 -Eブロックプレート -BP26 62 81 120 14849 118 154 237 29264 156 202 313 38580 193 251 389 4789525 83 108167 216── ─6 1321 ─ 212231 299 465 571 形式項目計算例：ME05M5ASstn.1〜2-AME05-E1 stn.3〜4-AME05-E2-E stn.5 -BPの質量は、299 ＋（83 × 2）＋（167 ＋ 21）× 2 ＋ 6 ＝ 847g5連の質量AME05-E1質量AME05-E2質量真空スイッチ質量ブロックプレート質量調P375-1 調P375-2調P375-3調P375-4調P375-5 調P375-618392014_10

Page 4: kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0st1 t2S1解除S1通電 kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0st1 t3S1解除S1通電 S2通電調P381-40ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa51015202530350.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa12345670.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa24681012140.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 調P381-20ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa51015202530350.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa12345670.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa24681012140.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 調P381-20ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa51015202530350.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa12345670.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa24681012140.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 調P381-2電子式真空スイッチ寸法図（mm）空気消費量と到達真空度・真空側流量真空到達時間・真空破壊時間PS310E-01チャンバ容量 cm3ME03ME05ME070.4 0.1 — 0.7 0.2 — 1.1 0.3 — 3.2 0.6 — 5.8 1.1 — — — — — — —0.2 0.1 0.1 0.3 0.1 0.1 0.5 0.1 0.1 1.5 0.3 0.1 2.6 0.5 0.2 7.0 0.8 0.4 12.0 1.8 0.80.1 0.1 0.1 0.2 0.1 0.1 0.3 0.1 0.1 0.6 0.2 0.1 1.0 0.3 0.2 1.8 0.4 0.4 4.7 1.0 0.85t1 t2 t3 t1 t2 t3 t1 t2 t3 t1 t2 t3 t1 t2 t3 t1 t2 t3 t1 t2 t310 20 50 100 200 500形式 時間●応答時間圧力調節ねじ 応差調節ねじLEDインジケータ152061 約50052.58.5R1/8M5×0.8 深さ5圧力導入口調P381-1●ME03●測定方法●ME□-E1●ME□-E2●ME05 ●ME07備考：グラフはエジェクタ単体の場合です。電磁弁付で同じ真空度を必要とする場合は、エジェクタ単体の場合より供給圧力を0.03〜0.05MPa程高めに設定してください。オシロスコープチャンバS2：真空破壊エア制御用電磁弁S1：供給エア制御用電磁弁調P381-3空気圧力：0.5MPa破壊流量調整ニードル：全開t1：S1に通電した後、チャンバ内がー73.3kPaになるまでの時間s。t2：ME□-E1でS1の通電を解除した後、チャンバ内がー18.7kPaになるまでの時間s。t3：ME□-E2でチャンバ内の真空度が最高到達真空度の状態からS2に通電した後、ー18.7kPaになるまでの時間s。注：配管サイズやチャンバの形状等で、若干の誤差があります。数値は一応の目安としてください。s18452014_10

Page 5:ツイン電磁弁付マイクロジェクタ本体ガスケットチェック弁アダプタアダプタカバーエンドカバーマニホールド本体フィルタフィルタキャップOリングマフラスプリングピンガスケット真空スイッチプラグOリングロックピンガスケットシングル電磁弁付マイクロエジェクタ本体※図はME05M2AS stn.1-AME05-E2-□stn.2-AME05-E1-□-Eの場合。調P382-1取扱い要領と注意事項mark-kマイクロエジェクタ機器の構成マイクロエジェクタME03/05/07シリーズには、単体の他、供給エア制御用のシングル電磁弁付と、供給エアおよび真空破壊エア制御用のツイン電磁弁付が用意されています（ツイン電磁弁付はAME05/07のみ）。ツイン電磁弁付では、真空側に圧縮空気を供給することにより、容易に真空破壊、強制離脱ができ、また、真空破壊流量調節ニードルにより、破壊流量の設定も任意にできます。また、内蔵されたチェック弁により、供給エア制御用電磁弁への通電をOFFしたあとも設定真空度を保持することができますから、省エネルギー効果をあげることができます。注 1. 継手は内径の絞られないものを使用してください。内径が小さいと流量、圧力が不足し、到達真空度が低くなったり到達時間が長くなるなど、性能低下の原因となります。2. コイルチューブなどによる、ら旋配管は避けてください。マイクロエジェクタとバキュームパッドなどの間はエルボなどの使用も避け、できるだけまっすぐに配管してください。3. 連数の多いマニホールドで、多数のマイクロエジェクタが同時作動するときや、高頻度で使用する場合は、両端面のPポートからエアを供給するようにしてください。機能●長時間真空を保持する時、空気消費量を節約するための制御回路1. 圧縮空気供給ポートに空気源を、真空発生ポートにバキュームパッドなどを配管してください。2. 2連以上のマニホールドの場合のPポート（圧縮空気供給ポート）は、マニホールドの両端面にあり、取付場所により配管方向が選べます。出荷時には、片側のポートはプラグが仮止めされていますので、一度取外し、シールテープなどのシール材を使用して締め付けてください。3. マニホールドで、使用しないステーションを閉止するときは、ブロックプレート（注文記号：ME□MA-BP）を使用してください。4. マイクロエジェクタへの配管は、内径φ4〜φ6のナイロンまたはウレタンチューブを使用してください。また真空発生ポートには下記のサイズのチューブの使用を推奨します。 ME03…φ4×2.5 ME05…φ4×2.5、φ6×4 ME07…φ6×4スタート（＋） （ー）ストップリレーリレー接点リレー接点供給エア制御用電磁弁黒色茶色青色PS310E調P382-2備考:上図は供給エア制御用電磁弁が常時開（N/O, 注文記号:-11）の場合です。備考：上図は供給エア制御用電磁弁が常時開（NO,注文記号：-11）の場合です。mark-f配管18462014_10

Page 6:1. 真空スイッチに強い衝撃を与えると、破損や誤作動の原因となりますので、取扱いには注意してください。2. 単体取付形（PS310E-01）を取付ける場合には、本体のカバーをスパナ掛けとして使用しないでください。締付けは必ずアダプタの金属部にスパナを掛けて行なってください。mark-m電子式真空スイッチ圧力調節注 1. 圧力と応差の設定には、付属の専用ドライバーまたはサイズの合った時計ドライバーを使用し、無理な力を加えないように静かに回転させて調節してください。2. 正確に圧力を設定するには、圧力計を使用して、スイッチの切換えを確認しながら行なってください。3. 圧力検出部には、0.2MPa以上の圧力を印加しないでください。圧力調節ねじ（SET）を回して、設定圧力にセットします。圧力調節ねじは、右（時計）回転させると高真空側に設定されます。また、応差は、応差調節ねじ（HYS）で設定します。応差調節ねじは右（時計）回転させると、OFFする点が移動して応差大となります。1. 水滴、油滴などがかかる場所や粉塵が多い場所で使用するときは、カバーなどで保護してください。2. マイクロエジェクタに配管する前に、必ず配管内のフラッシング（圧縮空気の吹き流し）を十分に行なってください。 配管作業中に発生した切り屑やシールテープ、錆などが混入するとバルブの空気漏れや、マイクロエジェクタの性能低下などの原因となります。3. マイクロエジェクタに使用する空気は、劣化したコンプレッサ油などを含まない清浄な空気を使用してください。マイクロエジェクタ近くにエアフィルタ（ろ過度40μm以下）を取り付けてドレンやゴミを取り除いてください。圧縮空気中に特に油分が多い場合は、必ずミストフィルタを使用してください。またドレン抜きは定期的に行なってください。4. マイクロエジェクタに供給する空気はレギュレータで圧力調節を行なってください。マイクロエジェクタまでの配管が長い場合は圧力を高めに設定してください。エア供給弁を使用する際は使用するマイクロエジェクタのノズル面積が3倍以上の有効断面積をもつバルブを使用してください。5. バキュームパッドはマイクロエジェクタ1台につき1個使用してください。2個以上の使用は吸着ミスを生じ易く、設定真空度までの到達時間も長くなります。6. マニホールド本体に標準装備されているフィルタ（注文記号：ME□MA-F）は定期的に交換してください。結線要領取付MARK-X一般注意事項注SETHYSダイオード（逆接防止用）茶色（＋）負荷青色（ー）直流電源表示用LEDツェナーダイオード主回路センサ黒色茶色：スイッチを作動させるために （＋）電源を接続するリード線黒色：負荷を接続するためのリード線青色：（ー）電源を接続するリード線1.リード線には強い引張力や極端な曲げを与えないようにしてください。2.リード線の色に注意して結線してください。電源接続用のリード線（茶色、青色）間は逆接防止用ダイオードで保護されていますが、出力回路には過電流の保護機能がありませんので、誤って配線すると出力トランジスタの破損につながります。3.真空スイッチの開閉容量を超える負荷を接続して使用しないでください。付属の専用ドライバー圧力調節ねじ（SET）応差調節ねじ（HYS）LEDインジケータSETHYS18482014_10