真空電磁弁Ｖ２００シリーズ

Page 1:真空ラインに使用できる電磁弁は、G010シリーズ、112・182シリーズ、Fシリーズのバリエーション中にもあります。詳細につきましては各シリーズをご覧ください。注グラフの見方排気時間：大気圧状態のチャンバ内が真空状態になるまでの所要時間。給気時間：−100kPaのチャンバ内が大気圧状態になるまでの所要時間。真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズム。角形電磁真空弁使いやすさと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました。電磁弁030, 050, 100, 200の各シリーズに対応する、完成度の高い2・3ポート直動形電磁真空弁シリーズです。● V030シリーズは、多連のバキュームパッドに１対１で対応できる、省スペース・低電流タイプです。結線方法が選択できます。AC・DC共サージ対策を標準装備。● V100, V200シリーズは、配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します。● 3ポート弁のV050, SV100, SV200シリーズは正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です。● ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（V030を除く。DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します。圧力センサデジタルメモリスコ−プチャンバ0.2R0.5R1.0RV030E1V050E1V100E1V200E1V030E1：TS4-M5V050E1：TS6-M5V100E1：TS6-01V200E1：TS6-021次側タンク（100R）測定条件① ②① ②はクイック継手KCH4231Z電磁真空弁030シリーズV030E1（標準タイプ）●65mA、1.6A（DC24V）の低電流ソレノイドを搭載。●幅15A、単体質量57gの小形・軽量です。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕‥ 1（P）→2（A）：0.6mm2〔0.02〕, 2（A）→3（R）：0.8mm2〔0.03〕配管接続口径‥‥‥‥ 1（P）・2（A）：M5×0.8, R：φ1.8使用圧力範囲‥ ‥‥‥ −100〜0kPa0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S0 1 2 3 4時間 S真空度−25.3−50.7−76.0−101.3kPa真空度0.2R0.2R0.5R0.5R1.0R1.0R排気時間 給気時間電磁真空弁050シリーズ標準タイプV050E1/低電流タイプV050LE1● 真空・正圧の併用が可能。● ポペットタイプのシールを採用。ドレンなどによる固着が少なく、切換作動が確実です。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 1.5mm2〔0.08〕配管接続口径… …………… M5×0.8（Rc1/8）使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa 0〜0.7MPa0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R0.2R0.5R0.5R1.0R 1.0R排気時間 給気時間‥10502014_10

Page 2:1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気 ）2（A）2（A）2（A）2（A）KCG4241Z電磁真空弁100シリーズ標準タイプV100E1/真空・正圧併用タイプSV100E1●供給圧力を弁シート部で平衡させる圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 5.0mm2〔0.28〕配管接続口径… …………… Rc1/8使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa（V100E1） −100〜0kPa 0〜0.9MPa（SV100E1）0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R1.0R0.5R1.0R0.2R0.5R排気時間 給気時間電磁真空弁200シリーズ標準タイプV200E1/真空・正圧併用タイプSV200E1●100シリーズと同様、供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 8.5mm2〔0.47〕配管接続口径… …………… Rc1/4使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa（V200E1） −100〜0kPa ０〜0.9MPa（SV200E1）0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R1.0R1.0R調KCC4246Z0.2R0.5R0.5R排気時間 給気時間弁機能と配管ポート位置V030, V050正圧を使用しない場合真空と正圧を併用する場合（V050のみ）２ポート常時閉（NC）常時開（NO）（V050のみ）常時閉（NC）常時開（NO）（V050のみ）３ポート非通電時 通電時1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（プラグ ）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（大気）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）（真空ポンプなど）1（P）3（R）KCG4243ZV100, V200２ポート常時閉（NC）常時開（NO）常時閉（NC）常時開（NO）３ポートセレクタ弁デバイダ弁非通電時 通電時1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）KCG242Z３ポート常時閉（NC）常時開（NO）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（正圧）2（A）2（A）KCG4244Z３ポート常時閉（NC）常時開（NO）SV100, SV20010512014_10

Page 3:角形電磁真空弁V200 シリーズ仕様電気仕様 基本形式V200E1 MV200E1-11 SV200E1 MSV200E1-11 項目 使用流体 真空 真空・空気 作動方式 直動形 ポジション数 2 ポジション ポート数 2・3 ポート 3 ポート 弁機能 常時閉（NC）および常時開（NO） 常時開（NO） 常時閉（NC）注 2 常時開（NO） 流量 音速コンダクタンスC dm3/（s・bar）注 1 1.7 特性 有効断面積〔Cv 値〕 mm28.5〔0.47〕 配管接続口径 Rc1/4 給油 不要 使用圧力範囲 kPa − 100 〜 0 − 100 〜 0 0 〜 0.9MPa 保証耐圧力 MPa — 1.32 応答時間注 3 DC24V 20/20 以下 ON時 /OFF時 AC100V,AC200V 20/20 以下 最高作動頻度 Hz 5 最高温度範囲（雰囲気および使用流体） ℃ 0 〜 50耐衝撃 m/s2 横方向 980.7 軸方向 588.4 取付方向 自由 質量 g 300 定格電圧DC24V AC100V AC200V 項目 方式 DC 方式 フライホイル方式使用電圧範囲 V 21.6 〜 26.4 90 〜 110 180 〜 220 （24±10%） （100±10%） （200±10%） 電流値注 1 周波数 Hz — 50 60 50 60 定格電圧励磁注 2 mA（r.m.s.） 420（10.1W） 160 150 70 65 印加時 〔432（10.4W）〕 〔170〕 〔160〕 〔72〕 〔68〕 許容回路漏れ電流値 mA 30 15 7 絶縁抵抗 M Ω 100 以上 結線方式と 標準 グロメット式：300mm リード線長さ オプション DIN 式コネクタ付 赤色 リード線の色 〔赤色（＋）・青色（−）〕注 1 黄色・黒色 白色・黒色 赤色（＋）・黒色（−）注 3 LED インジケータ（オプション）の色 赤色 黄色 緑色サージ対策 標準 — フライホイルダイオード オプション フライホイルダイオード —注 1：〔 〕は LED インジケータ付ソレノイドの場合です。注 2：AC 用はフライホイルダイオードを内蔵しているため、起動電流値と励磁電流値はほとんど同じです。注 3：サージ対策済ソレノイドおよび LED インジケータ付サージ対策済ソレノイドの場合です。（ ）注1：音速コンダクタンスの値は計算値であり、実測値ではありません。 2：正圧側が常時閉。 3：V200E1は真空度− 100kPa時の値。SV200E1は空気圧力0.5MPa時の値。10662014_10

Page 4:プランジャモ−ルドソレノイドコラムインサ−トVシ−ルパッキンスプリング本体エンドカバ−主軸手動ボタン2（A） 2（A）3（R）1（P）3（R）（真空）1（P）（正圧）OリングKCD4401Z作動原理と表示記号主要部材質 名称 材質 本体アルミ合金（アルマイト） 主軸 パッキン 合成ゴムバルブ インサート アルミ合金および黄銅 スプリング ステンレス 取付ベース 軟鋼（亜鉛めっき） プランジャ 電磁ステンレス コラム 電磁軟鉄（亜鉛めっき） 本体 アルミ合金（アルマイト） マニ ブロックプレート 軟鋼（亜鉛めっき） ホールド パッキン 合成ゴム 取付ブラケット 軟鋼（亜鉛めっき）マニホールド配管接続口径マニホールド形式 ポート 配管接続位置 配管接続口径 1（P） マニホールド BM□T 2（A） バルブ Rc1/4 3（R） マニホールド 1（P） マニホールド BM□U 2（A） バルブ Rc1/4 3（R） バルブ 1（P） マニホールド BM□L 2（A） バルブ Rc1/4 3（R） バルブマニホールド質量マニホールド形式 連数毎の質量計算式ブロックプレート （n=連数） BM□T （138×n）＋ 125 30 BM□U （50×n）＋ 200 15 BM□L （50×n）＋ 200 15 非通電時 通電時 常時閉 （NC） 常時開 （NO） 常時閉 （NC） 常時開 （NO）セレクタ弁デバイダ弁V200E12（A） 1（P）3（R）P.440 V200E1SV200E12（A） 1（P）3（R）P.440 SV200E1V200E1非通電時SV200E1非通電時 gBM□UBM□L弁機能と配管ポート位置V200正圧を使用しない場合２ポート３ポート 常時閉 （NC） 常時開 （NO）SV200真空と正圧を併用する場合３ポート1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（正圧）2（A）2（A）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ）1（P）（プラグ）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（大気）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）（真空ポンプなど）1（P）3（R）P.4401（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ）1（P）（プラグ）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（大気）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）（真空ポンプなど）1（P）3（R）P.440注：SV200E1-11（常時開）を使用する場合は、1（P）ポｰトに真空ポンプ、3（R）ポートに正圧を配管してください。（常時閉）備考：ノン・イオン仕様の場合は、銅系イオンを発生する材質は使用していません。BM□T10672014_10

Page 5:オプションシステム電磁真空弁注文記号●-Lとの組合せはできません。DIN式コネクタ-39LEDインジケータ内蔵-LP.441 オプショ2ポート-2P.441 オプショ常時開（NO）-11●DC24Vのみ。●直接配管用。P.441オプションシステム左（＋）（−）フライホイルダイオード内蔵-SRソレノイドソレノイド弁機能取付ベース-21単 体真空用直接配管3ポート常時閉2ポート常時閉2ポート常時開3ポート常時開2ポート常時開マニホールド専用注1-21 -39-39-L-L-SR-SRDC24VAC100VAC200VDC24VAC100VAC200V取付ベース DIN式コネクタLEDインジケータフライホイルダイオードオプション 電圧注1：単体では使用できません。注2：プラグ添付●DIN式コネクタにはありません。●DC24Vのみ。AC100V,AC200Vには、標準装備。真空・正圧併用直接配管3ポート注1常時閉3ポート常時開3ポート常時開マニホールド専用注2-21 -39-39-L-L-SR-SRDC24VAC100VAC200VDC24VAC100VAC200V取付ベースオプションDIN式コネクタLEDインジケータフライホイルダイオード電圧注1：正圧側が常時閉。注2：単体では使用できません。●DIN式コネクタにはありません。●DC24Vのみ。AC100V,AC200Vには、標準装備。NCU--11-11-11V200E1MV200E1-2注2-2-2NCU-基本形式 弁機能2ポート常時開（NO）●かならず選択してください。●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。NCU-NCU-基本形式 弁機能常時開（NO）●かならず選択してください。●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。-11SV200E1-11MSV200E110682014_10

Page 6:マニホールドオプションシステムマニホールド注文記号●-Lとの組合せはできません。DIN式コネクタ-39LEDインジケータ内蔵-LP.442 オプシ2ポート-2P.442 オプシ常時開（NO）-11●DC24Vのみ。P.442オプションシステム左（＋）（−）フライホイルダイオード内蔵-SRソレノイドソレノイド弁機能ブロックプレート-BP真空用真空・正圧併用SV200E1MSV200E1 -11-39 -L -SRDC24VAC100VAC200Vバルブ形式基本形式常時開（NO）DIN式コネクタオプションLEDインジケータフライホイルダイオード 電圧注：正圧側が常時閉。●バルブ形式は、ステーション毎に指定してください。●ステーションにバルブを取り付けずに、ブロックプ—レートで閉止するときは、BPと記入してください。●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。●DIN式コネクタにはありません。●DC24Vのみ。AC100V,AC200Vには、標準装備。●かならず選択してください。210BMTUL-39NCU- -L -SRDC24VAC100VAC200Vステーションマニホールド形式連数バルブ形式基本形式2ポートDIN式コネクタオプションフライホイルダイオードLEDインジケータ 電圧●2（A）ポート側を手前にして左からのバルブ取付位置。●バルブ形式は、ステーション毎に指定してください。●ステーションにバルブを取り付けずに、ブロックプ—レートで閉止するときは、BPと記入してください。●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。●DIN式コネクタにはありません。●DC24Vのみ。AC100V,AC200Vには、標準装備。●かならず選択してください。stn.□stn.□ MV200E1 -11 -2 -11V200E1 -2常時開（NO）・・・・・・210BM T NCU-ステーションマニホールド形式●2（A）ポート側を手前にして左—からのバルブ取付位置。stn.□stn.□連数・・・・・・10692014_10

Page 7:連数別寸法寸法図（mm） 形式 L P BM2T 84 72 3T 112 100 4T 140 128 5T 168 156 6T 196 184 7T 224 212 8T 252 240 9T 280 268 10T 308 296V200E1SV200E127992632.52116.51118.5191021 28 4.537 約300 3-Rc1/4 2-φ4.4座ぐり8深さ3取付穴2-φ4.4取付穴25 62-M3×0.5深さ12取付ねじ穴KCA4431Z2（A）1（P）3（R）BM□T990.542.526.53067.525.556.55738131319Rc1/42728 28 28 286 614.5 27 14.5LP約3004-Rc1/4（プラグ2個付）2-φ5.5取付穴V200E1SV200E1MV200E1-11MSV200E1-11ブロックプレ−ト（-BP）KCA4432Z3（R）1（P）462（A） 2（A）オプション●取付ベース：-215645取付穴2（A）9210837（バルブ全長）2φ5.5●DIN式コネクタ付ソレノイド：-39 ●LEDインジケータ付ソレノイド：-L117φ6∼φ877.5（10）4021φ1816Pg9二面幅キャブタイヤ外径2（A）9958.532262720LEDインジケ−タ約30012.52（A）10702014_10

Page 8:連数別寸法寸法図（mm） 形式 L P BM2U 96 76 3U 124 104 4U 152 132 5U 180 160 6U 208 188 7U 236 216 8U 264 244 9U 292 272 10U 320 300BM□U2（A）2（A）80.518.537.561.511.511.5Rc1/428342720.5PL104-φ5.5取付穴2022527034102827 20.5V200E1 MV200E1-11ブロックプレート（-BP）273.26530212-Rc1/4（プラグ1個付）11.5約300調444-11（P）連数別寸法 形式 L P BM2L 96 76 3L 124 104 4L 152 132 5L 180 160 6L 208 188 7L 236 216 8L 264 244 9L 292 272 10L 320 300BM□L2（A）2（A）80.518.537.561.511.511.5Rc1/428342720.5PL10223.24034102827 20.5V200E1MV200E1-11ブロックプレート（-BP）64.5271（P）212-Rc1/4（プラグ1個付）11約300202050204-φ5.5取付穴調444-210712014_10

Page 9:V050,V100,V200 シリーズの取扱い要領と注意事項ソレノイド マニホールド内部回路 配管ブロックプレート1．リード線間は、メガテストを行なわないでください。2．DC24V ソレノイドの場合、極性をまちがえてもショートの心配はありませんが、サージ対策済ソレノイドではバルブは作動しません。また LED インジケータ付ではインジケータは点灯しません。3．回路内に漏れ電流があると、電磁弁が復帰しないなどの誤作動をすることがあります。必ず許容回路漏れ電流値以下でお使いください。回路条件などにより、漏れ電流値が許容回路漏れ電流値を超える場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。4．AC 用ソレノイドはソレノイドにダイオードを使用しているた—め、数個の電磁弁を並列に接続する場合は同色のリード線どうしを結線してください。ただしDC24V 標準ソレノイドは極性がありませんのでどちらのリード線を接続しても構いません。注1．1（P）ポート配管は、マニホールドの配管接続口径に見合—ったサイズを使用してください。2．3（R）ポートに配管したりマフラを取り付けるときは、排気抵抗が極力小さくなるようにしてください。3．連数の多いマニホールドで、多数のバルブが同時作動するときや、高頻度で使用する場合は、両端面の 1（P）, 3（R）ポートを使用してください。注● DC24V標準ソレノイド1（P）ポート、3（R）ポートはマニホール—ドの両端面にあります。取付場所により配管方向が選べます。出荷時には、片側のポートはプラグが仮止めされています。一度取り外し、シールテープなどのシール剤を使用して締め付けてください。使用しないステーションを閉止するときは、ブロックプレート（注文記号：-BP）を使用してください。● AC100V,AC200V（サージ対策済）標準ソレノイドMARK-AMARK-H一般注意事項取付1．取付姿勢は自由ですが、取付ベース（注文記号：-21）を使用して取り付けるときは横方向に強い衝撃がかからないようにしてください。2．水滴、油滴などがかかる場所や粉塵が多い場所で使用するときは、カバーなどで保護してください。また、大気開放ポートにはマフラなどを付けてゴミの侵入を防いでください。3．バルブに配管する前に、必ず配管内のフラッシング（圧縮空気の吹き流し）を十分に行なってください。配管作業中に発生した切屑やシールテープ、錆などがバルブに混入すると、空気漏れなどの作動不良の原因となります。4．制御盤内に取り付けたり、通電時間が長い場合には、通風など、放熱を考慮してください。配管空気源潤滑雰囲気V050,SV100,SV200シリーズでは、流れの方向に制約があります。1051ページ、—弁機能と配管ポート位置を参照の上配—管してください。1．使用流体は空気を使用し、それ以外の流体の場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。2．バルブに使用される空気は、劣化したコンプレッサ油などを含まない清浄な空気を使用してください。バルブの近くにエアフィルタ（ろ過度 40μm 以下）を取り付けてドレンやゴ—ミを取り除いてください。また、エ—アフィルタのドレン抜きは定期的に—行なってください。無給油で使用できますが、ドライエア（水分・油分を含まないエア）を使用す—る場合には、タービン油1種（ISO VG32）相当品による潤滑を推奨します。スピンドル油、マシン油の使用は避け—てください。流体および雰囲気中に下記のような物質が含まれているときは、使用できません。有機溶剤・リン酸エステル系作動油・亜硫酸ガス・塩素ガス・酸類。MARK-X調447-1赤色赤色調447-6黒色または 1 または 21 、2 はDIN式コネクタ付（注文番号:-39）の場合ショート防止用ダイオードバリスタフライホイルダイオードソレノイドAC100V:黄色AC200V:白色（＋）調447-3赤色または 1（ー）黒色または 21 、2 はDIN式コネクタ付（注文記号:-39）の場合LEDインジケータ付ソレノイド 注文記号：-LF,-LLEDインジケータ付ソレノイド 注文記号：-LF,-Lサージ対策済ソレノイド 注文記号：-SR（＋）（ー）調447-2LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色赤色青色調447-7黒色ツェナーダイオードAC100V:黄色AC200V:白色AC100V:黄色AC200V:緑色LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータLED インジケータ付サージ対策済ソレノイド注文記号：-LF -SR（V050 標準タイプ,V100,SV100 シリーズ）LED インジケータ付サージ対策済ソレノイド注文記号：-L -SR（V050 低電流タイプ,V200,SV200シリーズ）（＋）（ー）調447-4LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色赤色黒色（＋）（ー）調447-5LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色赤色黒色10742014_10