真空電磁弁Ｖ０５０シリーズ

Page 1:真空ラインに使用できる電磁弁は、G010シリーズ、112・182シリーズ、Fシリーズのバリエーション中にもあります。詳細につきましては各シリーズをご覧ください。注グラフの見方排気時間：大気圧状態のチャンバ内が真空状態になるまでの所要時間。給気時間：−100kPaのチャンバ内が大気圧状態になるまでの所要時間。真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズム。角形電磁真空弁使いやすさと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました。電磁弁030, 050, 100, 200の各シリーズに対応する、完成度の高い2・3ポート直動形電磁真空弁シリーズです。● V030シリーズは、多連のバキュームパッドに１対１で対応できる、省スペース・低電流タイプです。結線方法が選択できます。AC・DC共サージ対策を標準装備。● V100, V200シリーズは、配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します。● 3ポート弁のV050, SV100, SV200シリーズは正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です。● ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（V030を除く。DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します。圧力センサデジタルメモリスコ−プチャンバ0.2R0.5R1.0RV030E1V050E1V100E1V200E1V030E1：TS4-M5V050E1：TS6-M5V100E1：TS6-01V200E1：TS6-021次側タンク（100R）測定条件① ②① ②はクイック継手KCH4231Z電磁真空弁030シリーズV030E1（標準タイプ）●65mA、1.6A（DC24V）の低電流ソレノイドを搭載。●幅15A、単体質量57gの小形・軽量です。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕‥ 1（P）→2（A）：0.6mm2〔0.02〕, 2（A）→3（R）：0.8mm2〔0.03〕配管接続口径‥‥‥‥ 1（P）・2（A）：M5×0.8, R：φ1.8使用圧力範囲‥ ‥‥‥ −100〜0kPa0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S0 1 2 3 4時間 S真空度−25.3−50.7−76.0−101.3kPa真空度0.2R0.2R0.5R0.5R1.0R1.0R排気時間 給気時間電磁真空弁050シリーズ標準タイプV050E1/低電流タイプV050LE1● 真空・正圧の併用が可能。● ポペットタイプのシールを採用。ドレンなどによる固着が少なく、切換作動が確実です。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 1.5mm2〔0.08〕配管接続口径… …………… M5×0.8（Rc1/8）使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa 0〜0.7MPa0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R0.2R0.5R0.5R1.0R 1.0R排気時間 給気時間‥10502014_10

Page 2:1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気 ）2（A）2（A）2（A）2（A）KCG4241Z電磁真空弁100シリーズ標準タイプV100E1/真空・正圧併用タイプSV100E1●供給圧力を弁シート部で平衡させる圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 5.0mm2〔0.28〕配管接続口径… …………… Rc1/8使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa（V100E1） −100〜0kPa 0〜0.9MPa（SV100E1）0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R1.0R0.5R1.0R0.2R0.5R排気時間 給気時間電磁真空弁200シリーズ標準タイプV200E1/真空・正圧併用タイプSV200E1●100シリーズと同様、供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 8.5mm2〔0.47〕配管接続口径… …………… Rc1/4使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa（V200E1） −100〜0kPa ０〜0.9MPa（SV200E1）0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R1.0R1.0R調KCC4246Z0.2R0.5R0.5R排気時間 給気時間弁機能と配管ポート位置V030, V050正圧を使用しない場合真空と正圧を併用する場合（V050のみ）２ポート常時閉（NC）常時開（NO）（V050のみ）常時閉（NC）常時開（NO）（V050のみ）３ポート非通電時 通電時1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（プラグ ）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（大気）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）（真空ポンプなど）1（P）3（R）KCG4243ZV100, V200２ポート常時閉（NC）常時開（NO）常時閉（NC）常時開（NO）３ポートセレクタ弁デバイダ弁非通電時 通電時1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）KCG242Z３ポート常時閉（NC）常時開（NO）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（正圧）2（A）2（A）KCG4244Z３ポート常時閉（NC）常時開（NO）SV100, SV20010512014_10

Page 3:応答時間注4ON時/OFF時V流量特性21.6〜26.4（24±10％）90〜110（100±10％）180〜220（200±10％）21.6〜26.4（24±10％）——グロメット式：300mm50 60 50 60240（5.8W）〔252（6.0W）〕74〔83〕71〔79〕48〔50〕46〔48〕100（2.4W）〔112（2.7W）〕——DC方式 フライホイル方式 DC方式SM□ （47×n）＋30 20連数毎の質量計算式—（n＝連数）ブロックプレートマニホールド形式SM□1（P）2（A）マニホールドバルブRc1/8M5×0.8注3（R） マニホールド Rc1/8 V050E1 V050LE1めねじ標準配管口仕様M5×0.8オプション めねじ P・AポートRc1/8 RポートM5×0.8配管接続口径基本形式使用流体 真空・空気作動方式 直動形ポジション数，ポート数 ２ポジション, ２・３ポート弁機能 常時閉（NC標準）注2および常時開（NOオプション）有効断面積〔Cv値〕mm2音速コンダクタンスC dm3/（s・bar）注10.31.5〔0.08〕配管接続口径注3M5×0.8給油 不要使用圧力範囲 kPa −100〜０ ０〜0.7MPa保証耐圧力 MPa 1.03最高作動頻度 Hz 5耐衝撃 m/s2使用温度範囲（雰囲気および使用流体）℃ ０〜50取付方向 自由質量注5 g 190（185） 295（290）DC24VAC100V, AC200V横方向軸方向20/20以下 30/30 以下25/25 以下 ——1373.0294.2角形電磁真空弁V050シリーズ電気仕様仕様定格電圧項目標準タイプ 低電流タイプ方式20 10 5 10許容回路漏れ電流値 mAグロメット式：300mmDIN式コネクタ付100以上 100以上絶縁抵抗 MΩ赤色〔赤色（＋）・青色（−）〕注1赤色（＋）・黒色（−）注3黄色・黒色 白色・黒色赤色〔赤色（＋）・青色（−）〕注1赤色（＋）・黒色（−）注3リード線の色赤色 黄色 緑色 赤色LEDインジケータ（オプション）の色使用電圧範囲 V電流値注1定格電圧印加時周波数 Hz励磁注2 mA（r.m.s.）結線方式とリード線長さ標準オプションフライホイルダイオード ———— フライホイルダイオードサージ対策標準 ——フライホイルダイオードオプションDIN式コネクタ付DC24V AC100V AC200V DC24VV050E1基本形式項目標準タイプV050LE1低電流タイプ注1：音速コンダクタンスの値は計算値であり、実測値ではありません。 2：真空と正圧を併用する場合は、正圧側が常時閉。 3：詳細については配管接続口径の表をご覧ください。 4：真空度−100kPa時の値。 5：（ ）は配管接続口径Rc1/8（オプション：-01）の質量です。電磁真空弁配管接続口径ポート 配管接続位置 配管接続口径マニホールド形式マニホールド配管接続口径マニホールド質量g注：取付バルブが標準仕様の場合。オプション：-01の場合はRc1/8となります。（ ）V050E1 V050LE1注1：〔 〕はLEDインジケータ付ソレノイドの場合です。 2：AC用はフライホイルダイオードを内蔵しているため、起動電流値と励磁電流値はほとんど同じです。 3：サージ対策済ソレノイドおよびLEDインジケータ付サージ対策済ソレノイドの場合です。10562014_10

Page 4:電圧LEDインジケータ1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）P.430 K作動原理と表示記号電磁真空弁注文記号オプション●DIN式コネクタにはありません。配管接続口径（Rc1/8）-01２ポート-2常時開（NO）-11●直接配管用。取付ベース-21●-LF, -Lとの組合—せはできません。DIN式コネクタ-39●標準タイプ用。 ●低電流タイプ用。LEDインジケータ内蔵常時閉（NC） 常時開（NO）2（A） 1（P）3（R）KCF4301 Z2（A） 1（P）3（R）KCF4302ZV050E1非通電時V050E1-11非通電時プランジャモ−ルドソレノイドコラムＯリングスプリング 本体主軸ソレノイドカバ−手動ボタン2（A）3（R）（大気）1（P）（真空）2（A）3（R）（大気）1（P）（真空） KCD4301Z注：真空と正圧を併用する場合は、1（P）ポートに正圧、3（R）ポートに真空ポンプを配管してください。注文記号1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）2（A）2（A）2（A）2（A）P.430 KP.434V100常時閉（NC）常時開（NO）常時閉（NC）常時開（NO） 非通電時 通電時２ポート３ポート弁機能と配管ポート位置V050正圧を使用しない場合常時閉（NC）常時開（NO）３ポート真空と正圧を併用する場合主要部材質名称バルブ本体 アルミ合金（アルマイト）黄銅合成ゴム軟鋼（亜鉛めっき）ピアノ線軟鋼（亜鉛めっき）電磁ステンレス電磁軟鉄アルミ合金（アルマイト）軟鋼（亜鉛めっき）合成ゴム主軸Oリング取付ベーススプリングプランジャコラム本体ブロックプレートパッキン取付ブラケットマニホールド材質V050E1V050LE1-01 -2NCU- -11 -21 -39-LF-L-SRDC24V, AC100V, AC200VDC24V基本形式 オプション 電圧DIN式コネクタフライホイルダイオード弁機能２ポート常時開（NO）取付ベース配管接続口径（Rc1/8）●真空と正圧を併用する場合は、正圧側が常時開となります。●DC24Vのみ。AC100V, AC200Vには標準装備。●DIN式コネクタにはありません。SM NCU-210stn.□stn.□V050E1-01 -2 -11 -39-LF-SR-LV050LE1マニホールド形式 ステーションバルブ形式基本形式●2（A）ポート側を手前にして左からのバルブ取付位置。●DC24Vのみ。AC100V, AC200Vには標準装備。マニホールド注文記号連数DC24V, AC100V, AC200VDC24Vオプション配管接続口径（Rc1/8） ２ポート常時開（NO）DIN式コネクタLEDインジケータフライホイルダイオード●バルブ形式はステーション毎に指定してください。●ステーションにバルブを取り付けずにブロックプレートで閉止するときは、BPと記入してください。●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。●DC24Vのみ。（＋）（−）フライホイルダイオード内蔵-SRブロックプレート-BP-LF -L標準タイプ低電流タイプ●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。備考：ノン・イオン仕様の場合は、銅系イオンを発生する材質は使用していません。10572014_10

Page 5:記号形式M5×0.8V050E1Rc1/8V050E1-01A標準タイプ寸法図（mm）V050E1SM□●取付ベース：-21 ●DIN式コネクタ付ソレノイド：-39 ●LEDインジケータ付ソレノイド：-LFオプション404838取付穴2（A）（2か所）6282264.5（バルブ全長）86φ6∼φ869.5（10）4021φ1816 PN9二面幅キャブタイヤ外径2（A）2（A）LEDインジケ−タ205224523629.513186762（A） 2（A）27 270.5 0.55 5 PL24 242810 1028A 4-φ4.5取付穴13.5184-Rc1/8（プラグ2個付）V050E1,V050E1-11ブロックプレ−ト（-BP）KCA4312Z1（P）3（R）記号形式M5×0.8V050E1Rc1/8V050E1-01A形式 L PSM2 76 66SM3 104 94SM4 132 122SM5 160 150SM6 188 178SM7 216 206SM8 244 234SM9 272 262SM10 300 290連数別寸法□27 37.5101530.537.5約3001818 4.52020187652-φ3.5座ぐりφ6.5深さ3取付穴取付ねじ穴2-M4×0.7深さ52（A）3（R）1（P）M5×0.82-AKCA4311Z□27 10.52210582014_10

Page 6:記号形式M5×0.8V050LE1Rc1/8V050LE1-01A低電流タイプ寸法図（mm）V050LE1SM□●取付ベース：-21 ●DIN式コネクタ付ソレノイド：-39 ●LEDインジケータ付ソレノイド：-Lオプション5645取付穴2（A）9291.537（バルブ全長）2φ5.5（100.5）φ6∼φ8（10）4021φ18 Pg9キャブタイヤ外径2（A）77.516二面幅2（A）82.532262027LEDインジケ−タ約30012.558.520622452361316.518682.52（A） 2（A）27 270.5 0.55 5 PL24 242810 1028A 4-φ4.5取付穴13.5184-Rc1/8（プラグ2個付）V050LE1,V050LE1-11ブロックプレ−ト（-BP）KCA4322Z3（R）1（P）記号形式M5×0.8V050LE1Rc1/8V050LE1-01A形式 L PSM2 76 66SM3 104 94SM4 132 122SM5 160 150SM6 188 178SM7 216 206SM8 244 234SM9 272 262SM10 300 290連数別寸法27 371015約3001825 620202182.552-φ3.5座ぐりφ6深さ3取付穴取付ねじ穴2-M3×0.5深さ62（A）3（R）1（P）M5×0.82-AKCA4321Z10592014_10

Page 7:V050,V100,V200 シリーズの取扱い要領と注意事項ソレノイド マニホールド内部回路 配管ブロックプレート1．リード線間は、メガテストを行なわないでください。2．DC24V ソレノイドの場合、極性をまちがえてもショートの心配はありませんが、サージ対策済ソレノイドではバルブは作動しません。また LED インジケータ付ではインジケータは点灯しません。3．回路内に漏れ電流があると、電磁弁が復帰しないなどの誤作動をすることがあります。必ず許容回路漏れ電流値以下でお使いください。回路条件などにより、漏れ電流値が許容回路漏れ電流値を超える場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。4．AC 用ソレノイドはソレノイドにダイオードを使用しているた—め、数個の電磁弁を並列に接続する場合は同色のリード線どうしを結線してください。ただしDC24V 標準ソレノイドは極性がありませんのでどちらのリード線を接続しても構いません。注1．1（P）ポート配管は、マニホールドの配管接続口径に見合—ったサイズを使用してください。2．3（R）ポートに配管したりマフラを取り付けるときは、排気抵抗が極力小さくなるようにしてください。3．連数の多いマニホールドで、多数のバルブが同時作動するときや、高頻度で使用する場合は、両端面の 1（P）, 3（R）ポートを使用してください。注● DC24V標準ソレノイド1（P）ポート、3（R）ポートはマニホール—ドの両端面にあります。取付場所により配管方向が選べます。出荷時には、片側のポートはプラグが仮止めされています。一度取り外し、シールテープなどのシール剤を使用して締め付けてください。使用しないステーションを閉止するときは、ブロックプレート（注文記号：-BP）を使用してください。● AC100V,AC200V（サージ対策済）標準ソレノイドMARK-AMARK-H一般注意事項取付1．取付姿勢は自由ですが、取付ベース（注文記号：-21）を使用して取り付けるときは横方向に強い衝撃がかからないようにしてください。2．水滴、油滴などがかかる場所や粉塵が多い場所で使用するときは、カバーなどで保護してください。また、大気開放ポートにはマフラなどを付けてゴミの侵入を防いでください。3．バルブに配管する前に、必ず配管内のフラッシング（圧縮空気の吹き流し）を十分に行なってください。配管作業中に発生した切屑やシールテープ、錆などがバルブに混入すると、空気漏れなどの作動不良の原因となります。4．制御盤内に取り付けたり、通電時間が長い場合には、通風など、放熱を考慮してください。配管空気源潤滑雰囲気V050,SV100,SV200シリーズでは、流れの方向に制約があります。1051ページ、—弁機能と配管ポート位置を参照の上配—管してください。1．使用流体は空気を使用し、それ以外の流体の場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。2．バルブに使用される空気は、劣化したコンプレッサ油などを含まない清浄な空気を使用してください。バルブの近くにエアフィルタ（ろ過度 40μm 以下）を取り付けてドレンやゴ—ミを取り除いてください。また、エ—アフィルタのドレン抜きは定期的に—行なってください。無給油で使用できますが、ドライエア（水分・油分を含まないエア）を使用す—る場合には、タービン油1種（ISO VG32）相当品による潤滑を推奨します。スピンドル油、マシン油の使用は避け—てください。流体および雰囲気中に下記のような物質が含まれているときは、使用できません。有機溶剤・リン酸エステル系作動油・亜硫酸ガス・塩素ガス・酸類。MARK-X調447-1赤色赤色調447-6黒色または 1 または 21 、2 はDIN式コネクタ付（注文番号:-39）の場合ショート防止用ダイオードバリスタフライホイルダイオードソレノイドAC100V:黄色AC200V:白色（＋）調447-3赤色または 1（ー）黒色または 21 、2 はDIN式コネクタ付（注文記号:-39）の場合LEDインジケータ付ソレノイド 注文記号：-LF,-LLEDインジケータ付ソレノイド 注文記号：-LF,-Lサージ対策済ソレノイド 注文記号：-SR（＋）（ー）調447-2LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色赤色青色調447-7黒色ツェナーダイオードAC100V:黄色AC200V:白色AC100V:黄色AC200V:緑色LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータLED インジケータ付サージ対策済ソレノイド注文記号：-LF -SR（V050 標準タイプ,V100,SV100 シリーズ）LED インジケータ付サージ対策済ソレノイド注文記号：-L -SR（V050 低電流タイプ,V200,SV200シリーズ）（＋）（ー）調447-4LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色赤色黒色（＋）（ー）調447-5LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色赤色黒色10742014_10