真空電磁弁Ｖ０３０シリーズ

Page 1:真空ラインに使用できる電磁弁は、G010シリーズ、112・182シリーズ、Fシリーズのバリエーション中にもあります。詳細につきましては各シリーズをご覧ください。注グラフの見方排気時間：大気圧状態のチャンバ内が真空状態になるまでの所要時間。給気時間：−100kPaのチャンバ内が大気圧状態になるまでの所要時間。真空ラインの確実作動と耐久性を約束する、信頼のメカニズム。角形電磁真空弁使いやすさと信頼性を追求した合理的な機構が、高機能と確実作動を実現させました。電磁弁030, 050, 100, 200の各シリーズに対応する、完成度の高い2・3ポート直動形電磁真空弁シリーズです。● V030シリーズは、多連のバキュームパッドに１対１で対応できる、省スペース・低電流タイプです。結線方法が選択できます。AC・DC共サージ対策を標準装備。● V100, V200シリーズは、配管ポートと流れの方向に制約されないNC（常時閉）・NO（常時開）共用の2・3ポート弁としての用途のほか、セレクタ弁（2圧切換弁）や、デバイダ弁（分配弁）としても、その真価を発揮します。● 3ポート弁のV050, SV100, SV200シリーズは正圧との併用においても高い信頼性を発揮しますから、真空破壊用や強制離脱用バルブとしても最適です。● ACソレノイドにはフライホイルダイオードを標準装備（V030を除く。DC24V用はオプション）ソレノイドの焼損やうなりを解消します。圧力センサデジタルメモリスコ−プチャンバ0.2R0.5R1.0RV030E1V050E1V100E1V200E1V030E1：TS4-M5V050E1：TS6-M5V100E1：TS6-01V200E1：TS6-021次側タンク（100R）測定条件① ②① ②はクイック継手KCH4231Z電磁真空弁030シリーズV030E1（標準タイプ）●65mA、1.6A（DC24V）の低電流ソレノイドを搭載。●幅15A、単体質量57gの小形・軽量です。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕‥ 1（P）→2（A）：0.6mm2〔0.02〕, 2（A）→3（R）：0.8mm2〔0.03〕配管接続口径‥‥‥‥ 1（P）・2（A）：M5×0.8, R：φ1.8使用圧力範囲‥ ‥‥‥ −100〜0kPa0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S0 1 2 3 4時間 S真空度−25.3−50.7−76.0−101.3kPa真空度0.2R0.2R0.5R0.5R1.0R1.0R排気時間 給気時間電磁真空弁050シリーズ標準タイプV050E1/低電流タイプV050LE1● 真空・正圧の併用が可能。● ポペットタイプのシールを採用。ドレンなどによる固着が少なく、切換作動が確実です。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 1.5mm2〔0.08〕配管接続口径… …………… M5×0.8（Rc1/8）使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa 0〜0.7MPa0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R0.2R0.5R0.5R1.0R 1.0R排気時間 給気時間‥10502014_10

Page 2:1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気 ）2（A）2（A）2（A）2（A）KCG4241Z電磁真空弁100シリーズ標準タイプV100E1/真空・正圧併用タイプSV100E1●供給圧力を弁シート部で平衡させる圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 5.0mm2〔0.28〕配管接続口径… …………… Rc1/8使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa（V100E1） −100〜0kPa 0〜0.9MPa（SV100E1）0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R1.0R0.5R1.0R0.2R0.5R排気時間 給気時間電磁真空弁200シリーズ標準タイプV200E1/真空・正圧併用タイプSV200E1●100シリーズと同様、供給圧力を弁シート部でバランスさせている圧力バランスポペット方式を採用。操作力が小さいため、高頻度作動に適し、小形で大流量が得られます。〈主な仕様〉有効断面積〔Cv値〕………… 8.5mm2〔0.47〕配管接続口径… …………… Rc1/4使用圧力範囲… …………… −100〜0kPa（V200E1） −100〜0kPa ０〜0.9MPa（SV200E1）0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2 3 4時間 S真空度0−25.3−50.7−76.0−101.3kPa1 2時間 S真空度0.2R1.0R1.0R調KCC4246Z0.2R0.5R0.5R排気時間 給気時間弁機能と配管ポート位置V030, V050正圧を使用しない場合真空と正圧を併用する場合（V050のみ）２ポート常時閉（NC）常時開（NO）（V050のみ）常時閉（NC）常時開（NO）（V050のみ）３ポート非通電時 通電時1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ ）1（P）（プラグ ）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）1（P）（大気）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）2（A）（真空ポンプなど）1（P）3（R）KCG4243ZV100, V200２ポート常時閉（NC）常時開（NO）常時閉（NC）常時開（NO）３ポートセレクタ弁デバイダ弁非通電時 通電時1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）2（A）2（A）KCG242Z３ポート常時閉（NC）常時開（NO）1（P）（正圧）3（R）（真空ポンプなど）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（正圧）2（A）2（A）KCG4244Z３ポート常時閉（NC）常時開（NO）SV100, SV20010512014_10

Page 3:65（1.6W） LEDインジケータ 付は75（1.8W）〔 〕130（1.6W） LEDインジケータ 付は140（1.7W）〔 〕————————50 60 50 6036 32 18 1624 20 12 10フライホイルダイオード バリスタ赤色 黄色 緑色茶色（＋），黒色（−） 赤色（＋），黒色（−） 黄色 白色プラグコネクタ式：300mmオーダーメイドについては1053ページをご覧ください。10.8〜13.2（12±10％）21.6〜26.4（24±10％）90〜132（100 ％）180〜264（200 ％）サージ対策用フライホイルダイオード内蔵フライホイル方式 シェーディング方式YM□T （11×n）−１ 3­連数毎の質量計算式—（n＝連数）ブロックプレートマニホールド形式YM□T1（P）3（R）マニホールドM5×0.8M6×12（A） バルブ M5×0.8V030E1めねじ───配管口仕様1（P）・2（A）：M5×0.83（R）：φ1.8配管接続口径電磁真空弁形式最高作動頻度 Hz 5耐衝撃m/s2流量特性横方向軸方向1373.0117.7使用温度範囲（雰囲気および使用流体）℃ 5〜50ポジション数・ポート数質量 g 57使用圧力範囲 kPa −100〜015/40以下作動方式弁機能配管接続口径直動形常時閉（NC）1（P）・2（A）：M5×0.8，3（R）：φ1.8使用流体音速コンダクタンスC dm3/（s・bar）注1有効断面積〔Cv値〕 mm2給油応答時間注2msON時/OFF時DC12V, 24VAC100V, AC200V取付方向真空2ポジション，2・3ポート1（P）→2（A）：0.12 2（A）→3（R）：0.161（P）→2（A）：0.6〔0.02〕2（A）→3（R）：0.8〔0.03〕不要10/25以下自由角形電磁真空弁V030シリーズ電気仕様仕様定格電圧項目方式使用電圧範囲 V許容回路漏れ電流値 mA 8100以上グロメット式：300mm4 4 2絶縁抵抗 MΩリード線の色LEDインジケータの色サージ対策（標準装備）結線方式とリード線長さ電流値（定格電圧印加時）周波数 Hz起動 mA（r.m.s.）励磁 mA（r.m.s.）標準オプションDC12V DC24V AC100V AC200VV030E1基本形式項目注1：音速コンダクタンスの値は計算値であり、実測値ではありません。 2：真空度−100kPa時の値。電磁真空弁配管接続口径ポート 配管接続位置 配管接続口径マニホールド形式マニホールド配管接続口径マニホールド質量­g＋32−10＋32−1010522014_10

Page 4:●DC24Vにはサージ対策用フライホイル—ダイオード標準装備。●DC24Vにはサージ対策用フライホイル—ダイオード標準装備。直接配管 2・3ポート常時閉注文記号電磁真空弁注文記号マニホールド注文記号アディショナルパーツオーダーメイド 詳細につきましては、電磁弁030シリーズをご覧ください。オプションV030E1NCU- -2 -83 ストレートコネクタ：-PSL エルコネクタ：-PLLDC12V, DC24VAC100V, AC200V基本形式 オプション ソレノイドオプション弁機能 手動ボタン２ポート●無記入：3ポート●標準：ノンロック形●標準：グロメット式LEDインジケータの色DC12V：赤色DC24V：赤色AC100V：黄色AC200V：緑色ロック突出形LEDインジケータ付コネクタ電圧●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。YM210Tstn.□stn.□V030E1 -2NCU- -83ストレートコネクタ：-PSLエルコネクタ：-PLLDC12V, DC24VAC100V, AC200Vマニホールド形式 ステーション バルブ形式基本形式 ２ポート手動ボタンロック突出形 LEDインジケータ付コネクタ●無記入：3ポート●標準：ノンロック形●標準：グロメット式LEDインジケータの色DC12V：赤色DC24V：赤色AC100V：黄色AC200V：緑色電圧ソレノイドオプションオプション●2（A）ポート側を手前にして 左からのバルブ取付位置マフラ●マニホールド専用●リード線なし。●コネクタ、コンタクト付属。●リード線なし。●コネクタ、コンタクト付属。●プラグコネクタ用。 ●長さ -1L：1000 （mm）-3L：3000●-Lとの組合せはできません。●-39との組合せはできません。KM-06LEDインジケータ付ストレートコネクタ-PSLNLED インジケータ付エルコネクタ-PLLNリード線長さ-1L-3LDIN式コネクタ-39LED インジケータ・バリスタ内蔵-L取付ベース030-21ブロックプレートロック突出形手動ボタン-83LEDインジケータ付ストレートコネクタ-PSL -PLLLEDインジケータ付エルコネクタ● YM T -BPYM—YM用T—T形マニホールド用●ノン・イオン仕様を注文する場合は基本形式の前にNCU-を記入してください。10532014_10

Page 5:常時閉（NC）常時閉（NC） 非通電時 通電時２ポート３ポート作動原理と表示記号主要部材質電磁真空弁寸法図（mm）V030E1非通電時 通電時常時閉（NC）2（A） 3（R）（大気）1（P）（真空）2（A） 3（R）1（P）コラムソレノイドカバ− シェ−ディングコイルモ−ルドソレノイドプランジャプランジャスプリングプランジャピン手動ボタン本体フラッパ（ACソレノイドのみ）注：3（R）ポ−トに直接配管はできません。KCD4272Z弁機能と配管ポート位置V030名称バルブ本体 アルミ合金（アルマイト）合成ゴム合成ゴム電磁ステンレスステンレス軟鋼（亜鉛めっき）アルミ合金（アルマイト）軟鋼（亜鉛めっき）Oリングフラッパプランジャコラムスプリング取付ベース本体ブロックプレートブラケットパッキンマニホールド材質V030E148.211111881524M5×0.8M5×0.82-M3×0.52（A）2（A）1（P）2-φ2.8座ぐりφ5.4深さ3手動ボタンノンロック形：標準ロック突出形：-83約300取付穴取付ねじ穴9148.5φ1.8（3（R）ポ−ト）3（R）1（P）2（A） 1（P）3（R）KCF4271Z1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）2（A）2（A）P.430 K1（P）（真空ポンプなど）3（R）（プラグ）1（P）（真空ポンプなど）3（R）（大気）2（A）2（A）P.430備考：ノン・イオン仕様の場合は、銅系イオンを発生する材質は使用していません。10542014_10

Page 6:記号形式V030E1 56A49B64.1C-PSL, -PLL：300オーダーメイド：-1L ; 1000 -3L ; 3000R（リード線長さ）バルブ端面までの全長備考マニホールド寸法図（mm）形式 L P1 P2YM2TYM3TYM4TYM5TYM6TYM7TYM8TYM9TYM10T32 1648 3264 4880 6496 80112 96128 112144 128160 144163248648096112128─連数別寸法YM□T50.210201515 158L816 16M5×0.8手動ボタンノンロック形：標準ロック突出形：-8324 約3002197.517.52215.516 16P220.52-M5×0.82-M6×1（プラグ1個付）（プラグ1個付）108 8P12-φ4.5（取付穴） 502515125030E1ブロックプレ−ト4-M3深さ4.52-M3深さ4.5ブラケット取付ねじ取付ねじ穴注KCA42811（P）3（R）アディショナルパーツ（別売部品） オプション オーダーメイド●取付ベース：030-21●マフラ：-75 マニホールド専用●ロック突出形手動ボタン：-83 ●DIN式コネクタ付ソレノイド：-39●ストレートコネクタ付ソレノイド：-PSL ●LEDインジケータ付ソレノイド：-L●エルコネクタ付ソレノイド：-PLLmm2428402 -φ4.5取付穴51.653.2（バルブ上面まで）KCA4282Z1664（11.5）10二面幅M6×1KCA4283Zφ66.5KCA4284ZrA36LEDインジケ−タRA363410KCA4285Z29BR 44.520.5LEDインジケ−タC13φ14.8 （2.4） 54M12 ×1.25（44.1）（34.5）（27）7.528.2LEDインジケ−タ3410約30024.5注：YM2Tにはありません。10552014_10

Page 7:V030シリーズの取扱い要領と注意事項ソレノイド内部回路1．リード線間は、メガテストを行なわないでください。2．DC12V,DC24Vソレノイドの場合、極性をまちがえてもショートの心配はありませんが、バルブは作動しません。3．回路内に漏れ電流があると、電磁弁が復帰しないなどの誤作動をすることがあります。必ず許容回路漏れ電流値以下でお使いください。回路条件などにより、漏れ電流値が許容回路漏れ電流値を超える場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。注注1．リード線は強く引っ張らないでください。接触不良や断線などの原因となります。2．ピンが曲がった場合は、時計ドライバーなどで、—静かにピンをまっすぐにしてからコネクタを装—着してください。注●DC12V,DC24V標準ソレノイド（サージ対策済）●AC100V,AC200V標準ソレノイド（サージ対策済）MARK-Aプラグコネクタプラグコネクタの着脱コネクタを指でつまみピンに挿入し、レバーの爪がコネクタハウジングの凸部に引掛かるまで押し込むと装着されます。コネクタを離脱するには、レバーをコネクタ本体と一緒につまみ、レバーの爪をコネクタハウジングの凸部から外して引き抜きます。MARK-Bリード線 DC12V 茶色 DC24V 赤色ショート防止用ダイオードソレノイドフライホイルダイオードリード線黒色2（＋）3（ー）調445-1凸部ピンコネクタハウジングコネクタレバー極性表示（DC）コンタクトコネクタ アッセンブリC調445-5コモン端子結線済プラグコネクタ1.DC用プラス側およびAC用コモン端子結線済注文記号：ストレートコネクタ付-CPSLエルコネクタ付-CPLL2.DC用マイナス側コモン端子結線済注文記号：ストレートコネクタ付-CMSLエルコネクタ付-CMLL（−）（−）（−）（−）（−）（−） COM.（＋）わたり線コネクタコネクタハウジングCOM.,わたり線の色DC12V：茶色DC24V：赤色AC100V：黄色AC200V：白色極性はDCの場合。調445-8（＋）（＋）（＋）（＋）（＋）（＋）COM.（−）わたり線コネクタコネクタハウジングCOM.,わたり線の色DC12V：黒色DC24V：黒色調445-9リード線とコンタクトの圧着リード線をコンタクトに圧着するためには、—リード線先端の被履を4mmはがし、コンタクト—に挿入して圧着します。このとき、被履が芯線の圧着部にかからないように注意してください。フック 芯線圧着部被覆押え被覆リード線AWG24相当品芯線4mm調445-6コンタクトとコネクタの着脱リード線付コンタクトをコネクタの□穴に押し込むと、コンタクトのフックがコネクタに引掛かり固定されます。リード線を軽く引いて抜けないことを確認してください。コネクタ側面の長方形の穴から、先端の細いもの（時計ドライバーなど）でフックを上に押し上げるようにしながらリード線を引くと、外れます。調445-7リード線 AC100V黄色 AC200V白色調445-32 または 33 または 2ソレノイドバリスタLEDインジケータ付ソレノイド（サージ対策済）注文記号：-PSL, -PLLリード線 DC12V 茶色 DC24V 赤色リード線黒色（＋）（ー）調445-2LEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色LEDインジケータ付ソレノイド（サージ対策済）注文記号：-PSL, -PLLリード線 AC100V黄色 AC200V白色LEDインジケータ AC100V黄色 AC200V緑色調445-4ダイオードLEDインジケータ（発光ダイオード）COM.,わたり線の色DC12V：茶色DC24V：赤色AC100V：黄色AC200V：白色COM.,わたり線の色DC12V：黒色DC24V：黒色②、③はDIN式コネクタ付（注文記号：-39）の場合。②、③はDIN式コネクタ付（注文記号：-39）の場合。1．リード線は強く引っ張らないでください。2．リード線とコンタクトの圧着には、必ず専用の工具を使用してください。—コンタクト：形式 702062-2M—コンタクト：住鉱テック株式会社製—手 動 工 具：形式 F1-702062—手 動 工 具：住鉱テック株式会社製注1．図はストレートコネクタの場合です。1．エルコネクタ付の場合はコネクタの向きが異なりますが、COM.のリード線の立上げはどちらも最後のステーションの取付バルブからとなります。2．COM.端子は、コネクタハウジング内でわたり線の端子に結線されているため、コネクタを交換してプラス側コモン←→マイナス側コモンの変更はできません。10722014_10

Page 8:PUSH調446-1手動ボタンノンロック形・ロック突出形ノンロック形手動ボタンは、先端の細いもので手動ボタンをつきあたるまで押して操作します。ボタンを押している間、バルブは通電時と同じ状態になり、離すと復帰します。ロック突出形手動ボタンは、指先または時計ドライバーで、手動ボタンをつきあたるまで押しながら45度以上回すとロックされます。このとき回転方向は、どちらでもさしつかえありませ—ん。ロックされた状態から更に回転させると、手動ボタンがスプリングによって元の位置に復帰し、ロックが解除されます。手動ボタンを回転させなければ、ノンロック形として使用できます。このときは、ボタンを押している間、バルブは通電時と同じ状態になり、離すと復帰します。ロック突出形手動ボタンは、平常運転開始前に必ずロックを解除してください。注1（P）ポート配管は、マニホールドの配管接続口径に見合ったサイズを使用してください。流量、真空度が不足すると、バルブの誤作動や吸着パッドの吸着不良などの原因となります。注MARK-Cマニホールド配管ブロックプレート1（P）ポート、3（R）ポートはマニホールドの両端面にあり、取付場所により配管方向が選べます。出荷時には、片側のポートはプラグが仮止めさ—れています。一度取り外し、シールテープなど—のシール剤を使用して締め付けてください。使用しないステーションを閉止するときには、ブロックプレート（注文記号：-BP）を使用してください。MARK-H一般注意事項取付空気源雰囲気1．取付姿勢は自由ですが、取付ベース（注文記号：030-21）を使用して取り付けるときは横方向に強い衝撃がかからないようにしてください。2．水滴、油滴などがかかる場所や粉塵が多い場所で使用するときは、カバーなどで保護してください。また3（R）ポートにはマフラ（注文記号：KM-06）などを付けてゴミの侵入を防いでください。3．バルブに配管する前に、必ず配管内のフラッシング（圧縮空気の吹き流し）を十分に行なってください。配管作業中に発生した切屑やシールテープ、錆などがバルブに混入すると、空気漏れなどの作動不良の原因となります。4．制御盤内に取り付けたり、通電時間が長い場合には、通風など、放熱を考慮してください。使用流体は空気を使用し、それ以外の流体の場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。流体および雰囲気中に下記のような物質が含まれているときは、使用できません。有機溶剤・リン酸エステル系作動油・亜硫酸ガス・塩素ガス・酸類。MARK-X10732014_10