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FAセンサ MELSENSOR レーザ変位センサ

製品カタログ

あらゆる製造現場の生産性および品質の向上を可能にするレーザ変位センサ

業界最高クラスの超高速・高精度。当社のレーザ変位センサは、シーケンサ、表示器 GOTと連携し、ミクロン領域の測定で「Easy to Use」を実現します。

◆業界最高クラスの測定精度と品揃え
◆三菱電機シーケンサとの親和性を追求したコントローラ
◆表示器との親和性を追求したコントローラ

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このカタログについて

ドキュメント名 FAセンサ MELSENSOR レーザ変位センサ
ドキュメント種別 製品カタログ
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取り扱い企業 三菱電機株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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シーケンサ e-F@ctory情報連携製品
製品カタログ

三菱電機株式会社

ソフトウェア MC Works64
製品カタログ

三菱電機株式会社

このカタログの内容

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表紙

三菱電機 FAセンサ MELSENSOR レーザ変位センサ
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Global Player 三菱電機グループは「グローバル 環境先進企業」を目指します。 三菱電機グループは、以下の多岐にわたる分野で事業を展開しています。 三菱電機グループは、「常により良いものを 重電システム 目指し、変革していく」という“Changes for タービン発電機、水車発電機、原子力機器、電動機、変圧器、パワーエレクトロニクス機器、遮断 器、ガス絶縁開閉装置、開閉制御装置、監視制御、保護システム、大型映像表示装置、車両用電 the Better”の理念のもと、活力とゆとりの 機品、エレベーター、エスカレーター、ビルセキュリティーシステム、ビル管理システム、粒子線 ある社会の実現に取り組んできました。そし 治療装置、その他 ていま、時代に応える“eco changes”の精 神で、家庭から宇宙まで、あらゆる事業を通 産業メカトロニクス じ、環境に配慮した持続可能な社会の実現に プログラマブルコントローラー、インバーター、ACサーボ、表示器、電動機、ホイスト、電磁開閉 向けてチャレンジしています。そのために、 器、ノーヒューズ遮断器、漏電遮断器、配電用変圧器、電力量計、無停電電源装置、産業用送風 機、数値制御装置、放電加工機、レーザー加工機、産業用ロボット、クラッチ、自動車用電装品、 社員一人ひとりがお客さまと一体となって、 カーエレクトロニクス、カーメカトロニクス機器、カーマルチメディア機器、その他 グローバルな視点で、暮らしを、ビジネスを、 社会を、より安心・快適に変えてゆきます。 情報通信システム 三菱電機グループは、最先端の環境技術と優 無線通信機器、有線通信機器、監視カメラシステム、衛星通信装置、人工衛星、レーダー装置、 れた製品力を世界に展開し、豊かな社会の構 アンテナ、放送機器、データ伝送装置、ネットワークセキュリティーシステム、情報システム関連 機器及びシステムインテグレーション、その他 築に貢献する「グローバル環境先進企業」を 目指します。 電子デバイス パワーモジュール、高周波素子、光素子、液晶表示装置、その他 家庭電器 液晶テレビ、ルームエアコン、パッケージエアコン、ヒートポンプ式給湯暖房システム、冷蔵庫、 扇風機、換気扇、太陽光発電システム、電気温水器、LED ランプ、蛍光ランプ、照明器具、圧縮 機、冷凍機、除湿機、空気清浄機、ショーケース、クリーナー、ジャー炊飯器、電子レンジ、 IH クッキングヒーター、その他 01
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INDEX

Global Player 三菱電機グループは「グローバル あらゆる製造現場の生産性および品質の 環境先進企業」を目指します。 向上を可能にするレーザ変位センサ 業界最高クラスの超高速・高精度。 当社のレーザ変位センサは、シーケンサ、表示器 GOTと連携し、 ミクロン領域の測定で「Easy to Use」を実現します。 三菱電機グループは、以下の多岐にわたる分野で事業を展開しています。 三菱電機グループは、「常により良いものを 重電システム 目指し、変革していく」という“Changes for タービン発電機、水車発電機、原子力機器、電動機、変圧器、パワーエレクトロニクス機器、遮断 器、ガス絶縁開閉装置、開閉制御装置、監視制御、保護システム、大型映像表示装置、車両用電 the Better”の理念のもと、活力とゆとりの 機品、エレベーター、エスカレーター、ビルセキュリティーシステム、ビル管理システム、粒子線 INDEX— ————————————————————02 ある社会の実現に取り組んできました。そし 治療装置、その他 ていま、時代に応える“eco changes”の精 CONCEPT— ——————————————————03 神で、家庭から宇宙まで、あらゆる事業を通 産業メカトロニクス センサヘッド— ——————————————————05 じ、環境に配慮した持続可能な社会の実現に プログラマブルコントローラー、インバーター、ACサーボ、表示器、電動機、ホイスト、電磁開閉 向けてチャレンジしています。そのために、 器、ノーヒューズ遮断器、漏電遮断器、配電用変圧器、電力量計、無停電電源装置、産業用送風 コントローラ————————————————————09 機、数値制御装置、放電加工機、レーザー加工機、産業用ロボット、クラッチ、自動車用電装品、 社員一人ひとりがお客さまと一体となって、 カーエレクトロニクス、カーメカトロニクス機器、カーマルチメディア機器、その他 システム構成— ——————————————————16 グローバルな視点で、暮らしを、ビジネスを、 社会を、より安心・快適に変えてゆきます。 情報通信システム 製品一覧— ———————————————————17 三菱電機グループは、最先端の環境技術と優 無線通信機器、有線通信機器、監視カメラシステム、衛星通信装置、人工衛星、レーダー装置、 仕様— —————————————————————19 れた製品力を世界に展開し、豊かな社会の構 アンテナ、放送機器、データ伝送装置、ネットワークセキュリティーシステム、情報システム関連 機器及びシステムインテグレーション、その他 築に貢献する「グローバル環境先進企業」を 外形寸法図— ——————————————————26 目指します。 電子デバイス パワーモジュール、高周波素子、光素子、液晶表示装置、その他 家庭電器 液晶テレビ、ルームエアコン、パッケージエアコン、ヒートポンプ式給湯暖房システム、冷蔵庫、 扇風機、換気扇、太陽光発電システム、電気温水器、LED ランプ、蛍光ランプ、照明器具、圧縮 機、冷凍機、除湿機、空気清浄機、ショーケース、クリーナー、ジャー炊飯器、電子レンジ、 IH クッキングヒーター、その他 02
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CONCEPT

CONCEPT レーザ変位センサは、e-F@ctoryにおいて必要なデータをリアルタイムにセンシングする生産現場のキーとなるパーツです。当社の レーザ変位センサMH11は、オープンネットワーク—CC-Link—IE、iQ—Sensor—Solution(iQSS)対応により、当社FA製品との高い 親和性を持ち備え、収集したデータをエッジコンピューティング層にシームレスに連携し、TCO(※1)を削減するための分析・解析をよ りスムーズに行うことを可能にします。 業界最高クラスの測定精度と品揃え サンプリング周期10μs、最小分解能0.01μmを実現。— 46機種のセンサヘッドで様々なアプリケーションに対応します。 三菱電機シーケンサとの親和性を追求したコントローラ コントローラにCC-Link—IEフィールドネットワーク—Basicインタフェース機能を搭載し、e-F@ctory情報連携を強化。— iQSS対応により、プログラムレスでコントローラの情報を簡単に取得し、設定変更も容易に行えます。 表示器との親和性を追求したコントローラ コントローラにGOT2000をダイレクトに接続し、パソコンレスで測定値モニタとパラメータ設定を行えます。(※2) ※1—TCO—=—Total—Cost—of—Ownership ※2—GT2104-PMBDS2が対応しています。 03
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FA統合ソリューション「e-F@ctory」は、FA技術とIT技術を活用し、開発・生産・保守の全般にわたるトータルコストを削減するこ とで、一歩先のものづくりを支援するソリューションを提案します。 since2003 サプライチェーン 調達 販売・物流 生産製造 サービス エンジニアリング チェーン 製品設計 工程設計 運用・保守 ERP SCM MES ITシステム CAD/CAM シミュレータ SCADA FA-IT 情報連携 データ1次処理・分析 情報連携処理 エッジコンピューティング C言語コントローラ MESインタフェース センシング レーザ変位 センサ MH11 コントローラ センサ 生産現場 駆動 コントローラ メカトロニクス 省エネ 製品群 製品群 製品群 製品群 製品群 生産性向上 品質向上 省エネ 安全性向上 セキュリティ — レーザ変位センサMH11 04
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センサヘッド

センサヘッド 業界最高クラスの高速・高精度測定を実現 測定中心距離 レーザダイオード 測定範囲 HR-WL HDWC-SoC-CMOSセンサ センサヘッドの光学処理 シャープなレーザ光 レーザ光の最適化 投光光学系の最適化により、測定範囲の両端で広がりの レーザ光強度調整機能により、測定対象の明暗変化に対 小さいレーザ光を実現。 し投光量を自動で最適化します。 受光量の過不足により ピーク位置を測定でき ず、測定精度が低くな MH11H05□0L る。 減光 0.11×1.3mm 0.07×1.0mm 0.11×0.7mm 増光 適正な受光量になる MH11H05□0S 0.11×0.13mm 0.07×0.07mm 0.11×0.13mm よう投光量を自動で 距離 55mm 50mm 45mm 調整して、高精度な測 定を行います。 測定範囲の全域において高精度に測定可能 HR-WL撮像光学系(※1) HDWC-SoC-CMOSセンサ(※2) 撮像光学系の収差を極限まで低減し、広角度のレーザ光 最新のCMOSプロセス技術により、高密度・幅広の撮像素 を、撮像素子上に極小点で結像させ、高精度化しました。 子と信号処理回路を集積化した「システム・オン・チップ」化 により、高分解能・高感度な撮像と高速信号処理を実現しま した。 高密度:撮像素子 撮像素子 幅広:高感度 SoC化  信号処理 (システム・オン・チップ化) 信号処理 信号処理IC 撮像素子 ※2—HDWC=High—Density—Wide—Cell、—SoC=System—on—Chip ※1—HR-WL=High—Resolution—Wide—Lens 05 ➡
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高速演算処理 高速処理に特化した専用ICと独自アルゴリズム で、センサヘッドとコントローラ間をデジタル伝送。 測定値の高速伝送と安定性を両立します。 セ ン 測定物の特性に合わせた測定が可能 サッヘ ド 金属、樹脂、ゴムなどでも測定物の材料特性に合わせて測定モードを選択できます。透明体の場合も屈折率に合せ正確に測 定できます。 測定モード 測定対象 拡散反射(標準) 金属、樹脂、ゴム、セラミック(鏡面体、透明体以外)など コン ト しみ込み 半透明体(樹脂)など ロー ラ 金属 樹脂 ゴム 金属1 ヘアラインのある金属(押出材、圧延材)など 金属2 強いヘアラインがある金属(細かい傷、切削痕、研削面)など 正反射(標準) 鏡面体、透明体、ガラスの表裏面 ガラス ガラスの隙間、厚み シス テ 金属(圧延材) ガラス パターン付ガラス ガラスパターン パターン付ガラス ム構 成 用途に応じた2種類のスポットタイプ 小スポットタイプは、ピンホールの検出など、微小部分の測 製 定に適しています。 品 一 ラインスポットタイプは、楕円状の反射光が平均化されるので 覧 表面が粗い測定物に適しています。 小スポットタイプ ラインスポットタイプ 微小部分の測定に適しています 表面が粗い測定物に適しています センサヘッドの設置方法と測定モード 仕様 センサヘッドは、一般には、拡散反射方式で変位を測定しますが、ワークが透明体または鏡面体(金属研磨面など)の場合は レーザ光が透過または全反射しないよう、正反射方式で測定します。レーザ変位センサMH11は、1つのセンサヘッドで両方の 方式を利用できます。(※3)— ※3—測定方式選択可能モデルが対応しています 外 拡散反射方式 正反射方式 形寸 センサヘッドを、レーザ光が測定対象に垂直方向に照射さ センサヘッドを、レーザ光が測定対象で斜めに反射して受 法図 れるように設置します。 光部に入射するように設置します。 レーザ光 ワーク— 反射面 ワーク— 入射角反射面 06
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センサヘッド ■製品ラインアップ 拡:— 拡散反射測定 正:— 正反射測定 形名(※1) MH11H35C3□NA MH11H35□0□NA MMH11H111H□10□1(□NA)0 MHMH11HH080□08□(NA0)□ MHMH1111H050□50□(NA0) MHMH1111HH030B03□(BN0A) MH11H01A2□(NA) MH11H01A0□(NA) MHM1H11H01A11A□(1NA□) 外観 拡 拡 拡 拡 拡 —拡 —正 —正 —正 —正 —正 —正 —正 —正 測定中心距離 および測定範囲(※2) 350±200mm 350±50mm 110±15mm 85±20mm 50±5mm 30±5mm 15±1mm 10±1mm 8±0.8mm 分解能(※3) (2μm) (0.5μm) 0.1μm(0.25μm) 0.15μm(0.25μm) 0.05μm(0.25μm) 0.025μm(0.25μm) 0.01μm(0.25μm) 0.01μm(0.25μm) 0.01μm(0.25μm) 直線性[%F.S.] ±0.04〜±0.08 ±0.03 ±0.03 ±0.03(※4)/±0.1(※5) ±0.03 ±0.03 ±0.02 ±0.02 ±0.02 温度特性[%F.S./℃] 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.01 0.02 ビーム径[µm](※6) 約ø400 約400×6500 約ø250 約250×3500 約ø80 約80×1700 約ø100 約100×1200 約ø70 約70×1000 約ø30 約30×1200 約ø30 約30×1400 約ø20 約20×700 約ø20 約20×700 ※1—形名の末尾がNAではない機種は分解能が0.25μm未満の機種です。 ※3—かっこで囲まれている値は形名の末尾がNAの機種の仕様です。かっこで囲まれていない値は形名の末尾がNAではない機種の仕様です。 ※2—MH11H01□の値は正反射測定時の仕様です。MH11H01□以外の機種の値は拡散反射測定時の仕様です。 ※4—拡散反射測定時の仕様です。 ※5—正反射測定時の仕様です。 ※6—各機種の左側の欄は小スポットタイプの機種の仕様です。右側の欄はラインスポットタイプの機種の仕様です。 ■アプリケーション例 〈自動車分野〉 〈電気・電子分野〉 接着剤塗布高さ制御 車体の組立精度確認 エンジンブロックの加工精度確認 チップ部品の高さ測定 足ピン浮き検査 〈半導体・液晶分野〉 〈金属・樹脂・ゴム分野〉 ガラス基板の厚み測定 ウェハの平面度測定 金属、ゴム(非透明体)の厚み測定 フィルム(非透明体)の厚み測定 研削物の厚み測定 07
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■製品ラインアップ 拡:— 拡散反射測定 正:— 正反射測定 形名(※1) MH11H35C3□NA MH11H35□0□NA MMH11H111H□10□1(□NA)0 MHMH11HH080□08□(NA0)□ MHMH1111H050□50□(NA0) MHMH1111HH030B03□(BN0A) MH11H01A2□(NA) MH11H01A0□(NA) MHM1H11H01A11A□(1NA□) セ ン サ ッヘ ド 外観 コ ン ト ロ ー ラ 拡 拡 拡 拡 拡 —拡 —正 —正 —正 —正 —正 —正 —正 —正 シ ス 測定中心距離 テ および測定範囲(※2) 350±200mm 350±50mm 110±15mm 85±20mm 50±5mm 30±5mm 15±1mm 10±1mm 8±0.8mm ム構 分解能(※3) (2μm) (0.5μm) 0.1μm(0.25μm) 0.15μm(0.25μm) 0.05μm(0.25μm) 0.025μm(0.25μm) 0.01μm(0.25μm) 0.01μm(0.25μm) 0.01μm(0.25μm) 成 直線性[%F.S.] ±0.04〜±0.08 ±0.03 ±0.03 ±0.03(※4)/±0.1(※5) ±0.03 ±0.03 ±0.02 ±0.02 ±0.02 温度特性[%F.S./℃] 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.02 0.01 0.02 ビーム径[µm](※6) 約ø400 約400×6500 約ø250 約250×3500 約ø80 約80×1700 約ø100 約100×1200 約ø70 約70×1000 約ø30 約30×1200 約ø30 約30×1400 約ø20 約20×700 約ø20 約20×700 ※1—形名の末尾がNAではない機種は分解能が0.25μm未満の機種です。 ※3—かっこで囲まれている値は形名の末尾がNAの機種の仕様です。かっこで囲まれていない値は形名の末尾がNAではない機種の仕様です。 ※2—MH11H01□の値は正反射測定時の仕様です。MH11H01□以外の機種の値は拡散反射測定時の仕様です。 ※4—拡散反射測定時の仕様です。 ※5—正反射測定時の仕様です。 ※6—各機種の左側の欄は小スポットタイプの機種の仕様です。右側の欄はラインスポットタイプの機種の仕様です。 製 ■アプリケーション例 品一覧 〈自動車分野〉 〈電気・電子分野〉 接着剤塗布高さ制御 車体の組立精度確認 エンジンブロックの加工精度確認 チップ部品の高さ測定 足ピン浮き検査 仕 様 外 形 寸 〈半導体・液晶分野〉 〈金属・樹脂・ゴム分野〉 法 図 ガラス基板の厚み測定 ウェハの平面度測定 金属、ゴム(非透明体)の厚み測定 フィルム(非透明体)の厚み測定 研削物の厚み測定 08
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コントローラ

コントローラ 三菱電機シーケンサと高い親和性のあるコントローラ CC-Link IEフィールドネットワーク Basicに対応し、シーケンサとの高い親和性を実現 レーザ変位センサのコントローラにシーケンサCPUをCC-Link— IEフィールドネットワーク—Basicにて接続可能です。 Ethernetコネクタ シーケンサCPUに内蔵されているCC-Link— IEフィールドネット 入出力端子台 ワーク—Basic対応Ethernetポートと接続できますので、シーケ ンサにネットワークインタフェースユニットを追加する必要はあり USBポート ません。(※1) センサヘッド— また、CC-Link—IEフィールドネットワーク—BasicのほかにSLMP(※2) 接続用コネクタ GOT— にてEthernet接続できます。 接続用コネクタ ※1—詳しくはシステム構成のページにてご確認ください。 ※2—SLMP(Seamless—Message—Protocol):Ethernet製品とCC-Link— IE対応機器の間で のネットワークの階層・境界を意識しない通信を可能にするシンプルなクライアント・サーバ 型共通プロトコルです。 CC-Link IEフィールドネットワーク Basic接続 CPUユニット CC-Link— IEフィールドネットワーク—Basicインタフェース機能を 搭載し、シーケンサとの高い親和性を実現しました。 •—ネットワーク経由で、測定値・受光量・判定出力などを収集。 さらにセンサヘッドとコントローラの設定確認、変更も行えま す。 •—コントローラの設定の確認・変更をシーケンサのエンジニアリ 判定上限値— 測定値— ングツールから行えます。 判定下限値— 受光量— サンプリング— 判定出力— •—センサヘッドの測定値をプログラム無しで定期的にシーケン 周期など アラームなど サCPUに送ります。 •—CPUユニット1台あたり最大64台のコントローラを接続— 可能です。— — 最大128台のセンサヘッドを集中管理できます。(※3) ※3—使用するCPUユニットやファームウェアバージョン、シリアルNo.によって最大接続台数が 異なります。詳細はp.11をご参照ください。 アナログ接続 シーケンサ 各社PLC ネットワーク接続のほかに、シーケンサのアナログ入力とデジタ ル入出力を使って、レーザ変位センサのコントローラから測定値 をシーケンサにダイレクトに取り込めます。 汎用のアナログ入力とデジタル入出力ですので、各社PLCでも デジタル入力 デジタル出力 アナログ入力 使用できます。(※4) ※4—コントローラの仕様 アナログ出力:-10〜10Vまたは2〜24mA、デジタル出力:DC3〜 測定値 30V、デジタル入力:DC10.8〜30V 09
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CC-Link IEフィールドネットワーク Basic CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basicは、100MbpsのEthernetでも動作可能なCC-Link—IEです。 CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basicに対応したシーケンサは、スレーブ局のデータをプログラムレスで自動収集します。 さらに、トラブルシューティングの機能も備えており、トラブル発生時のダウンタイムの短縮を実現します。 EthernetのTCP/IP通信(HTTP、FTP等)を混在することも可能です。 セ ン サ ッヘ CC-Link—IEフィールド—— ド ネットワーク—Basic対応— 機器からの機械寿命診断、— ステータス情報による— リモートメンテナンス SLMP対象機器— 標準Ethernet通信— によるシームレス— (HTTP,—FTPなど) 情報連携 市販のスイッチングハブ コ ン ト ロ Wi-Fi—ルーター ー ラ マスタ局⇔スレーブ局間のサイクリック通信 Ethernet シ ス テ ム 構 成 ロボット 表示器 インバータ 位置決め— レーザ変位— ラベル— バーコード— ウェイトチェッカー 内蔵サーボ センサ プリンタ リーダ *—写真は— 製 イメージです。 品 一 覧 仕 様 各構成で利用できるデータと通信/信号の種類 構 成 データの向き データ CC-Link—IEフィールドネットワーク— Basic接続 アナログ接続 外 形 測定値 アナログ 寸 法 受光量 - 出力(コントローラ→シーケンサ) 図 判定出力 CC-Link—IEフィールドネットワーク— ON/OFF アラーム出力 Basic - 入力(シーケンサ→コントローラ) メモリ切替、ゼロセット、タイミング、リセット、レーザ制御 ON/OFF シーケンサからの設定・確認 サンプリング周期、測定モード、出力選択、透明体、計測モード、—フィルタ、カットオフ周波数、平均回数、判定出力(上限値、下限値) - 10
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コントローラ コントローラで測定値を演算・判定可能 コントローラ1台にセンサヘッドを2台接続できます。 2台のセンサヘッドの測定値をコントローラ内で演算および判定できます。 挟み込みによるワークの厚み測定や2点間ギャップ測定など、加減演算および判定の結果をシーケンサに出力し、シーケンサの 演算処理を削減できます。 ワークの厚み 演算結果— 判定出力 メモリ切替機能 最大16通りのレシピをコントローラのメモリに登録し、切り替えて使用できます。 さらに、CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basicでは、レシピを切り替えずにレシピの一部を柔軟に調整できます。たとえば、異な る材質が連続したワークの表面も、受光量の変化に合わせて、サンプリング周期を変更して正確に測定できます。 サンプリング— サンプリング— 周期を変更 周期を戻す ワークの進行方向 金属 ゴム 金属 金属 ゴム 金属 バッファリング バッファリング機能により、最速10μsでサンプリングした測定値を一時的にコントローラに蓄積した後、USBケーブルでパソコン に転送し、レーザ変位センサMH11設定ツールで確認できます。 最大65,000点の値を蓄積でき、形状データの蓄積により、トレーサビリティなどに貢献できます。また、トリガモードでは、異常時を トリガ入力することで、異常前後の測定値を取得することができ、原因究明に役立ちます。 USB 11
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様々な場所から設定・モニタが可能 パソコンから設定・モニタが可能 USB セ ン サ ヘ ▪レーザ変位センサMH11設定ツール SW1DNC-MH11ST-M(※1)  ッ※1—コントローラの付属CD-ROMに格納されています。 ド コントローラとパソコンをUSBで接続し、コントローラとセン 測定値画面 サヘッドの設定・モニタを行なえます。 •— 測定値画面— — センサヘッドで測定したデータおよびコントロー— コ ン ラの各端子の出力状態を確認できます。— — トロ また、コントローラのゼロセット、リセットなどをボタンで実 ー 受光量波形表示 バッファリング表示 ラ 行できます。 •— 受光量波形表示— — 受光量波形を表示できます。スナップ(受光量波形の 静止画)を取得して比較することも可能です。 シ •— バッファリング表示— — ステ データを蓄積して波形とデータを表示・保存できます。ま ム構 た、目盛りを表示してデータを解析することもできます。 成 ▪レーザ変位センサMH11データ収集ツール SW1DNN-MH11LG-J(※2)  ※2—三菱電機FAサイトからダウンロードできます。 コントローラとパソコンをUSBで接続し、センサヘッドの測定データを表計算ソフト—Microsoft—Excel®(※3)に転送して、任意のセ 製品 ルに数値データとして貼り付けることができます。 一覧 •— 外部信号や測定データの変化点、測定ステータスの変化などをトリガにして測定データを収集できます。 •— 測定の頻度と回数を指定して測定データを収集できます。 仕 蓄積された— 様 測定データ USB 蓄積した測定データを表計算ソフト(※3)に転送してセルに貼り付けます。 ※3—Microsoft®—Excel2000(日本語版)以上に対応しています。 外 形 動作環境 寸法 製 品 レーザ変位センサMH11設定ツール SW1DNC-MH11ST-M レーザ変位センサMH11データ収集ツール SW1DNN-MH11LG-J 図 CPU Pentium互換CPU—1GHz以上(※4) Pentium互換CPU—2.53GHz以上(※4) パソコン本体 必要メモリ 2GB以上(※4) ディスプレイ 1024×768—ドット—256色以上 ハードディスク 50MB以上の空き容量 20MB以上の空き容量 Microsoft®Windows®—7—Professional、Microsoft®Windows®—8—Pro、Microsoft®Windows®—8.1—Pro、Microsoft®Windows®—10—Home、— OS Microsoft®Windows®—10—Pro、Microsoft®Windows®—10—Education、Microsoft®Windows®—10—Enterprise OSの言語 日本語、英語、中国語、韓国語 日本語 インタフェース USB2.0フルスピード(USB1.1互換)準拠 ※4—OSの動作環境に依存します。 12
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コントローラ によりシーケンサのエンジニアリングツールから設定・モニタが可能 iQ—Sensor—Solution(iQSS)は、e-F@ctoryにおける、センサ領域のソリューションです。 レーザ変位センサMH11は、iQSSの「センサとシーケンサ・表示器・エンジニアリング環境の連携」— — 「センサの設定・メンテナンスなどのOne—Tool化」に対応し、お客様のTCO削減を実現します。 詳細は、「センサソリューション— iQ—Sensor—Solutionカタログ— L(名)08253」を参照ください。 (※1) USB/Ethernet シーケンサ用エンジニアリングソフトウェア (※2) HUB 最大64台接続可能(※3) ※1—MELSEC—iQ-F、MELSEC-Q/Lシリーズも使用できます。 ※2—MELSEC-Q/Lシリーズ使用時はGX—Works2を使用します。 ※3—コントローラのシリアルNo.上2桁が02以上で対応しています。— Ethernet接続時は最大16台です。 当社シーケンサと組合せて利用できるiQSSの機能  iQSSの機能 シリーズ 簡単立ち上げ センサモニタ 簡単チューニング 簡単プログラミング バックアップ/リストア 簡単ロギング(※4) 専用ツール連携 MELSEC—iQ-R ○ - ○ - ○(※5) - ○ MELSEC—iQ-F ○ - ○ - - - ○ MELSEC-Q ○ - ○ - ○ - ○ MELSEC-L ○ - ○ - ○ - ○ 〇:対応済  -:未対応 CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basic接続にて利用できます。アナログ接続では利用できません。— — 対応製品についてはシステム構成のページを参照願います。各製品で利用できるiQSSの機能については、iQ—Sensor—Solutionリファレンスマニュアル(SH-081132)をご参照ください。 ※4—将来対応 ※5—シーケンスプログラムにて利用できます。 13
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▪システムの立ち上げが簡単 CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basic構成画面からコントローラとセンサヘッドを制御システムに自動で登録できます。 クリック!! セ ン サ ッヘ ド コ ン ▪センサのパラメータ変更が簡単 トロ ー CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basic構成画面からセンサヘッドのパラメータを読み書きできます。 ラ シ ス テ ム 構 センサのパラメータ変更を— 成 簡単に行えます。 製 品 一 覧 ▪専用ツールの起動が簡単 仕様 CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basic構成画面で専用ツールを簡単に起動できます。 レーザ変位センサMH11— 設定ツールを起動できます。 リンク設定 外 形 寸 法 図 クリック!! 14
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コントローラ GOT(※1)から設定・モニタが可能 受光量波形表示、測定値表示、条件設定をパソコンレスで行えます。(※2) G r a p h i c O p e r a t i o n T e r m i n a l RS-232— 接続ケーブル GT2104-PMBDS2 ※1—GT2104-PMBDS2が対応しています。 ※2—GOTにサンプル画面データを登録して利用できます。 サンプル画面データ GOT—GT2104-PMBDS2にサンプル画面データを登録して、コントローラの設定・モニタを行なえます。 サンプル画面データは三菱電機FAサイト(www.MitsubishiElectric.co.jp/fa)のサンプルライブラリコーナーよりダウンロードでき ます。 受光量波形表示 条件設定 測定データ表示 15
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システム構成

システム構成 お客様に最適な多彩なシステムを提供します システム構成 センサヘッド セ ン サ ッヘ ド コントローラ GOT RS-232 コ ン ト ロ GT2104-PMBDS2 ー ラ パソコン USB MH11設定ツール— シ MH11データ収集ツール ス テ ム エンジニアリング環境 構成 Ethernet/— シーケンサ USB CC-Link—IE—— 製 フィールドネットワーク— 品 Basic接続/— 一 アナログ接続 覧 GOT Ethernet—他 ※MELSEC—Q/Lシリーズも対応しています。 仕 様 各社PLC アナログ接続 外 形 寸 法 三菱電機シーケンサ CC-Link IEフィールドネットワーク Basic接続 対応製品 図 シリーズ 形名 ファームウェアバージョン/シリアルNo.上5桁 コントローラ最大接続台数 エンジニアリング環境(※1) R□CPU ファームウェアバージョン25以降 16台 1.030G以降 MELSEC—iQ-R GX—Works3 R□ENCPU ファームウェアバージョン28以降 64台 1.035M以降 FX5U-□/□ MELSEC—iQ-F ファームウェアバージョン1.050以降 6台 GX—Works3 1.035M以降 FX5UC-□/□ Q□UDVCPU シリアルNo.上5桁18112以降 16台 1.555D以降 MELSEC-Q GX—Works2 Q□UDPVCPU シリアルNo.上5桁19042以降 64台 1.565P以降 L□CPU— シリアルNo.上5桁18112以降 8台 1.555D以降 MELSEC-L GX—Works2 (-P/-BT/-PBT) シリアルNo.上5桁19042以降 16台 1.565P以降 ※1—CC-Link—IEF—Basic構成画面からのiQSS設定は、GX—Works3 1.035M以降、GX—Works2—1.565P以降が対応しています。 16
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製品一覧

製品一覧 センサヘッド 概要 測定中心距離および— 形 名(※1) 測定範囲[— mm] レーザ光 測定精度 光源 標準価格— サンプリング— (円) 拡散反射— 正反射— レーザクラス— 周期 方式 方式 形状 ビーム径— 分解能— 直線性— [μm](※2) [μm] [%F.S.] JIS/IEC/GB/FDA MH11H01A1S 小スポット 約ø20 0.01 MH11H01A1L ラインスポット 約20×700 - 8±0.8 ±0.02 クラス1 MH11H01A1SNA 小スポット 約ø20 0.25 MH11H01A1LNA ラインスポット 約20×700 シ MH11H01A0S 小スポット 約ø20 ョ 0.01 ー MH11H01A0L ラインスポット 約20×700 ト - 10±1 ±0.02 クラス1 レ MH11H01A0SNA 小スポット 約ø20 ン 0.25 ジ MH11H01A0LNA ラインスポット 約20×700 MH11H01A2S 小スポット 約ø30 0.01 MH11H01A2L ラインスポット 約30×1400 - 15±1 ±0.02 クラス1 MH11H01A2SNA 小スポット 約ø30 0.25 MH11H01A2LNA ラインスポット 約30×1400 MH11H03B0S 小スポット 約ø30 0.025 MH11H03B0L ラインスポット 約30×1200 30±5 26.4±4.6 ±0.03 クラス2 MH11H03B0SNA 小スポット 約ø30 0.25 MH11H03B0LNA ラインスポット 約30×1200 MH11H05B0S クラス2 小スポット 約ø70 MH11H05C0S クラス3R 0.05 MH11H05B0L クラス2 ラインスポット 約70×1000 MH11H05C0L クラス3R 50±5 46±5 ±0.03 MH11H05B0SNA クラス2 10μs、 小スポット 約ø70 20μs、 MH11H05C0SNA クラス3R 0.25 40μs、 MH11H05B0LNA クラス2 100μs、 ラインスポット 約70×1000 オープン MH11H05C0LNA クラス3R 200μs、 400μs、 ミ MH11H08B0S クラス2 ド 小スポット 約ø100 1ms、 ル MH11H08C0S クラス3R レ 0.15 2ms ン MH11H08B0L クラス2 ジ ラインスポット 約100×1200MH11H08C0L ±0.03(※3) クラス3R 85±20 81.4±6 MH11H08B0SNA ±0.1(※4) クラス2 小スポット 約ø100 MH11H08C0SNA クラス3R 0.25 MH11H08B0LNA クラス2 ラインスポット 約100×1200 MH11H08C0LNA クラス3R MH11H11B0S クラス2 小スポット 約ø80 MH11H11C0S クラス3R 0.1 MH11H11B0L クラス2 ラインスポット 約80×1700 MH11H11C0L クラス3R 110±15 106.7±14.5 ±0.03 MH11H11B0SNA クラス2 小スポット 約ø80 MH11H11C0SNA クラス3R 0.25 MH11H11B0LNA クラス2 ラインスポット 約80×1700 MH11H11C0LNA クラス3R MH11H35B0SNA クラス2 小スポット 約ø250 ロ MH11H35C0SNA クラス3R ン 350±50 348±42 0.5 ±0.03 グ MH11H35B0LNA クラス2 レ ラインスポット 約250×3500 ン MH11H35C0LNA クラス3R ジ MH11H35C3SNA 小スポット 約ø400 ±0.04(※5) 350±200 - 2 クラス3R MH11H35C3LNA ラインスポット 約400×6500 ±0.08(※6) 17
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コントローラ 概 要 形 名(※1) 出力端子 標準価格(円) 通信コネクタ 入力端子 電源電圧 トランジスタ出力 アナログ出力 MH11CTMF-N コモンと接続/開放— DC3〜30V—100mA— MH11CTMF-NNA Ethernet—100BASE-TX/—10BASE-T— (マイナスコモン) (シンクタイプ) -10〜+10V、— DC24V±10% オープン MH11CTMF-P (CC-Link—IEフィールドネットワーク—Basic) DC10.8〜30V— DC3〜30V—100mA— 2〜24mA MH11CTMF-PNA (プラスコモン) (ソースタイプ) オプション 品 名 形 名 内 容 標準価格(円) NDフィルタ MH11F98 正反射測定時に反射光量が大きい場合にセンサヘッドに装着してレーザ光を減衰するためのフィルタです。—より高精度な測定を可能にします。(MH11H01A□には使用できません。) MH11C20EX 長さ2m、耐屈曲ケーブル MH11C50EX 長さ5m、耐屈曲ケーブル オープン センサヘッド— 延長ケーブル MH11C100EX 長さ10m、耐屈曲ケーブル セ ン MH11C200EX 長さ20m、耐屈曲ケーブル サ MH11C300EX 長さ30m、耐屈曲ケーブル ヘッ ド GOT GT2104-PMBDS2 4.5型[384×128ドット]、TFTモノクロ(白/黒)液晶、バックライト5色LED(白・緑・ピンク・橙・赤)、—メモリ6MB、DC24V、シリアルI/F—RS-232(2ch) 39,500 GOT SW1DND-GTWK3-J MELSOFT—GT—Works3—Version—1—日本語版 バージョン1.165X以降 30,000 画面作成ソフトウェア SW1DND-GTWK3-E MELSOFT—GT—Works3—Version—1—英語版 バージョン1.165X以降 30,000 RS-232接続ケーブル MH11C30R2 GOT接続用 長さ3m オープン ※1—センサヘッド、コントローラは下記の組み合わせで使用できます。 コ コントローラ ン 形 名 ト MH11□-□ MH11□-□NA ロ MH11□ ○ × ー センサヘッド ラ MH11□-NA ○* ○ *—仕様に制約があります。詳しくは製品のマニュアルをご参照ください。 ※2—測定中心距離における大きさです。中心光強度の1/e(2 約13.5%)で定義されています。定義域外にも漏れ光があり、検出ポイントの周囲が検出ポイントに比べて反射率が高い場合 は、その影響を受ける場合があります。 ※3—拡散反射方式時の仕様です。 シ ※4—正反射方式時の仕様です。 ス ※5—測定範囲-200〜0mmの仕様です。 テ ※6—測定範囲0〜+200mmの仕様です。 ム構 (注)センサヘッドおよびコントローラの一部機種は“、外国為替及び外国貿易法”で定められた輸出規制に該当します。輸出または国外に持ち出す場合は、日本国政府の許可が必要です。— 成 なお、該当しない製品もご用意していますので、詳細につきましては当社窓口にお問い合わせください。 製 品 一 覧 仕 様 センサヘッドの形名 センサヘッドは以下のように形名を表記しています。 MH 11 H 01 A 0 S NA 外形 寸 ① ② ③ ④ ⑤ 法図 ①測定中心距離 ②レーザクラス ④レーザ光の形状 01 8mm/10mm/15mm A クラス1 S 小スポット 03 30mm B クラス2 L ラインスポット 05 50mm C クラス3R 08 85mm 11 110mm ③特殊仕様 ⑤分解能 35 350mm 0 通常品 無表示 分解能が0.25μm未満の機種です 1 特殊形状品(8mmタイプ) NA 分解能が0.25μm以上の機種です 2 特殊形状品(15mmタイプ) 3 測定範囲ワイド品 18
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仕様

仕様 一般仕様 項 目 センサヘッド コントローラ 使用周囲温度 0〜+45℃(但し、結露および氷結しないこと) 0〜+50℃(但し、結露および氷結しないこと) 保存周囲温度 -20〜+70℃ 使用周囲湿度 35〜85%RH、結露なきこと 保存周囲湿度 35〜85%RH、結露なきこと 周波数:10〜55Hz— 周波数:10〜55Hz— 複振幅:1.5㎜— 複振幅:0.75㎜— 耐振動 X、Y、Z—各方向— X、Y、Z—各方向— (120分間) (30分間) 耐衝撃 196m/s(2 X、Y、Z—各方向3回) 使用雰囲気 腐食性ガスや可燃性ガスがないこと 使用標高 0〜2000m 保護構造 IP67(コネクタ部は除く) IP30 白熱ランプ:受光面照度3000lx以下(※3)— ノイズの発生源となる機器からは— 設置場所 太陽光、レーザと同波長の光などの外乱光が受光部に直接入らないこと できるだけ離して放熱に配慮すること オーバーボルテージカテゴリ(※1) 設置状態にて、Ⅱ以下 汚染度(※2) 2以下 ※1—その機器が公衆配電網から構内の機械装置にいたるまでのどこの配電部に接続されていることを想定しているかを示します。— カテゴリⅡは、固定設備から給電される機器などに適用されます。定格300Vまでの機器の耐サージ電圧は2500Vです。 ※2—その機器が使用される環境における導電性物質の発生度合を示す指標です。汚染度2は、非導電性の汚染しか発生しません。— ただし、偶発的な凝結によって一時的な導電が起こりうる環境です。 ※3—使用周囲照度による変動は±0.03%F.S.以下(MH11H35C3□は±0.08%F.S.以下)となります。 適合規格 適合規格 規格番号 日本 JIS規格 JIS—C—6802:2014 EN規格 IEC/EN—60825-1:2014 IEC/EN61000-6-4:2007+A1:2011 欧州 CE宣言(EMC) IEC/EN61000-6-2:2005 CE宣言(RoHS) EN—50581 米国 FDA規格(食品・医薬品製品安全) LaserNoticeNo.50 KN-61000-6-4:2012 韓国 韓国電波法 KN-61000-6-2:2012 中国 GB規格 GB7247.1:2012 センサヘッド 共通仕様 項 目 仕 様 受光素子 リニアイメージセンサ 表 レーザ放射表示灯 緑色発光ダイオード レーザ放射時点灯 示 灯 測定範囲表示灯 黄色発光ダイオード 測定中心付近で点灯/測定範囲内で点滅/測定範囲外で消灯 ケーブル(本体) コネクタ付キャブタイヤケーブル(0.5m) ケーブル延長 オプション(別売)の延長ケーブルにて全長30mまで延長可能 材質 本体ケース、本体カバー:アルミダイカスト(※4)、前面カバー:ガラス 付属品 レーザ警告ラベル(各規格・規則対応):1セット ※4—MH11H01A1□、MH11H01A2□の本体ケース、本体カバーの材質はアルミです。 19