傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。
傷検査用スキャニングレーザ”LaScan”は、マイクロサイズのレーザラインをスキャンさせて、広いエリアの微小な傷を瞬時に検出することが可能な光源です。
半導体ウェハ、ハードディスク基板、およびDVDディスクなどの検査装置に組み込んでご使用いただけます。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 広いエリアの傷を瞬時に検出!傷検査用スキャニングレーザ LaScan |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 708.6Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | ネオアーク株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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広いエリアの傷を瞬時に検出！
傷検査用スキャニング レーザ
50μm
100μm
LaScan
高感度ディテクタ
レーザラインサイズ
ミクロンサイズの
レーザライン 高速スキャニング
“傷” による散乱光
(W50μｍ×H100µｍ)
カスタム対応
超小型
可能な
(φ35mm×L125mm） ラインサイズ
新商品 傷検査用スキャニングレーザ
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傷検出例
ガラス基板に形成した2本の傷（幅５0μｍ）を LaScanで検出
傷検出信号 光学系
高感度ディテクタ
LaScan
“傷”による散乱光
傷サンプル基板
50µｍ
傷サンプル
主な仕様(暫定値)
レーザ波長 450nm 520nm 650nm など
レーザ出力 50mW(最大)
ライン幅 50µｍ
ライン長 100µｍ
作動距離 100mm
スキャン角度 ±10 度
スキャン周波数 60Hz(最大)
K2040870101
URL http://www.neoark.co.jp
営 業 部 /〒192-0015 東京都八王子市中野町 2062-21
TEL（042)627-7432 FAX（042)627-7427
大阪支店/〒541-0056 大阪市中央区久太郎町 2-3-8-201
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本社第 1工場・本社第 2工場/八王子