立体構造への自由なフォトリソグラフィを　3次元形状レーザ露光装置

DDB-801シリーズ 3次元形状レーザ露光装置 2次元から3次元へ

「3次元形状へのフォトリソを実現」 フォトリソグラフィは幅広い分野で活用されていますが、一般的に平面ワークに対して行われています。 しかし、デバイスの小型化、高性能化、デザイン性向上への対応は著しく、今までの平面に対するフォトリソでは 不十分な状況が増えてきており、3次元形状に対するフォトリソグラフィの実現が期待されてきました。 本装置は5軸ステージを制御することで様々な3次元形状のワークに対して任意のパターンを露光することが可能 となり、次世代の製品を見据えた研究開発に活用することができます。 3次元形状へのフォトリソグラフィを可能にする5軸ステージ 従来のXYZの直動ステージでは困難な、3次元形状ワークへの 露光を直動3軸+回転2軸の5軸ステージを採用することによっ て、3次元形状ワーク上の任意の点に対して自由にレーザを照 射することが可能となりました。 最大5軸の同時動作＋フィードバック制御を行うことにより、等 速度運動が実現され、高精度のパターニングが可能となります。 B軸(ZX平面) Z軸 X軸 A軸(YZ平面) 取付面を除く5面にレーザ照射可能 Y軸 2方式のオートフォーカスを採用したアシスト機能 ワークやデリケートなレジストにダメージを与えることない非接触 ワーク取り付け誤差補正 パターニング中の焦点補正 観察用カメラによるコントラスト方 赤色レーザによる三角測量方式 式オートフォーカスを多点数実施 オートフォーカスを用いてパターニン することで、ワークの取り付け角度 グ中に発生するフォーカス誤差の の誤差を算出して補正を行いま 算出してリアルタイム補正を行い す。 ます。 A → A´ 受光素子 Sample LD 測定原理 A → A ´

特注ステージ例 円柱外周へのパターニングに特化した円柱露光タイプを用意しました。 ワークの芯だし機構を搭載し、回転ステージを対向に配置するこ とで長いワークで起きやすいタレ等のワークの歪みを引っ張り抑 制することが可能となりす。 芯だし機構 タレ抑制機構 露光例 R40mm 曲面ワーク 15μm Line & Space R40mm 14mm R15mm 球面ワーク 弊社ロゴマーク 20μmハッチング露光 R15mm 14mm Φ5mm 円柱ワーク 100μm螺旋露光 Φ5mm 100μm

製品仕様 ※標準的な仕様となります。カスタマイズ等はご相談ください ◆ 機械仕様 5軸ステージ XY軸： 直進 300mmストローク ステージ構成 Z軸： 直進 200mmストローク Α軸： 回転 360° Β軸： 回転 90° 最大ワークサイズ 1辺が100mm以下の立方体 装置構成 装置本体・制御パソコン・専用ソフトウェア 装置寸法 W1000 × H1800 × D900(mm) ◆ 光学仕様 露光光源 375nm 半導体レーザ 対物レンズ NUV 専用設計2倍 / NUV 10倍 最小露光線幅 10μm 以下 ※使用対物レンズおよびレジスト種類およびレジスト厚によって変わります。 ◆機能 露光時：赤色レーザによる三角測量方式 オートフォーカス アライメント時：カメラ画像によるコントラスト方式 ワーク取り付け誤差補正(ワーク位置・角度アライメント)機能 その他 観察機構 ⚫ ワークの大きさなどによりカタログ値と異なる場合があります。 ⚫ 上記内容は2021年12月現在のものです。 想定している分野 IoT/IoH(Internet マイクロエレクトロニク 自動運転などの バイオテクノロジー of Human)デバイス ス センシング ライフサイエンス K211142801 製造元 販売元 URL http://www.neoark.co.jp 東京営業部 〒192-0021 東京都八王子市中野町2062-21 TEL (042)627-7432 FAX (042)627-7427 大阪支店 〒541-0056 大阪市中央区久太郎町2-3-8-201 TEL (06)6271-5123 FAX (06)6271-5110