半導体製造・精密加工の熱課題を解決する 局所スポット冷却ソリューション

半導体製造の「熱歪み」「局所発熱」対策に 装置内組み込みに最適な、電源不要の小型エア冷却機器 【お困りごと】 □熱で寸法がズレる □熱で測定ができない □冷却時間を短縮したい □冷却装置が入らない □空冷機器を探している □ここだけ冷却したい 【製品のご紹介】 駆動部ゼロ・冷媒ゼロ。圧縮空気を繋ぐだけで即冷風！ ボルテックスクーラーは、圧縮空気から「冷風と熱風」を発生させる冷却機器です。 可動部がないため故障に強く、限られたスペースにも簡単に設置可能です。 供給する圧縮空気から 温度差 -40℃ の冷風が発生します。 ※供給条件による ボルテクッスチューブ：208J 仕様 【特徴】 ・メンテナンス性（駆動部がなくメンテナンスフリー） ・応答性（圧縮空気を流すだけで瞬時に冷風が発生・立ち上がりが早い） ・シンプルな構造（電源不要・駆動源は圧縮空気のみ） ・設置の容易さ（小型軽量のため、小スペースで設置可能） 「局所的な冷却」や「装置へ後付けしたい」といったニーズに適した製品となっております。 【用途】 ダイシング工程：チップや基板の過熱防止に 検 査 工 程：局所的な温度負荷テストに モールディング工程：封止後の硬化冷却に デモ機をご用意しておりますので、ぜひお試しください

「フロンを使わない」 小型クーラー の原理 ● 圧縮空気を供給するだけで－47℃の冷風を創り出せる。 ● ノンフロン／駆動部がなく、メンテナンスフリー ■ ボルテックスクーラーの種類 ①ボルテックスチューブ ④パネルガードクーラーAC ②マンクーリングシステム ⑤コールドエアガン ③パネルガードクーラー ⑥スレッドガードクーラー ■ ボルテックスチューブの原理 ①ボルテックスチューブに圧縮空気を供給すると、製品内部にある特殊な部品ブッシング・ゼネレータの働きにより、空気 は高速で回転を始めます。 　この高速回転により発生するクーラー内部での渦流、圧縮、膨張、圧力差を利用して冷風（熱を奪われた側）と熱風（熱 を奪った側）に分離します。 　冷風温度、冷却熱量は、ボルテックスチューブに供給される圧縮空気の圧力、温度、風量（使用するブッシング・ゼネレー タにより異なります）及びクーラーの熱風側にあるバルブで調整する冷風量、熱風量の比率（冷風比率）により決定されます。 ②安定した冷気を作り出すために圧縮空気は清浄で乾燥したエアを供給して下さい。（望ましいエアシステム参照） ■ ボルテックスチューブの説明図 供給空気圧力：0.69MPa ＋35℃ 供給空気温度：21℃ 冷風比率：20％ 1,000,000回転/分 －47℃ ■ ボルテックスチューブの分解図 熱風 熱風 本体 調整バルブ 圧縮空気供給口 コールドキャップ ブッシング・ゼネレータ 冷風 Ｏリング 冷風 3

製品動画は こちら ⇒ ■ 冷却比較表（単位℃） 率％ 冷風比率（％） ※1. 冷却比較表は供給空気温度21℃の時の基準表です。 圧力Mpa 20 30 40 50 60 70 80 ボルテックスチューブ内部の温度差表で、冷風側は降 冷 34.2 33.1 30.8 28.1 24.2 20.0 15.3 下温度差、熱風側は上昇温度差を表しています。 0.14 熱 8.1 13.6 20.0 27.5 35.6 45.8 59.4 上段：冷風温度差 冷 48.9 47.2 44.4 40.6 34.7 28.6 21.1 　供給空気温度 － 冷風温度差 ＝ 冷風吐出温度 0.27 熱 11.4 19.4 28.6 39.4 50.8 65.0 81.7 下段：熱風温度差 冷 57.8 55.6 51.7 46.7 40.6 33.0 24.7 　供給空気温度 ＋ 熱風温度差 ＝ 熱風吐出温度 0.41 となります。 熱 13.1 22.2 32.5 44.4 57.8 73.3 93.3 冷 63.9 61.1 56.7 51.1 44.4 36.4 27.2 供給空気圧力：0.69MPa、 供給空気温度：21℃、 0.55 熱 13.9 23.9 35.0 47.8 62.8 79.4 100.5 冷風比率20%の場合、冷風側は68.3℃、熱風側は 冷 68.3 65.5 61.1 55.0 47.8 39.2 29.4 14.4℃となっていますから 0.69 熱 14.4 25.0 36.9 50.6 66.1 83.9 106.7 冷風側は 21 － 68.3 ≒ 約－47℃ 熱風側は 21 ＋ 14.4 ≒ 約＋35℃ 冷 71.7 68.9 64.4 57.8 50.3 41.1 30.6 0.82 となります。（P3ページ説明図参照） 熱 14.4 25.6 38.3 52.2 68.3 86.7 108.3 冷 75.0 71.7 67.2 60.5 52.2 42.2 31.4 0.96 熱 14.8 25.6 39.2 53.3 68.9 86.7 107.2 ブッシング・ゼネレータ ブッシング・ゼネレータ L 使用範囲 ブッシング・ゼネレータ H 冷風比率40～80％にはＨブッシング、20～60％はＬブッシングをご使用下さい。 ■ 用途例：冷却時間の短縮、作業効率向上、品質の安定、工具の寿命延長、電子機器の保護に 　 ●電気/電子機器・装置の冷却 ・半導体製造装置　・ガス分析機器　・電子部品の冷却テスト（ICなど） ・制御機器の精度テスト　・制御盤の冷却・工業用カメラの冷却 　 ●各種冷却 ・焼嵌め後の急速冷却　・溶接後の冷却　・加工機刃先の冷却　・ミシン針の冷却 ・樹脂成型品の冷却　・樹脂加工時の軟化防止　・食品：飲料の蓋の冷却　・人体冷却（熱中症対策） 望ましいエアシステム 除塵用エアフィルタ（10μm以下） 冷凍式エアドライヤ 除油用エアフィルタ（0.01μm以下） 水・油・ゴミ等が除去されていない場合 製品に接続 空 気 源 （P28参照） （P27参照） 水・油・ゴミ等が除去された清浄で乾燥したエアの場合 ⇒ 製品に接続 ご使用時の注意 ・供給する圧縮空気は清浄で乾燥したエア（エアドライヤ ＋ エアフィルタ）をご使用下さい。 ・冷却対象物と冷風口の距離は25㎜以内にてご使用下さい。 　噴射距離が長いと周囲の空気を巻き込み、冷風温度が上昇します。 ・冷却側にホース等をご使用の場合はできるだけ短くし、断熱ホース（ビニールホース等）をご使用下さい。 　（ホース1m当たり約3～4℃温度が上がります。） ・本体のパイプ部分（圧縮空気供給口より熱風側）は高温になりますので手などで触れないようにご注意下さい。 ・モデルNo.の 116E、218E、318E にはエアフィルタが付属しております。　 ・ボルテックスクーラーは、圧縮空気圧力 0.98MPa（10kg/㎠G）以下でご使用下さい。 ・ボルテックスクーラーに供給できる圧縮空気の最高温度は、43℃です。43℃以下でご使用下さい。 4

106・116 ■ 仕　様 ブッシング・ゼネレータ（付属） 空気消費量（Nℓ/min） 冷却熱量（W） モデルNo． 商品構成　/　備考 ブッシング ゼネレータ 0.27MPa～0.69MPa 106J－2H 2H 2G 27～56 16～34 本体（106J），コールドキャップ, ブッシング1ケ 106J－4H 4H 4G 53～112 32～67 ゼネレータ1ケ 106J－4L 4L 106J－8H 8H 8G 105～224 63～135 106J－8L 8L 116J 2H,4H,4L,8H,8L 2G, 4G, 8G 27～224 16～135 本体, 106M, コールドキャップ, フレキノズル, ブッシング5ヶ, ゼネレータ3ヶ 116E 2H,4H,4L,8H,8L 2G, 4G, 8G 27～224 16～135 116J, 701S－36－8A（エアフィルタ） ※1. 106J,116J,116Eの圧縮空気供給口はNPT-1/8となります。変換アダプター1/8R×NPT-SSをご利用下さい。（P29参照） ※2. 冷却熱量は冷風比率60％時の数値になります。 ※3. 冷風比率40～80％にはHブッシング、20～60％にはLブッシングをご使用下さい。 ●106J ROHs対応 ●116J ROHs対応 ■ オプション品 モデルNo． 商品構成　/　備考 モデルNo． 商品構成　/　備考 106M 冷風側サイレンサー VCホルダー 106J　116J　116E　固定用 フレキノズル マグネットベース マグネット式　固定用 SS-1/8 コールドキャップ側変換アダプター（P29参照） 106用Cキャップ 隔壁取付用コールドキャップ 1/8R×NPT-SS 圧縮空気供給口側変換アダプター（P29参照） ※1. 106J,116J,116Eのコールドキャップと106用Cキャップは形状が異なります。 ●106M（冷風側） ●フレキノズル ●SS-1/8：コールドキャップ側変換アダプター ●1/8R-NPT-SS：圧縮空気供給口変換アダプター ●VCホルダー（本体側） ●マグネットベース ●106用Cキャップ 　（隔壁取付用コールドキャップ） ●VCホルダー（冷風サイレンサー側） 5

208・218 ■ 仕　様 空気消費量（Nℓ/min） 冷却熱量（W） モデルNo． ブッシング・ゼネレータ（付属） 商品構成　/　備考 0.27MPa～0.69MPa 208J－11H 11H 145～308 87～186 208J－11L 11L 本体（208J）, コールドキャップ, 208J－15H 15H ブッシング・ゼネレータ1ケ 197～420 119～253 208J－15L 15L 208J－25H 25H 328～700 198～423 208J－25L 25L 218J 11H, 11L, 15H, 15L, 25H, 25L 145～700 87～423 本体, 208M, コールドキャップ, フレキノズル, ブッシング・ゼネレータ6ヶ 218E 11H, 11L, 15H, 15L, 25H, 25L 145～700 87～423 218J, 701S－36－8A（エアフィルタ） ※1. 208J,218J,218Eの圧縮空気供給口はNPT-1/4になります。変換アダプターAL-1/4をご利用下さい。（P29参照） ※2. 冷却熱量は冷風比率60％時の数値になります。 ※3. 冷風比率40～80％にはHブッシング、20～60％にはLブッシングをご使用下さい。 ●208J 177 34.5 28.5 11 103 14.5 7.9 15.5 NPT 1/4 NPT 1/4 冷風 熱風 流量（温度） 調整バルブ 35 コールドキャップ （二面幅　16） 51 126 （二面幅　25.3） エア供給口 ROHs対応 NPT 1/4 ●218J ROHs対応 ■ オプション品 モデルNo 商品構成　/　備考 モデルNo 商品構成　/　備考 208M サイレンサー（冷風側・熱風側両用） VCホルダー 208J　218J　218E　固定用 フレキノズル マグネットベース マグネット式　固定用 SS－1/4 コールドキャップ側変換アダプター（P29参照） 208/308用Cキャップ 隔壁取付用コールドキャップ AL－1/4 圧縮空気供給口側変換アダプター（P29参照） ※1. 208J,218J,218Eのコールドキャップと208/308用Cキャップは形状が異なります。 ●208M（冷・熱両用） ●フレキノズル ●SS-1/4：コールドキャップ側変換アダプター ●AL-1/4：圧縮空気供給口変換アダプター ●VCホルダー（本体側） ●マグネットベース ●208/308用Cキャップ 　（隔壁取付用コールドキャップ） ●VCホルダー（冷風サイレンサー側） 6 ∅∅2266..55 ∅∅4411 ∅∅1122..77 φφ1155..66

308・318 ■ 仕　様 空気消費量（Nℓ/min） 冷却熱量（W） モデルNo． ブッシング・ゼネレータ（付属） 商品構成　/　備考 0.27MPa～0.69MPa 308J－35H 35H 459～980 281～599 本体（308J），コールドキャップ、ブッシング・ゼネレータ1ヶ 318J 35H 459～980 281～599 本体，208M，コールドキャップ、ブッシング・ゼネレータ1ヶ 318E 35H 459～980 281～599 318J，701S－36－10A（エアフィルタ） ※1. 308J,318J,318Eの圧縮空気供給口はNPT-1/4になります。変換アダプターAL-1/4をご利用下さい。（P29参照） ※2. 冷却熱量は冷風比率60％時の数値になります。 ●308J ROHs対応 ●318J ROHs対応 ■ オプション品 モデルNo． 商品構成　/　備考 モデルNo． 商品構成　/　備考 208M 冷風側サイレンサー VCホルダー 308J　318J　318E　固定用 308MH 熱風側サイレンサー マグネットベース マグネット式　固定用 SS－1/4 コールドキャップ側変換アダプター（P29参照） 208/308用Cキャップ 隔壁取付用コールドキャップ 208SS（ステンレスタイプ※特注品） AL－1/4 圧縮空気供給口側変換アダプター（P29参照） ※1. 308J,318J,318Eのコールドキャップと208/308用Cキャップは形状が異なります。 ●208M（冷風側） ●308MH（熱風側） ●SS-1/4：コールドキャップ側変換アダプター ●AL-1/4：圧縮空気供給口変換アダプター ●VCホルダー（本体側） ●マグネットベース ●208/308用Cキャップ （隔壁取付用コールドキャップ） ●VCホルダー（冷風サイレンサー側） 7

328 ■ 仕　様 ブッシング・ゼネレータ（付属） 空気消費量（Nℓ/min） 冷却熱量（W） モデルNo． 商品構成　/　備考 ブッシング ゼネレータ 0.27MPa～0.69MPa 328－100 100H 100G 1,314～2,800 795～1,693 ※1. 圧縮空気供給口はNPT-1/2となります。 ※2. 冷却熱量は冷風比率60％時の数値になります。 ●328 φ61 46 NPT 1/2" 二面幅　51 NPT 1" 13.2 55 10 NPT 3/4" ROHs対応 337 ■ オプション品 モデルNo． 商品構成　/　備考 328MC 冷風側サイレンサー 328MH 熱風側サイレンサー ●328MC（冷風側） ●328MH（熱風側） 208SS（ステンレスタイプ※特注品） ■ 仕　様 空気消費量（Nℓ/min） 冷却熱量（W） モデルNo． ブッシング・ゼネレータ（付属） 商品構成　/　備考 0.27MPa～0.69MPa 208J-11HSS 11H 145～308 87～186 208J-11LSS 11L 本体（208JSS）, コールドキャップ, 208J-15HSS 15H ブッシング・ゼネレータ1ケ 197～420 119～253 208J-15LSS 15L 208J-25HSS 25H 328～700 198～423 208J-25LSS 25L ※1. 208JSS の圧縮空気供給口はNPT-1/4となります。変換アダプターSS-1/4をご利用下さい。(P29参照) ※2. 冷却熱量は冷風比率60％時の数値になります。 ※3. 冷風比率40～80％にはHブッシング、20～60％にはLブッシングをご使用下さい。 ※4. SUS303を採用、耐摩耗性、耐酸（弱酸）性に富んでいます。（ただし硫酸、塩酸等には使用できません。） 　　 製品に一部、真鍮製の部品を使用しております。オールSUSをお求めの場合はお問合せください。 ●208SS エア供給口 ∅13.7 NPT 1/4 52.7 122 流量（温度）調整バルブ 冷風 熱風 NPT 1/4 NPT 1/4 36.8 25.4 112.5 ROHs対応 174.8 8 56.4 ∅14.2 φ70 36.6 φ44.5 ∅28.4 φ25.4 ∅12.5 (89) ∅13.7

(オートドレン式) ● 配管内のゴミ・ドレンの除去に !! ・トランスベクター・ボルテックスクーラーにはエアフィルタ（10㎛以下）をご使用下さい。 モデルNo． 701S－36－8A /（ 5μm） 701S－24A /（ 10μm） 116J, 116E, 106J, 218J, 218E, 208J, 208JSS, 610J, 610 2109 770J－11H, 770J－15H, 770J　770－11H, 770－15H, 770 780J－11H, 780J－15H, 780J　780－11H, 780－15H, 780 790J－11H, 790J－15H, 790J　790－11H, 790－15H, 790 787SSJ, 787SS , 750J, 750　760J, 760 902, 912, 901XSS, 902XSS, 901DXSS 901A, 901BA, 901DA, 901HA, 909A, 901HASS 適用機種 900, 900SS, 908A, 1202, 906, 907, 910, 1206 921－3, 921－6, 931－6 TP－900, TP－908A, TP－1202, TP－906, TP－900－1000L TS－900, TS－901HA, TS－909A 1703, 1713, 1707 981J－6, 981－6 810, 811 50.5 2-NPT 3/8 寸　　法 Ø8チューブ モデルNo． 701S－36－10A /（ 5μm） 701S－40－20A /（ 10μm） 318J-35H, 308J-35H, 7015, 7025, 7035, 7715, 7725, 7735 904, 914, 905, 915 770J－35H, 770－35H, 7015EB/ES, 7025EB/ES, 7035EB/ES 921－18, 931－18, 921－24, 931－24, 924SS, 934SS, 923SS, 933SS 785J, 785, 787SSJ－35H, 787SS－35H 1210, 1215, 1210SUS, 1215SUS 適用機種 903, 913, 903XSS, 903－30XSS 921－12, 931－12, 922SS, 932SS N981J-18,N981-18,N981J-24,N981-24 981J－12, 981－12 812 813, 814 80 2-NPT 3/4 寸　　法 Ø8チューブ 28 186.7 161.3 25.4 156.9 137.9 19

専用 ・トランスベクター・ボルテックスクーラーの圧縮空気供給口はNPTネジです。（一部機種除く） 　NPT－R 変換アダプターをご使用下さい。 モデルNo./材質 寸　　法 適用機種 AL－1/8 （アルミ製） 900 SS－1/8 106Jコールドキャップ側 （ステンレス製） 900SS, 907 208Jコールドキャップ側、208J熱風側、208JSS SS－1/4 （ステンレス製） 308Jコールドキャップ側 1206 218J, 218E, 208J　318J, 318E, 308J　610J, 610 770J－11H, 770J－15H, 770J, 770J－35H 770－11H, 770－15H, 770, 770－35H 780J－11H, 780J－15H, 780J, 785J 780－11H, 780－15H, 780, 785 790J－11H, 790J－15H, 790J AL－1/4 790－11H, 790－15H, 790 （アルミ製） 787SSJ, 787SSJ－35H　787SS, 787SS－35H 902, 902XSS カーテントランスベクター（全機種） イオンベクター（全機種） スプレーベクター（全機種） 2109 7715, 7725, 7735, 7015EB/ES, 7025EB/ES, 7035EB/ES AL－3/8 7015, 7025, 7035, 7315, 7325, 7335 （アルミ製） 903, 903XSS, 903－30XSS 908－RJ （黄銅製） 908A, 1202 910－RJ （黄銅製） 906, 910 L－6 d＝6 L－8 900 （黄銅製） d＝8 NPT1/8 RJ6－1/8F （黄銅製） 900 16.2 15 14 (30.5) R 1/8 面取り 116J, 116E, 106J NPT 1/8 750J, 750　760J, 760 1/8R×NPT－SS （ステンレス製） 424J－4H, 424－4H　424J－8H, 424－8H 10 6 10 12 901XSS, 901DXSS 26 901A, 901BA, 901DA, 901HA, 909A, 901HASS （12） 30 二面幅 12 6 12 NPT－1/8 （黄銅製） MGS（106,116J,116E） Ø6 NPT 1/8 NPT 1/8 （13.9） 19 二面幅 5 14 NPT1/8－1/4 （黄銅製） MGS（106,116J,116E） NPT 1/8 NPT 1/4 29 Ø6 14 Ø6 銅管用

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