非接触光学精密測定機メーカーカツラ・オプト・システムズ　2025年製品紹介

世界初！に挑む。 非接触光学精密測定機メーカー 2025年製品紹介 HP 超小型チルトセンサ / TM-2070,TM-2090 オートコリメータ 型式 TM-2070 TM-2070-C001 TM-2090 測定対象物 光学平面 光学平面 光学平面 （反射率0.5%以上） （反射率0.005%以上） （反射率0.5%以上） ワーキングディスタンス - 0～85mm ±90分※1 測定範囲 0～110mm ±70分※1 0～110mm ±70分※1 0～170mm ±45分※1 0～170mm ±45分※1 0～250mm ±30分※1 0～250mm ±30分※1 Repeatability※2 1秒 1.3秒 Linearity※3 ±0.25% of F.S.（±0.35分相当） ±0.25% of F.S.（±0.45分相当） 光源 650±10nm ビーム径 Φ1mm※4 Φ0.5mm※5 Φ1mm※4 出力更新レート 60回/秒 特長 外形寸法（突起部除く） W38 D42 H18mm ※1. 円形範囲 1. 世界最小クラス、軽量コンパクト ※2. 弊社標準サンプルをW.D.50mmに設置し、静止状態で測定時の6σ。カメラ輝度（PK）180の時。 2. 高感度(反射率0.5%以上測定可能) ※3. 弊社標準サンプルをW.D.50mmに設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。 3. 付属ソフトで簡単測定(For Windows) 測定対象物によって変化する場合があります。 ※4. センサ射出直後での径（1/e²幅） ※5. W.D.50mmでの径（1/e²幅） 一体型チルトセンサ（小型Type） / ST-3100 オートコリメータ 型式 ST-3100 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス 0～200mm 測定範囲 ±54分※1 Repeatability※2 0.025分 Linearity※3 ±0.15% of F.S. 光源 660±10nm ビーム径 Φ1mm※4 出力更新レート 1,600回/秒 特長 外形寸法（突起部除く） W65 D75 H34mm ※1. 円形範囲 1. センサとプロセッサ、一体型 ※2. 弊社標準サンプルを静止状態で測定した16回平均のばらつきの幅（6σ） 2. 小型、装置や治具組み込みが可能 ※3. 弊社標準サンプルをW.D.140mm に設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。 3. 高速測定(1.6K データ/s) 測定対象物によって変化する場合があります。 ※4. センサ射出直後での径（1/e²幅） 一体型チルトセンサ（広角Type） / ST-3200 オートコリメータ 型式 ST-3200 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス※1 65±1mm 測定範囲 ±5度※2 Repeatability※3 0.15分 Linearity※4 ±1.5% of F.S. 光源 658±10nm ビーム径 Φ1mm 出力更新レート 1,600回/秒 外形寸法（突起部除く） W150 D180 H56mm 特長 ※1. センサ端に20mmの鏡筒が設置されている為、鏡筒端からのワーキングディスタンスは45±1mmとなります。 ※2. 円形範囲 1. センサとプロセッサ、一体型 ※3. 弊社標準サンプルをW.D.65mmに設置し、静止状態で測定した値のバラツキの幅6σ。 2. 傾斜測定範囲±5度 ※4. 弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合が 3. 高速測定(1.6K データ/s) あります。 1

小型チルトセンサ / RA-XXXX オートコリメータ 型式 RA-XXXX※1 受注生産 測定対象物 光学平面 ワーキングディスタンス 0～200mm 測定範囲 ±54分※2 光源 青、緑、赤、赤外 ビーム径 Φ3mm※3 出力更新レート 30回/秒 外形寸法（突起部除く） W50 D65 H30mm 特長 ※1. 搭載波長などにより型式が変わります。詳しくはお問い合わせください。 ※2. 円形範囲 1. 青波長から赤外波長まで選択可能 ※3. ビーム径を変更することも可能です（φ0.5～φ8mm）。詳しくはお問合わせください。 2. ビーム径の最適化が可能※ 3. 受光感度の最適化が可能※ ※ビーム径、受光感度の最適化は工場出荷時に行います。 スクリーンチルトセンサ / KT-1530 オートコリメータ 型式 KT-1530 測定対象物 光学平面 ワーキングディスタンス 0～100mm 測定範囲 ±30分 最小メモリ 2分 光源 650±10nm 特長 ビーム径 Φ1mm※ 外形寸法（突起部除く） W50 D210 H54mm 1. スクリーン搭載目視確認 2. 軽量 ※φ1,1.5,3,4,5,6,6.5,8mmから選択可能 3. コンパクト設計、片手サイズ 高速チルトセンサ / AT-2060 オートコリメータ 型式 AT-2060 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス※1 150±10mm 測定範囲 ±60分※2 Repeatability※3 0.024分 Linearity※4 ±0.17% of F.S. 光源 658±10nm ビーム径 φ1mm サンプリング 10,000回/秒 特長 外形寸法（突起部除く） W100 D150 H56mm ※1. センサ端面からの距離。仕様を満たす距離を示します。 1. 高速測定（10Kサンプリング） ※2. 円形範囲 ※3. 弊社標準サンプルを150mm 位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 ADボードで25kSで1秒間取込後、3000Hz(-3db)のバタワース 2. アナログ（±5V）測定データ出力 ローパスフィルタを通した3σの値。（アナログ） 3. コンパクト設計、片手サイズ ※4. 弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。測定可能距離以内で、チルト (θX, θY)±48 分(円形範囲)以内の範囲の値。 超広角チルトセンサ / WT-7300,WT-2600,WT-2910 オートコリメータ 型式 WT-7300 WT-2600 WT-2910 受注生産 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス 65±1mm※1 48±4mm 25±2mm 測定範囲 ±5度※2 ±10度※2 ±15度※2 Repeatability 0.2分※3 0.4分※4 0.4分※5 Linearity※6 ±1.5% of F.S. ±3% of F.S. ±2.5% of F.S. 光源・1 波長 / ビーム径 658±10nm/φ1.5mm 660±10nm/φ1mm 光源・2 波長 / ビーム径 658±10nm/φ0.1mm - サンプリング 10,000回/秒 外形寸法（突起部除く） W150 D180 H56mm W160 D230 H60mm ※1. W.D.位置確認用Zモニタ光学系（光源・2）を内蔵。センサ端に20mmの鏡筒が設置されている為、鏡筒端からのW.D.は45±1mmとなります。 特長 ※2. 円形範囲 ※3. 弊社標準サンプルを65mm位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパス フィルタを通した3σの値。 1. 超広角測定範囲（±5～15度） ※4. 弊社標準サンプルを48mm位置に設置して測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワースローパス 2. 高速測定（10Kサンプリング） フィルタを通した3σの値。 ※5. 弊社標準サンプルを25mm位置に設置し、原点付近にて測定。弊社検査規定により、NI PCI-6221 AD ボードで25kSで1秒間取込後3000Hz(-3dB)のバタワ 3. アナログ（±5V）測定データ出力 ースローパスフィルタを通した3σの値。 ※6. 弊社標準サンプルをW.D.に設置しての測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合があります。 2

一体型変位チルトセンサ / SH-3100,SH-3200 3軸センサ 型式 SH-3100 SH-3200 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス 50±0.5mm 測定項目 チルト（θX,θY） 変位（Z） チルト（θX,θY） 変位（Z） 測定範囲 ±60分※1 ±1.5mm ±90分※1 ±5mm Repeatability※2 0.009分 0.15μm 0.009分 0.5μm Linearity※3 ±0.2% of F.S. ±0.075% of F.S. ±0.2% of F.S. ±0.1% of F.S. 光源 波長 / ビーム径 660±10nm / φ0.2mm以下 特長 出力更新レート 1,000回/秒 外形寸法（突起部除く） W100 D80 H35mm 1. 三角測量とオートコリメータを一つに 2. センサとプロセッサ一体型 ※1. 円形範囲 3. 変位と傾斜の同時測定 ※2. 弊社標準サンプルをW.D.位置に設置し、静止状態で測定した値の幅6σ。測定条件： 平均回数16回 ※3. 弊社標準サンプル測定時における理想直線に対する誤差を表します。測定対象物によって変化する場合が あります。 変位チルトセンサ / VH-1100,HT-8490N 3軸センサ 型式 VH-1100 HT-8490N 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス 60±0.5mm 90±0.5mm 測定項目 チルト（θX,θY） 変位（Z） チルト（θX,θY） 変位（Z） 測定範囲 ±60分※ ±1.5mm ±90分※ ±4mm サンプリング 10,000回/秒 外形寸法（突起部除く） W125 D150 H56mm W155 D180 H56mm 特長 ※円形範囲 1. 変位と傾斜の同時測定【特許第5330114号】 2. 1ビームで一方向から変位、傾斜同時測定 3. 高速測定（10K サンプリング） 挟角変位チルトセンサ / VH-1200 3軸センサ 型式 VH-1200 受注生産 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス 90±0.5mm 測定項目 チルト（θX,θY） 変位（Z） 測定範囲 ±60分※ ±1.5mm 光源 波長 / ビーム径 660±10nm / φ0.3mm サンプリング 10,000回/秒 特長 外形寸法（突起部除く） W110 D150 H56mm 1. 奥まった箇所にある対象物の測定が可能 ※円形範囲 2. 高速測定（10K サンプリング） 3. アナログ（±5V）測定データ出力 広角変位チルトセンサ / WH-2200 3軸センサ 型式 WH-2200 受注生産 測定対象物 光学平面（反射率80%以上推奨） ワーキングディスタンス 50±0.5mm 測定項目 チルト（θX,θY） 変位（Z） 測定範囲 ±6度※ ±1mm 光源 波長 / ビーム径 660±10nm / φ0.2mm以下 サンプリング 10,000回/秒 外形寸法（突起部除く） W185 D230 H56mm ※円形範囲 特長 1. 広角度な傾斜測定範囲 2. 高速測定（10K サンプリング） 3. アナログ（±5V）測定データ出力 3

高速5次元センサ / MF-5550-0002,MF-5570-0002 多軸センサ 型式 MF-5550-0002 MF-5570-0002 測定対象物 φ2.9mm光学平面（ターゲットミラーFH-2304※1） ワーキングディスタンス 80±0.5mm 測定項目 チルト 変位 位置 チルト 変位 位置 測定範囲 ±60分※2 ±1mm ±0.5mm ±60分※2 ±1mm ±0.7mm Repeatability 0.02分 0.2μm 0.5μm 0.02分 0.2μm 0.5μm Linearity ±0.17% of ±0.4% of ±0.2% of ±0.17% of ±0.4% of ±0.2% of F.S. F.S. F.S. F.S. F.S. F.S. 光源 波長 / ビーム径 658±10nm / φ0.3mm（変位,チルト） 658±10nm / φ5mm（位置） 特長 サンプリング 10,000回/秒 1.三角測量、位置測定、角度測定を1台に 外形寸法（突起部除く） W185 D220 H56mm 2.優れた繰返し精度、高精度リニアリティ ※1. ターゲットミラーからの反射光のみセンサに受光させる為、ターゲットミラー周辺φ7mmの範囲からの 3.高い作業性を持つ幅広いワーキングディスタンス 反射が無いこと。FH-2304（反射率80%以上、サイズφ2.9mm、厚み0.3mm±0.05mm、平行度30秒以内） ※2. 円形範囲 高速6次元センサ / MS-2000 多軸センサ 型式 MS-2000 測定対象物 専用ターゲット ワーキングディスタンス 90±0.5mm 測定項目 チルト 変位 位置 回転 測定範囲 ±60分※ ±1mm ±0.5mm ±90分 Repeatability 0.03分 1.0μm 0.5μm 0.2分 Linearity ±0.17%of F.S. ±0.44%of F.S. ±0.6%of F.S. ±0.3%of F.S. 光源 波長 / ビーム径 660±10nm / φ3mm 特長 外形寸法（突起部除く） W250 D150 H58mm ※ 円形範囲 1.三角測量、位置測定、3軸角度測定を1台に 2.優れた繰返し精度、高精度リニアリティ 3.高い作業性を持つ幅広いワーキングディスタンス 詳しくは、各製品の仕様をご参照ください。 その他、お客様のご要望に応じて、1点からでも専用設計を承ります。 波長 紫外・青・緑・赤外など様々な波長に対応 多波長 赤,緑,青,3波長LD搭載、多波長同軸射出 ビーム径 φ0.5～13mm、極細から極太ビームの搭載 多点同時 2か所から多点測定に対応 平行、垂直 2本のビームを水平、垂直方向へ出射。平行度、直角度の測定に対応など 詳しくは、お気軽にお問い合わせください。 HP https://www.katsura-opto.com/ 株式会社カツラ・オプト・システムズ 本社 〒215-0021 神奈川県川崎市麻生区上麻生1-7-11 クラウンビル202 TEL: 044-969-5231 FAX: 044-969-5230 中国現地法人 KATSURA OPTO TECHNOLOGY（Shanghai) 〒201-821 上海市嘉定工業区叶城路1411号 TEL: +86-21-69529975 FAX: +86-21-69529976 CSP0202-2_20250228