2024年製品紹介（高速6次元センサ・高速5次元センサ・高速位置センサ・変位チルトセンサ）

世界初！に挑む。 非接触光学精密測定機メーカー 2024年製品紹介 HP 高速6次元センサ / MS-2000 チルト, 変位, 位置, 回転 スマートフォンなどに搭載されている、センサーシフト方式の光学式手ブレ補正機能（OIS）付きカメラモジュール アクチュエータの評価、検査に最適です。 型 式 MS-2000 測定対象物 特殊専用ターゲット（FH-2312） ワーキングディスタンス 90±0.5mm 測定項目 チルト（θX, θY） 変位（Z） 位置（X, Y） 回転（θ） 測定範囲 ±60分(円形範囲) ±1mm ±0.5mm ±90分 光源 波長 660±10nm ビーム径 φ3mm データ出力 お客様にてADし、換算DLLを利用して測定値に変換（高速）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート50回/秒） 測定動画 Repeatability デジタル 0.03分 1.0μm 0.5μm 0.2分 Linearity ±0.17%of F.S. ±0.44%of F.S. ±0.6%of F.S. ±0.3%of F.S. 高速5次元センサ / MF-5550-0002, MF-5570-0002 チルト, 変位, 位置 スマートフォンなどに搭載される手ブレ補正機能（OIS）付きカメラモジュールアクチュエータ評価、検査に最適です。 型 式 MF-5550-0002 MF-5570-0002 測定対象物 専用ターゲット（FH-2304 反射率80%以上） ※周囲Φ7mmの範囲でレーザー光を反射しないようにしてください ワーキングディスタンス 80±0.5mm 測定項目 チルト 変位 位置 チルト 変位 位置 （θX, θY） （Z） （X, Y） （θX, θY） （Z） （X, Y） 測定範囲 ±60分 ±1mm ±0.5mm ±60分 ±1mm ±0.7mm （円形範囲） （円形範囲） 光源1 波長 658±10nm （変位,チルト） ビーム径 Φ0.3mm 光源2 波長 658±10mm （位置） ビーム径 Φ5mm データ出力 アナログ電圧出力（±5V, ND時 +10V, 出力更新レート10,000回/秒）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート50回/秒） Repeatability アナログ 0.02分 0.2μm 0.5μm 0.02分 0.2μm 0.5μm デジタル 0.02分 0.2μm 0.5μm 0.02分 0.2μm 0.5μm Linearity ±0.17% ±0.4% ±0.2% ±0.17% ±0.4% ±0.2% of F.S. of F.S. of F.S. of F.S. of F.S. of F.S. NEW 高速位置センサ / IS-2100 受注生産 位置 レンズシフトやセンサーシフト方式の手振れ補正機能付きアクチュエータなどの検査に最適です。 型 式 IS-2100 測定対象物 特殊専用ターゲット ワーキングディスタンス 50±5mm 測定範囲 位置（X, Y） ±1mm 光源 波長 660±10nm ビーム径 Φ5mm データ出力 デジタルRS-232C出力（出力更新レート最大1,600回/秒） Repeatability デジタル 0.1μm Linearity ±0.2%of F.S. JP 1

変位チルトセンサ / VH-1100 チルト, 変位 スマートフォンなどに搭載されるオートフォーカス（AF）アクチュエータVCMの測定、評価に最適です。 型 式 VH-1100 測定対象物 光学平面ミラー（反射率80%以上推奨）※FH-2304推奨 ワーキングディスタンス 60±0.5mm 測定項目 チルト（θX, θY） 変位（Z） 測定範囲 ±60分 ±1.5mm (円形範囲) 精度保証範囲 ±1.2mm 光源 波長 658±10nm ビーム径 Φ0.3mm 射出角 20度 データ出力 アナログ電圧出力（±5V, ND時 +10V, 出力更新レート10,000回/秒）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート100回/秒） Repeatability アナログ 0.04分 0.4μm デジタル 0.03分 0.5μm Linearity 測定範囲 ±0.5%of F.S. ±0.33%of F.S. 精度保証範囲 ±0.17%of F.S. NEW 挟角変位チルトセンサ / VH-1200 受注生産 チルト,変位 VH-1100から測定光軸のはさみ角度を挟角にしたモデルです。 スマートフォンペリスコープアクチュエータの様に奥まった場所にあるアクチュエータの測定に最適です。 型 式 VH-1200 測定対象物 光学平面ミラー（反射率80%以上推奨）※FH-2304推奨 ワーキングディスタンス 90±0.5mm 測定項目 チルト（θX, θY） 変位（Z） 測定範囲 ±60分(円形範囲) ±1.5mm 光源 波長 660±10nm ビーム径 Φ0.3mm以下 射出角 7.5度 データ出力 アナログ電圧出力（±5V, ND時 +10V, 出力更新レート10,000回/秒）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート100回/秒） ※受注生産品につき詳細仕様（Repeatability,Linearity）は別途お打ち合わせの上決定させていただきます。 NEW 広角変位チルトセンサ / WH-2200 受注生産 チルト, 変位 VH-1100のチルト測定範囲を拡大した製品です。 スマートフォンの手振れ補正用のアクチュエータを構成する大きく傾斜駆動するアクチュエータの測定に 最適な製品です。 型 式 WH-2200 測定対象物 光学平面ミラー（反射率80%以上推奨）※FH-2304推奨 ワーキングディスタンス 50±0.5mm 測定項目 チルト（θX, θY） 変位（Z） 測定範囲 ±6度(円形範囲) ±1mm 光源 波長 660±10nm ビーム径 Φ0.3mm以下 データ出力 アナログ電圧出力（±5V, ND時 +10V, 出力更新レート10,000回/秒）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート100回/秒） ※受注生産品につき詳細仕様（Repeatability,Linearity）等は別途お打ち合わせの上決定させていただきます。 2 JP

超広角チルトセンサ / WT-7300, WT-2600, WT-2910 チルト オートコリメータ方式を採用することで、世界初±15度（円形範囲）の測定範囲を正確かつ高速に測定できる ようになりました。（2023年12月当社調べ） MEMSミラー、スマートフォン用ペリスコープカメラのプリズムミラー、カメラモジュールのチルトOISなど、高速で動く物や、 広範囲の対象物の測定・評価に最適です。 NEW 型 式 WT-7300 WT-2600 WT-2910 受注生産 測定対象物 光学平面ミラー（反射率80%以上推奨）※FH-2304推奨 ワーキングディスタンス 65±1mm※1 48±4mm 25±2mm 測定項目 チルト（θX, θY） 測定範囲 ±5度(円形範囲) ±10度(円形範囲) ±15度(円形範囲) 光源（LD1） 波長 658±10nm 660±10nm ビーム径 Φ1.5mm以下 Φ1mm 光源（LD2） 波長 658±10nm - ビーム径 Φ0.1mm以下 - データ出力 アナログ電圧出力（±5V, ND時 +10V, 出力更新レート10,000回/秒）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート100回/秒） Repeatability アナログ 0.2分 0.4分 ※1.センサ端に20mmの鏡筒が設置されている為、 デジタル 0.15分 0.3分 0.5分 鏡筒端からのワーキングディスタンスは45±1mm となります。 Linearity ±1.5% of F.S. ±3% of F.S. ±2.5% of F.S. 高速チルトセンサ / AT-2060 チルト 高速で動くモーターの振れ測定や、スマートフォンなどのカメラモジュールアクチュエータの動的測定、レーザープロ ジェクター用の高速振動するVCMの評価など高速で動く対象物の測定に最適です。 型 式 AT-2060 測定対象物 光学平面ミラー（反射率80%以上推奨）※FH-2304推奨 ワーキングディスタンス 150±10mm 測定項目 チルト（θX, θY） 測定範囲 ±60分（円形範囲） 光源 波長 658±10nm ビーム径 φ1mm データ出力 アナログ電圧出力（±5V, ND時 +10V, 出力更新レート10,000回/秒）, デジタルRS-232C出力（出力更新レート100回/秒） Repeatability アナログ 0.024分 デジタル 0.03分 Linearity ±0.17％ of F.S. 超小型チルトセンサ / TM-2070 チルト 装置への組み込みやハンドラ搭載ニーズにも対応するために、極限まで小型化した世界最小*1モデルの オートコリメータです。（*1 2020年10月当社調べ） 画像処理ユニットは60fpsの処理スピードで角度を測定、上位機器へのデータ出力が可能です。 APC（オートパワーコントロール）機能搭載で、ますます使いやすくなりました。 型 式 TM-2070 測定対象物 光学平面（反射率0.5%以上） 0～110mm ±70分（円形範囲） 測定可能距離 及び 測定範囲 チルト（θX, θY） 0～170mm ±45分（円形範囲） 0～250mm ±30分（円形範囲） 光源 波長 650±10nm 測定動画 ビーム径 φ1mm データ出力 デジタルRS-232C出力（出力更新レート60回/秒） Repeatability（デジタル） 1秒 Linearity ±0.25% of F.S. JP 3

■ 製品一覧 ■ 高速 高速 高速 挟角 広角 超広角 高速 超小型 6次元センサ 5次元センサ 位置センサ 変位ﾁﾙﾄｾﾝｻ 変位ﾁﾙﾄｾﾝｻ 変位ﾁﾙﾄｾﾝｻ チルトセンサ チルトセンサ ﾁﾙﾄｾﾝｻ 型番 MS- MF- MF- IS- VH- VH- WH- WT- WT- WT- AT- TM- 2000 5550- 5570- 2100 1100 1200 2200 7300 2600 2910 2060 2070 0002 0002 WD 90 80 80 50 60 90 50 65 48 25 150 0～ ±0.5mm ±0.5mm ±0.5mm ±5mm ±0.5mm ±0.5mm ±0.5mm ±1mm ±4mm ±2mm ±10mm 110mm チルト ±60分 ±60分 ±60分 - ±60分 ±60分 ±6度 ±5度 ±10度 ±15度 ±60分 ±70分 θX, θY (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) (円形範囲) 測定範囲 変位 ±1mm ±1mm ±1mm - ±1.5mm ±1.5mm ±1mm Z 測定範囲 位置 ±0.5mm ±0.5mm ±0.7mm ±1mm X, Y 測定範囲 回転 ±90分 θ 測定範囲 詳しくは、各製品の仕様をご参照ください。 ◇ 信号処理ユニットに関するご案内 ◇ NEW タッチパネルレス信号処理ユニット 受注生産 信号処理ユニットはFA装置等組み込みに便利なタッチパネルレスモデル の選択も可能になりました。 ●対応機種：VH,WT,AT 詳しくはお問い合わせください。 タッチパネルレスモデル タッチパネルモデル （通常品） NEW 超高速測定対応 受注生産 構成イメージ カタログ製品の信号処理ユニットは10kHzサンプリングに対応しております。 10kHzサンプリングより高速測定が可能な構成でのご提供も可能です。（右図参照） 点線部は この場合お客様でPCと高速A/Dボードをご準備いただきます。 お客様ご準備 当社が供給するDLLファイルをお客様のソフトウェアに組み込み PC PC内で数値化処理を行い高速測定を実現します。 光学 中継 A/D ●対応機種：MF,VH,WT,AT センサ BOX ボード 詳しくはお問い合わせください。 株式会社カツラ・オプト・システムズ 代理店 本社 〒 215-0021 神奈川県川崎市麻生区上麻生1-7-11 クラウンビル202 TEL: 044-969-5231 FAX: 044-969-5230 中国現地法人 KATSURA OPTO TECHNOLOGY（Shanghai) 〒201-821上海市嘉定工業区叶城路1411号 TEL: +86-21-69529975 FAX: +86-21-69529976 記載内容 2024年1月24日 営資0117-11_JP 第11版 4 JP