3M 金属イオン除去 フィルターソリューション

3M™ 金属イオン除去 フィルターソリューション

3Mの金属イオン除去 フィルターソリューション スマートフォンなどの電子機器、インターネット通信、自動車などを代表とする社会インフラなど、 半導体は私達の身の回りのあらゆるもにに使われており、生活は半導体によって支えられています。 半導体は近年世界的な需要の拡大が続き、市場は飛躍的に成長しています。 それに伴いより高性能なものに進化を遂げています。 高性能な半導体を製造するためにはより金属が低減された高純度な半導体用薬品が求められます。 3Mは独自技術を駆使したフィルターで貢献します。

金属イオン除去に貢献する 3M のフィルターラインナップ 組み合わせて使用することによりさらに多くの金属イオンを低減できます 3M™ 金属イオン 3M™ Zeta Plus™ 3M™ Zeta Plus™ 除去フィルター ECシリーズ Sシリーズ MIPシリーズ フォトレジスト原料、 フォトレジスト原料、 フォトレジスト原料、 代表的な用途 溶 剤 、水 溶 系 材 料 の 溶剤などからの金属 溶剤などからの金属 金属イオン除去 除去 除去、脱色、有機物除去 ターゲットの ppb - ppt レベル* ppm - ppb レベル* ppm - ppb レベル* 金属除去レベル セルロース/ケイソウ土/ 製品構成 ポリエチレン/IX樹脂 (IX樹脂） セルロース/活性炭 形状ラインナップ カートリッジ ディスク ディスク 3M特殊粉体成形テクノロジーを 用いて強酸性陽イオン交換樹脂、 またはキレート樹脂と、ポリエ ゼータ電位と多孔質体により チレン支持体を強固なブロック状 コロイドやゲル状物質を吸着 ゼータ電位と多孔質体による 特長/強み のろ材にしたデプスフィルター 除去。 吸着ろ過に加え、活性炭による カートリッジ。厚みのある構造の 40Qグレードに関してはイオン 吸着除去機能を付与 ため一般的なメンブレンタイプの 交換能力も付加 同様のフィルターとくらべ高い 金属除去性能を有す SCPタイプ（強酸性イオン交換樹脂） Na,Ca,Kなどのアルカリ金属 効果を得やすい またはアルカリ土類金属 微量金属Na,Fe,Cr Al, 触媒に使用されるPd,Ptや 金属 微量コロイド Ni,Cu,Znなどの重金属 APPタイプ（キレート樹脂） Fe, Ce, Znなどの重金属 * 原液の金属含有レベルやろ過条件に依ります。

薬液中の金属イオンを50ppt 以下レベル※1まで 低減。金属除去の最先端デプスフィルター 3M™ 金属イオン除去フィルター ppb - ppt レベル * （3M™ Metal Ion Purifier：略称MIP）は、昨今の電子業界でのより厳しい金属低減要求に貢献 するために開発をいたしました。3M特殊粉体成形テクノロジーを用いて強酸性陽イオン交換 樹脂、またはキレート樹脂と、ポリエチレン支持体を強固なブロック状のろ材にしたデプスフィ ルターカートリッジです。薬液中の金属イオンを50ppt以下レベル※1まで低減し、リソグラフィ プロセスで使用されるPGMEAなどの溶剤や、BARCなどの高純度ポリマー溶液からワンパス でも効果的に金属イオンを低減します。 ※1. 社内評価による：金属除去性能項目参照 SCP APP 高い金属除去性能 イオン交換容量が大きい 金属溶出が少ない ろ材がデプス構造（厚みのある構造）のため ● メンブレンタイプのイオン交換膜フィルター ● 独自の製造方法によりイオン交換樹脂と 溶液とろ材との長い接触時間を実現 と比較し数倍のイオン交換容量を持つ 比較して金属溶出を低減※2 ● 安定した金属除去性能を発揮 ● 前処理時間の短縮と作業の簡易化を実現 ※2. 社内評価による：金属溶出について項目参照 MIP の断面図 MIP の構造模式図 ● 厚みがあり、接触時間が多くなる ろ材厚み ● イオン交換容量も大きくなる 1次側 MIP断面図写真 イオン 2次側 交換基 サイズラインナップ スクリーニング用★ 量産スケール用 量産スケール用 Φ 47mm ディスクタイプ 10インチカートリッジタイプ 20インチカートリッジタイプ ※試験には専用のPTFE 製ハウジングが必要です。 - コネクター形状: 222 - コネクター形状: 222 ★ディスクは厚みがカートリッジと違うため、 - エンドキャップ形状：フラットエンドキャップ - エンドキャップ形状：フィン 　効果確認スクリーニング用サンプルとなります。 スケールアップ評価及び少量ろ過用 キャップ 約2倍 2インチカートリッジタイプ - コネクター形状: 222 - エンドキャップ形状：フラットエンドキャップ ろ材部 : 細孔ブロック コネクター 約5倍 Oリング ろ材ラインナップ 多くの溶液に対応できるように２種類のタイプをラインナップいたしました。 SCP（イオン交換タイプ） APP（キレートタイプ） Na, Ca, Kなどのアルカリ金属、 キレート効果によってFe, Cr, Zn 強酸性陽イオン交換樹脂 またはアルカリ土類金属を キレート樹脂 などの重金属を捕捉し易い傾向 捕捉し易い傾向があります。 があります。 ※金属イオンの補足傾向はお客様溶液の組成や液中の各金属イオンの含有比によってに大きく左右されます。上記傾向はあくまで参考情報として頂き、実液でのご評価を推奨いたします。

薬液中の金属イオンを50ppt 以下レベル※1まで 低減。金属除去の最先端デプスフィルター 仕様（10インチカートリッジ） 項　目 SCP APP 流量表（ 水, 10インチカートリッジ） 20 バインダー樹脂 超高分子量ポリエチレン 樹脂パーツ 高密度ポリエチレン 15 105 O リング FEP 被覆フッ素ゴム 樹脂 強酸性陽イオン交換樹脂 キレート樹脂 10 70 最高使用温度 60℃ 5 35 最大許容差圧 0.28MPa APP SCP 推奨流量（粘度 1cP の時） 3.5 L/min 0 0 1 2 3 4 5 イオン交換容量（推奨流量時 90% 効率）* 450meq 460meq 流量（gpm） * イオン交換容量は計算値です。 4 8 12 16 流量（lpm） 品番リスト サイズ タイプ 品番 仕様 47mm ディスク SCP MIR-DA47-SCPD 47mm ディスク 47mm ディスク APP MIR-DA47-APPD　 47mm ディスク 2 インチカートリッジ SCP MIRE-0020FK-SCPD 2 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring 2 インチカートリッジ APP MIRE-0020FK-APPD 2 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring 10 インチカートリッジ SCP MIRE-0100FK-SCPD 10 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring 10 インチカートリッジ APP MIRE-0100FK-APPD 10 インチ 222 コネクター（フィン無し），FEP 被覆フッ素ゴム O-ring 20 インチカートリッジ（新製品） SCP MIRE-0200HK-SCPD 20 インチ 222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴム O-ring 20 インチカートリッジ（新製品） APP MIRE-0200HK-APPD 20 インチ 222 コネクター（フィン）FEP 被覆フッ素ゴム O-ring 価格、納期等につきましては、弊社営業担当へお問い合わせください。 47mmディスクは 1箱 3枚単位での販売になります。 2 インチ、10 インチカートリッジの O-ring について原材料供給の困難になったため、 2 インチ、10 インチ、20 インチは 1箱 1本単位での販売になります。 パーフルオロエラストマーから FEP 被覆フッ素ゴムに変更いたしました 金属除去性能（社内評価） 性能評価事例（参考データ） 単位：ppt 社内試験 自社評価 金属イオン添加 PGMEA ろ過試験 分析金属 定量限界 調整原液 SCP APP （弊社技術報告書 SCEA18-019 抜粋） 700ml/min 700ml/min ● サンプル溶液：各金属約 1ppb 添加したPGMEA Li 10 934 <10 <10 ● フィルター： APPD、SCPD 2インチカートリッジ Na 100 1082 <100 <100 ● 金属イオン濃度分析：Agilent 8900 Al 10 681 <10 <10 ● ろ過試験イメージ（流量 700ml/min, 500ml 後サンプリング） K 40 2481 <40 <40 Ca 10 950 20 <10 Cr 10 640 <10 <10 Fe 20 1696 <20 <20 Co 10 965 <10 <10 Ni 10 725 <10 <10 Cu 10 1250 <10 10 Zn 20 1836 44 32 Pb 10 884 <10 10 金属溶出について（社内評価） 3M™ Metal Ion Purifie（r 3M™ 金属イオン除去フィルター） 10" SCPD 10" APPD 事前浸漬と通液フラッシングの関係 100,000 100,000 12時間浸漬なしSCP 12時間浸漬なしAPP （弊社技術報告書 SCED19-016 抜粋） 12時間浸漬ありSCP 12時間浸漬ありAPP ● 超純水通液流量：2 L/min 10,000 10,000 ● 金属含有量分析： ICP-MS（ Agilent 7500） ● 補足： グレーアウトした領域は Na 以外の各金属単体では 定量限界以下であったため参考値とする。 1,000 1,000 本評価条件においてMIP10インチカートリッジは 100 50 ppt 100 50 ppt 12 時間事前浸漬なしで超純水を流量 2 L/min にて 6 L 通液フラッシング処理することで、2 次側通液中の 22 元素 * の合計金属含有量は 50 ppt 以下に到達する。 10 10 0 2 4 6 8 10 0 2 4 6 8 10 Flashing Throughput (L) Flashing Throughput (L) *22 元素 : Li, Na, Mg, Al, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, As, Ag, Cd, Sn, Ba, W, Pb Total Metal (ppt) Total Metal (ppt) 圧力損失（psid） 圧力損失（kPa）

電子産業用、ゼータ電位の吸着作用による 微量金属、微量コロイド除去に 3M™ Zeta Plus™ 吸着デプスフィルターカートリッジ （エレクトロニクス用）ECシリーズ ● 微量金属（Na,Fe,Cr,Al等）、微量コロイド等のろ過に適用 ● ppbレベルまで除去 ppm - ppb ● SHグレードは、特にNa、Kの除去効率に優れた製品 レベル * ● ゼータ電位による吸着作用と機械的ろ過作用とのダブルキャッチシステム - 優れた粒子捕捉能力 - 微粒子、コロイド粒子等の異物を効率良く捕捉 ● テスト用47mm、90mmディスクからカートリッジにスケールアップが可能 ● ファインケミカル： 樹脂、有機溶剤　 ● フォトレジスト： フォトレジスト原料樹脂、CD/HD 用樹脂、液晶用顔料樹脂、オーバーコート材　等 ● 洗浄液： IPA 等 仕様 流量表 30 30 材質 セルロース、酸洗浄済み ケイソウ土、レジン※ 25 25 20 050 GN 20 050 GN 最高使用 82℃（ただし液により 温度 確認が必要な場合があります） 15 15 H 40Q S 40Q SH SHグレード（40Q）、 10 10 グレード GNグレード（020 、050） 5 5 ※SHグレードは特殊レジンです。 0 0 0 0.5 1 1.5 2 2.5 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 流量（KL/hr/m2） 流量（KL/hr/m2） ＜条件＞温度：常温、流体：水 ＜条件＞温度：常温、粘度：10mPa･s ろ過グレード表 SHグレード　40Q GNグレード　020 GNグレード　050 0.2 0.5 ろ過精度（μm） ※フィルター選定時の目安としてご利用ください。 注文ガイド表 12 インチガスケットタイプ 8 インチ O- リングタイプ セル数 グレード ガスケット材質 セル数 グレード ガスケット材質 C 8 セル 40QSH E EPDM 2 2 セル 40QSH E EPDM D 16 セル 020GN V フッ素ゴム 4 4 セル 020GN V フッ素ゴム 050GN T ソフト PTFE K 被覆フッ素ゴム 16セル 40QSH ソフトPTFE 4セル 020GN 被覆フッ素ゴム EC12 D 40QSH （T） EC8PI 4 020GN （K） 注文例 注文例 　 　 注文コード：EC12D40QSH(T) 注文コード：EC8PI4020GN(K) ご注文は箱単位でお願いいたします。 ご注文は箱単位でお願いいたします。 入り数　2個/箱 入り数　4個/箱 圧力損失（kPa） 020GN 圧力損失（kPa） 020GN

活性炭による金属除去性能を付与した フィルターカートリッジ 3M™ Zeta Plus™ 活性炭吸着デプスフィルターカートリッジ Sシリーズ ● 活性炭による金属除去性能 - 触媒に使用されるPd, PtやNi Cu Znなど重金属の金属除去に効果を発揮 ppm - ppb ● S シリーズは一般工業向け レベル * ● ラボレベルから実生産レベルまでスケールアップが容易 ● 脱色、不純物除去、エンドトキシン除去等に優れた効果 ● 粉末活性炭を安全で取り扱いやすい形状に成型 ● 従来の粉末活性炭の問題を解決 - ダストの発生がほとんどない - 安全衛生上の問題を解決可能 - 下流工程への汚染の問題を解決 - 粉末の投入、撹拌の必要なし - 活性炭除去用の後処理工程が不要 ● 脱色 ● フォトレジスト原料などからの金属除去 仕様 流量表 ろ材 セルロース、活性炭、レジン 30 材 質 部材 ポリプロピレン、SUS316 ガスケット・O-リング シリコーンゴム /PTFE 25 R53S 最高使用温度 80℃ 20 8 インチ径 形 状 カートリッジ 12 インチ径 15 滅菌条件 121℃、30 分、1 サイクル（オートクレーブ、インラインスチーム） 10 ろ過グレード表 5 R5■（粘度1～20 mPa・s） 主精度 対応可能精度 0.1 0.5 1 2 3 4 5 10 0 0 10 20 30 40 50 ろ過精度（μm） ※フィルター選定時の目安としてご利用ください。 流量（L/min/m2） ■には活性炭グレードが入ります。推奨グレードと推奨用途例は下記の通りです。 ＜水、21℃＞ 53グレード：各種工業液体原料の脱色 55グレード：各種工業液体原料の脱色 注文ガイド表 外 径 形 状 接続パッキン材質 グレード C08 8インチ D ガスケットタイプ、7 セル（0.23 m2） A シリコーンゴム R55 S 一般グレード E PTFE C12 12インチ C ガスケットタイプ、9 セル（0.9 m2） D ガスケットタイプ、13 セル（1.2 m2） 12インチ ガスケットタイプ、7 セル（0.23 m2） シリコーンゴム R53 一般グレード C12 D A R53 S 注文例 　 注文コード：C12DAR53S 圧力損失（kPa）

3Mのろ過試験・評価ソリューションサポート ろ過技術センタ（FTC : Filtration Technical Center）を中心に各種ろ過に関するサポートを実施しています。 金属イオン分析につきましては（ICP-MS/ICP-MSMS）を導入しています。 テーブル試験 パイロットスケール試験 実ライン試験 定性試験 初期条件 実ラインろ過評価 ● ろ過精度確認 ● 流量特性 ● フィルター装着性確認 試 ● 耐薬品性試験 ● 初期ろ過精度確認 ● ろ過精度の確認 験 ● ろ過性能判定方法確認 ● ろ過時間の確認 ／ 経時変化 ● ろ過ライフの確認 確 定量試験 ● 流量の低下 ● メンテナンス時間 認 ● ろ過流量の目安 ● 差圧の上昇 ● 交換サイクルの決定 項 ● ラフなライフ予測 ● ろ過精度の変化 目 ● プレフィルターの検討 ● ライフ予測 ● 耐薬品性の確認 ● プレフィルターの確認 実液での小規模スクリーニング試験 バイパスライン試験 量産設備での製造トライ 評 価 ス ケ ー ル 3M Filtration Technical Centerでの試験 評価キット貸出 ※ 評価用貸出（お客様にて試験）ハウジングの準備があります。詳細は弊社営業担当までご相談ください。 お問い合わせについて 評価用サンプルのご提供、ハウジングテスト機の貸出実施中！ オンラインでの製品説明の実施や弊社での分析サポートを実施しておりますのでお気軽にお問い合わせください。 右記2次元バーコードを読取頂き、問い合わせフォーム メールで問合せを より問い合わせをお願いします。 ご希望の場合 https://go.3m.com/filter-inquiry ご使用にあたっての注意事項 3M™ Metal Ion Purifie（r 3M™金属イオン除去フィルター）は、リソグラフィケミカル用溶剤や高純度樹脂でのご使用を想定しています。飲用水、飲食料、医薬品の用途には使用しないでください。 本製品の構成材料と化学的に適合しない用途には使用しないでください。硝酸などの強力な酸化剤は、特定の状況下で、イオン交換樹脂と反応する可能性があります。わずかなイオン交換樹脂の分解から激しい発熱反応（爆発）にいたるまでの事象が想定 されています。 3M™ Metal Ion Purifie（r 3M™金属イオン除去フィルター）は、微細粒子除去用のろ過材として機能するように設計されていません。本フィルターは、意図された用途に適したメンブレンフィルターの上流側に設置する必要があります。 保証、有限補償、免責事項：該当する3M製品パッケージまたは製品文書（補償内容）に異なった記載がない限り、各3M製品は、製品出荷時において当該製品の仕様を満たしているものであることを保証します。3Mは、商品適格性、特定目的適合性および 取引上の取り扱い、習慣外、使用以外で生じたものを含むがそれに限定されない、上記以外のなんらの保証、条件設定を明示的、黙示的を問わず行わないものとします。3M製品が上記保証に準拠していない場合は、3Mの選択により、当該製品の交換ま たは製品購入価格の返金のいずれかにてのみ対応させていただきます。 3Mの保証責任範囲：上記に規定された補償を除き、また法律で禁止されている範囲を超える場合を除き、3Mは、直接的、間接的、特別的、付随的、派生的を問わず、また保証、契約、過失または厳格責任を含む法理論にかかわらず、3M製品から生じる、ま たはそれに関連して生じるいかなる損失または損害（利益または機会損失を含むが、それに限定されない）にも責任を負いません。 各種数値は参考値であり、保証値ではありません。仕様及び外観は、予告なく変更されることがありますのでご了承ください。本書に記載してある事項、技術上のデータ並びに推奨は、すべて当社の信頼している実験に基づいていますが、その正確性若しく は完全性について保証するものではありません。使用者は使用に先立って製品が自己の用途に適合するか否かを判断し、それに伴う危険と責任のすべてを負うものとします。売主及び製造者の義務は、不良であることが証明された製品を 取り替えること に限定され、それ以外の責任は負いません。本書に記載されていない事項若しくは推奨は、売主及び製造者の役員が署名した契約書によらない限り、当社は責任を負いません。 3M、Zeta Plus は、3M 社の商標です。 カスタマーコールセンター 製品のお問い合わせはナビダイヤルで フィルター製品事業部 Please Recycle. Printed in Japan. © 3M 2022. All Rights Reserved. 0570-011-211 https://www.3mcompany.jp/filter/ CUN-E26-A(1222) 9:00～17:00 ／月～金（土日祝年末年始は除く）