PHT株式会社のカタログ一覧

シリコンウェーハ バッチ式自動洗浄装置

半導体洗浄装置とは、半導体製造工程の1つである洗浄工程に用いられる装置の総称です。

洗浄工程は半導体製造工程全体の30〜40％を占める重要な工程です。高温処理工程や薄膜形成工程の前に十分に汚れを除去する前処理としての洗浄と、酸化膜・薄膜を削るエッチング工程の後にレジスト残滓物などを除去する後工程としての洗浄があります。 半導体洗浄...

EFEM・ソータ EFEM・Sorter

高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現

■概要 高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。 ■特徴 ・アライナを1台・2台搭載可能、高スルー...

ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）

PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世...

ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンロ...