PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトップ企業として世界に活躍いたします。
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボットでアンローダ部のカセットに1枚毎に収納します。収納は、カセット (25枚入) の上段～又は下段からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。OHT搬送に対応しております。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | ウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機） |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | PHT株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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PHT株式会社（英文名︓PHT Inc.）
〒115-0045 東京都北区赤羽2-69-2千秀ビル6F
TEL:03-6751-7153 FAX:03-6761-8935
E-Mail:info@pht.co.jp
https://www.pht.co.jp
ウェーハ自動剥離装置
PWD2020
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ウェーハ自動剥離装置 PWD2020
概要
ワイヤーソー（スライス）後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投
入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全
自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。
剥離は、熱風加熱方式で、１枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。２流体
高圧洗浄～スクラブ洗浄～リンス洗浄～吸水ローラ乾燥～スリットノズル乾燥後、水平多関節ロボッ
トでアンローダ部のカセットに１枚毎に収納します。収納は、カセット（25枚入）の上段～又は下段
からの選択ができます。収納カセットは、最大6個です。ＯＨＴ搬送に対応しております。
特長
• 独自の制御によるスライド機構。
• 困難だったウェーハー剥離後の洗浄を自動化。
• ワイヤーソーで切断したウェーハをビームから剥離後に枚葉で洗浄し、カセットに収納するまでを全自
動でおこないます。
• 低ランニングコストを実現。
• ご使用のインゴットリフターに合わせた設計可能。
• オプションにより、ローダーIDリーダー追加可能。
• オプションにより、アンローダーキャリア部にRFID機能追加可能。
導入事例
手動での剥離を自動化したいウェーハの情報を管理したい
型式 ウェーハ自動剥離装置 PWD2010 ウェーハ自動剥離装置 PWD2020
バージョン Type0 Type1
対応サイズ φ4～8″ φ12″
収納 カセット（25枚入）
収納カセット 最大6個（検討可能でございます）
プレート治具 ＮＴＣ製 ・ ＭＢ製
駆動方式 モーター駆動（サーボ）
安全機構 カセット有無、ウェーハ有無、過負荷検知、異常警報、非常停止
電源 AC200V, 100A
装置重量 約5,000kg
オプション ローダー部IDリーダー、アンローダー部RFID、ウェーハ反転、複数カセットへの収納、エリアセンサーなど