高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現
■概要
高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承します。
■特徴
・アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
・様々ななバリエーション、カスタム対応
・200mm/300mm兼用可能
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このカタログについて
| ドキュメント名 | EFEM・ソータ EFEM・Sorter |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.4Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | PHT株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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PHT株式会社（英文名︓PHT Inc.）
〒115-0045 東京都北区赤羽2-69-2千秀ビル6F
TEL:03-6751-7153 FAX:03-6761-8935
E-Mail:info@pht.co.jp
https://www.pht.co.jp
EFEM・ソータ
EFEM・Sorter
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EFEM・ソータ EFEM・Sorter
概要
高性能ACサーボモータを搭載、余裕の可搬重量で高速搬送を実現します。ロボット、ロードポート
、ハンドの好適配置が可能です。過酷な環境で稼動している20年以上以上のロボット技術を継承
します。
型式 TYK2102-2 TYK2102-3
ポート数 2ポート 3ポート
搬送対象 300mmウェーハ 径︓Φ300±0.2mm
厚み︓775μm
キャリア 300mm FOUP 25段(SEMI E47.1)
300mm FOSB 25 段(SEMI M31)
電源電圧 単相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
消費電流 4kVA (20A/200VAC) FFUを含む
真空（元圧） -80kPa～-90kPa
真空（流量） 40L/min 50L/min
正圧（元圧） 0.6MPa～0.7MPa
正圧（流量） 20L/min 30L/min
EMO接点出力 2系統（ドライ接点）
インターロック 入力8点/出力8点(絶縁I/O)
特長
• アライナを1台・2台搭載可能、高スループットが可能
• 様々ななバリエーション、カスタム対応
• 200mm/300mm兼用可能