コントロールゲートバルブの製品概要
優れた圧力制御能力を持っているコントロールゲートバルブ
コンパクトデザイン、極めて短い制御応答時間が特長。
この製品の利用用途
SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。
コントロールゲートバルブの関連ドキュメント
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優れた圧力制御能力を持っているコントロールゲートバルブ
コンパクトデザイン、極めて短い制御応答時間が特長。
この製品の利用用途
SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用バルブ。特にスパッタ・エッチングプロセスに最適。
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