コントロールゲートバルブ　SERIES 64.2

SERIES 64.2 コントロールゲートバルブ SEMI、FPD、産業分野の圧力制御および真空封止用 バルブ。特にスパッタ・エッチングプロセスに最適 技術データ サイズ DN 63 – 400 mm (2 ½“ – 16“) アクチュエータ 搭載型コントローラ ボディ材質 ステンレススチール 軸シール 回転軸シール 標準フランジ ISO-F, CF-F, ASA-LP / ASA, JIS シール技術 VATLOCK リーク量1) バルブボディ < 1 × 10-9 mbar ls-1 バルブシート 使用圧力範囲1) DN 63 – 200 1 × 10-8 mbar ～2 bar (abs) – 優 れた圧力制御能力 DN 250 – 400 1 × 10-8 mbar – リミットスイッチ付き ～1.2 bar (abs) – サービスポート装備 ゲートにかけ得る バルブ閉の状態：許容最大差圧 DN 63 – 200 ≤ 2 bar （P C 接続用またはサービス BOX DN 250 – 400 ≤ 1.2 bar 接続用） 開/閉動作中 ≤ 30 mbar 第1回サービスまでの 圧力コントロール 百万回 サイクル数2) – 閉/開 200 000 取付け方向 DN 63 – 350 自由3) DN 400 水平4) バルブの開閉位置表示 目視位置表示付き （機械的およびコントローラ にて） 許容温度 2) バルブボディ ≤ 150 °C コントローラ ≤50°C（≤35°Cを推奨） 1) バルブの加熱なしの条件下で。 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 3) バルブシート側をチャンバー側に取付ける。 4) 垂直取付け方向については「オプション」を参照下さい。 SERIES 64.2 コントロールゲートバルブ

SERIES 64.2 コントロールゲートバルブ オプション オプションによっては適用できないバルブ口径 材質 があります。また、組み合わせての適用が出来 バルブボディ、バルブゲート AISI 304 (1.4301) ないものがあります。 更に、オプション適用により技術データの数値 機構 AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301), AISI に変更を生じることがあります。 420 (1.4034), AISI 420D (1.4037),AISI 430 (1.4016) アクチュエータ － 6 通りの取付けが可能な搭載型コントローラ とステッピングモーター位置 シール －別置き圧力コントローラ ® － DN 400 の縦置き用アクチュエータ ボンネット、 ゲート、 軸シール FKM (Viton ) ( クローズ動作時間が長くなり、 サイクルライフが減少します。) －適応型アルゴリズム バルブ －お客様指定のフランジ、水冷機構あり / なし －標準以外のシール材料 －中間排気ポート付き回転軸シール Functional principle 1 3 7 6 8 CLOSED 2 5 4 OPEN 1 Gate 6 Crank bolt バルブプレートはバルブ開口のコンダクタンスを可変させる絞り要素とし 2 Counter-plate 7 Gate seal て動作します。バルブ本体と一体化されたコントローラは、設定圧力を実 3 Leaf springs 8 Actuator 現するために必要なプレートの開度を計算します。また、エンコーダがス 4 Ball pairs テッピングモーターの位置をモニターしており、高速で正確な圧力制御を 5 Ball detents バルブシート側 実現しております。VATLOCK 機構によりリークタイトな真空遮断が実現 されます。 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com