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PARTICLE-FREEゲートバルブ

パーティクル発生が極小で低振動のゲートバルブ

PARTICLE-FREEゲートバルブの製品概要

パーティクル発生が極小で低振動のゲートバルブ

低ショック、真空部と機構の隔離により、パーティクル発生が少ない。

この製品の利用用途

パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用

PARTICLE-FREEゲートバルブの関連ドキュメント

製品カタログ

PARTICLE-FREEゲートバルブ SERIES 15.0/15.1/15.2 (1.1 MB | 日本語)

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PARTICLE-FREEゲートバルブの詳細情報

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