PARTICLE-FREEゲートバルブ　SERIES 15.0/15.1/15.2

SERIES 15.0 / 15.1 / 15.2 PARTICLE-FREE ゲートバルブ 15.0 真空/15.1 高真空/15.2 超高真空の真空封止用バルブ パーティクル発生が極小、低振動を必要とする真空装置用 特長 サイズ DN 63 – 250 mm (2½“ – 10“) アクチュエータ 圧空作動式：複動シリンダー ボディ材質 15.0/15.1：アルミニウム、15.2：ステンレススチール 軸シール 15.0：Oリング軸シール、15.1 / 15.2：ベローズ 標準フランジ 15.0 / 15.1: ISO-F, ASA-LP, JIS 15.2: ISO-F, CF-F, ASA-LP, JIS シール技術 MONOVAT（VATカタログ参照） 技術データ リーク量 バルブボディ 15.0 / 15.1 < 1 · 10-9 mbar ls-1 15.2 < 5 · 10-10 mbar ls-1 バルブシート < 1 · 10-9 mbar ls-1 使用圧力範囲 15.0 1 · 10-7 mbar～1 bar (abs) 15.2: DN 63 15.2: DN 160 15.1 1 · 10-8 mbar～1 bar (abs) 15.2 1 · 10-10 mbar～1 bar (abs) 許容最大差圧 ゲートにかけ得る ≤ 1.2 bar バルブを開けるとき ≤ 30 mbar 第1回サービスまで 500 000 のサイクル数1) – シ ョックが極小 許容温度2) バルブボディ 15.0 / 15.1 ≤ 120 °C 3) – パーティクル発生が少ない 15.2: DN 63 – 200 ≤250°C (バルブ開)/≤200°C (バルブ閉) – 真 空部と機構は隔離 15.2: DN 250 ≤ 120 °C 3) – Vulcanizedゲートシール アクチュエータ 15.0 / 15.1 ≤ 100 °C （VATカタログ参照） 15.2: DN 63 – 160 ≤ 200 °C 15.2: DN 200 – 250 ≤ 100 °C 3) 電磁弁 ≤ 50 °C リミットスイッチ ≤ 80 °C 加熱および冷却速度 15.0 / 15.1 ≤ 30 °C h-1 15.2 ≤ 50 °C h-1 材質 バルブボディ 15.0 / 15.1 EN-AW-6082 (3.2315) 15.2 AISI 304 (1.4301) ゲート 15.0 / 15.1 EN-AW-6082 (3.2315) 15.2: DN 63 – 200 AISI 304 (1.4301) 15.2: DN 250 EN-AW-6082 (3.2315) ベローズ AISI 633 (AM350) 次頁に続く 1) より長いサイクル数についてはお問い合わせ下さい。 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 3) より高い温度については、お問い合わせ下さい。 SERIES 15.0 / 15.1 / 15.2 PARTICLE-FREE ゲートバルブ

アクチュエータ SERIES 15.0 / 15.1 / 15.2 PARTICLE-FREE ゲートバルブ オプション 技術データ アクチュエータ シール ボンネット 15.0 / 15.1 FKM (Viton®) －インパルス電磁弁： 15.2 メタル 停電時、バルブの最終位置を保持 ゲート FKM (Viton®) －別置き用電磁弁付き －2 重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位置 軸シール ボンネット 15.0 リング軸シール に2つのリミットスイッチ付き） 15.1 / 15.2 ベローズ －耐熱リミットスイッチ： 取付け方向 自由 圧 空アクチュエータの最高ベークアウト温度 140°C 電磁弁 24 V DC, 5.4 W（その他はお問い合わせ下さい） バルブ リミットスイッチ：接点 電圧 ≤ 250 V AC ≤ 50 V DC －お客様指定のフランジ 容量 電流 ≤ 2 A ≤ 1.2 A －標準以外のシール材 －ポ ート付き（粗引き（バイパス）、ベント、 バルブの開閉位置表示 機械的な目視位置表示付き 排気またはゲージ用） コンダクタンス（分子流） DN 63 480 ls-1 － 特殊バルブゲート：各種金属箔・窓の取付け A寸法とフランジタイプに DN 100 1 700 ls-1 に対応。 よる DN 160 6 000 ls-1 DN 200 12 000 ls-1 DN 250 19 400 ls-1 作動圧力範囲 DN 63 – 200 4 – 7 bar / 58 – 102 psi min. - . max. overpressure DN 250 5 – 7 bar / 73 – 102 psi 圧空アクチュエータの容量 DN 63 0.22 l / 0.008 ft3 DN 100 0.32 l / 0.011 ft3 DN 160 0.46 l / 0.016 ft3 DN 200 1.08 l / 0.038 ft3 DN 250 2.10 l / 0.074 ft3 開閉時間 DN 63 1.50 s DN 100 2.80 s DN 160 3.10 s DN 200 6 s DN 250 7 s Functional principle 3 2 1 5 4 1 Valve body 2 Gate 3 Gate seal 4 Bonnet seal 5 Bellows バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com