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均等排気バルブ

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

均等排気バルブの製品概要

均等なガスフローで高度なプロセスに最適

パーティクルフリーな動作で均等排気を可能に。卓越した圧力制御の実績あり。

この製品の利用用途

SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。

均等排気バルブの詳細情報

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