VAT メーカー公式情報
均等なガスフローで高度なプロセスに最適
パーティクルフリーな動作で均等排気を可能に。卓越した圧力制御の実績あり。
この製品の利用用途
SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの圧力制御および真空封止用バルブ。高度なエッチングプロセスに最適。
圧力制御・真空封止用 均等排気バルブ SERIES 67.0 (1.1 MB | 日本語)