圧力制御・真空封止用　均等排気バルブ　SERIES 67.0

SERIES 67.0 均等排気バルブ SEMI/FPDプロセスにおけるダウンストリームの 圧力制御および真空封止用バルブ。 高度なエッチングプロセスに最適。 特長 サイズ DN 250 – 450 mm (10“ – 18“) アクチュエータ 2つのステッピングモーターを同期、 フィードバック制御を実施 アルミニウム ボディ材質 アルミニウムまたは硬質アルマイト加工 アルミニウム 軸シール ベローズ フランジ ポンプ側：ISO-F, JIS チャンバー側：顧客仕様による 技術データ リーク量：バルブボディ 1) 　アルミニウム < 1 · 10-9 mbar ls-1 　硬質アルマイト加工アルミニウム < 1 · 10-5 mbar ls-1 リーク量：バルブシート 1) 　アルミニウム < 1 · 10-9 mbar ls-1 　硬質アルマイト加工アルミニウム < 1 · 10-4 mbar ls-1 硬質アルマイト加工アルミニウム 使用圧力範囲 1) 　アルミニウム < 1 · 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) 　硬質アルマイト加工アルミニウム < 1 · 10-6 mbar to 1.2 bar (abs) プレートにかけ得る許容最大差圧 　チャンバー側→プレート 1200 mbar（バルブ閉） 　ポンプ側→プレート 10 mbar 第一回サービスまでのサイクル数 2) 　圧力制御 2 million 　真空封止 200 000 許容温度 2) 　バルブボディ ≤ 120 °C – パ ーティクルフリーな動作で均等 　アクチュエータ：周囲温度 max. 50 °C (≤ 35 °C 推奨) 排気を可能にする 材質　フランジ、プレート EN AW-6082 (3.2315) or AW-6061 (3.3211) – 卓 越した圧力制御の実績 　アクチュエータシャフト AISI 316L (1.4404) – サ ービスポート装備（USBでPC 　ベローズ AISI 633 (AM 350) とControl Performance Analyzer シール：フランジ、プレート、 FKM (e. g. Viton ®) アクチュエータ (CPA) ソフトウェアの接続用） 軸シール ベローズ 取付け方向 アクチュエータ下向 - 次項に続く - 1) バルブの加熱なしの条件下で。 2) 最高温度はバルブ動作条件およびシール材により変わる。 SERIES 67.0 均等排気バルブ

SERIES 67.0 均等排気バルブ オプション 技術データ － その他バルブ口径 制御可能なミニマムコンダクタンス （分子流） － お客様指定のボディ 　DN 250 0.25 ls-1 － お客様指定のフランジ 　DN 320 0.32 ls-1 － 表面処理　例：硬質アルマイト加工 　DN 350 0.35 ls-1 － 標準以外のシール材料 　DN 400 0.4 ls-1 － フランジおよび/またはプレート用ヒーター 　DN 450 on request バルブ動作中にかけ得る許容最大差圧 　DN 250 – 400 30 mbar 　DN 450 on request 最大ストローク数 　DN 250 – 400 130 mm 　DN 450 on request ストローク100mm当たりの動作時間 　DN 250 – 400 1 s 　DN 450 on request クローズ動作時間：開→閉 　DN 250 – 400 1 s 　DN 450 on request オープン動作時間：閉→開 　DN 250 – 400 1 s 　DN 450 on request Functional principle 1 2 3 4 5 6 7 1 Flange seal 2 Plate screw 3 Plate 4 Plate seal 5 Flange 6 Actuator shaft 7 Actuator with bellows feedthrough バルブシート側 詳しくは弊社にお問い合わせください WWW.VATVALVE.COM VAT株式会社 （横浜本社） 神奈川県横浜市神奈川区金港町2番地6 横浜プラザビル7F TEL: 045-440-0340 E-mail: sales01@vatvalve.com （西日本事業所） 兵庫県姫路市北条宮の町113 TEL: 050-3819-9571 E-mail: sales01@vatvalve.com