独自エレメントで圧損なく微粉体を除去!
CVD/インプラ/エッチング等のプロセスによって生成される微細な反応生成物
一般的なフィルター等では通過してしまうような細かい粉体でも
弊社独自のエレメント技術により繊維に吸着させることで除去します。
各種半導体装置・除害装置の故障や配管閉塞から守り
設備稼働率向上・生産性アップに寄与する製品です。
Main Usage
CVD/エッチング/インプラ/FPD/その他各種、微細粉体の発生箇所
| Model Image | Model Number | Model Name / Description | Best Price | Supplier |
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TRAPPACK | TU-250 (See model) | - | Seller is not registered |
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TRAPPACK - Seller is not registered |
| Catalog | Download |
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| Manufacturer Brand | TAISEI GIKEN |
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