真空ポンプおよび配管＆除害保護用　粉体除去装置　ニュートラパック

暉TR川9PA血と 1 What is NEW TRAPPACK eN尼"TRAPPACIの特長 Features of NEW TRAPPACK ニュートラパックは半導体、液晶製造装置用の排気ガス中の NEW TRAPPACK is Powder Trap to remove particles 0高性能で大量の粉体を除去します。 0 Removes large amounts of powder at high performance. 反応物（粉体）を除去するパウダートラップです。 (reaction product) in the exhaust gas from CVD devices of ◎コンダクタンスに影響を与えず、長期間使用できる。 ◎By not harming conductance, it maintains long life.(COIL （うずエレメント） Element) 本機は新機構のうず巻吸着方式の採用により、コンダクタン semi-conductor and LCD. This machine features the new coiled absorption system which removes large amount of ◎Removes sub-micron particles at a low conductance スに影響を与えずに微粉体を大量に除去します。 fine particles by not harming conductance. Further the ®サブミクロンの微粉体を低圧損で除去します。 loss.(TRAPPACK Element) 加えてトラパックエレメントのマグネット吸着効果により低圧 magnetic absorption effect of TRAPPACK Element results in （トラパックエレメント） 8 The ability to trap powder is tremendous through its 損で完全に粉体をシャットアウトします。 perfect removal of powder at a low conductance loss. 0エレメントはマグネット吸着効果により、粉体の捕集 magnetic absorptive effect. 力は絶大です。 ◎Models available for both Vacuum side and Exhaust side of ◎機種が豊富で、真空系・排気系共に使用できる。 v.P. m 麗 とi -← - 一 一 一 〇 ｀ ニ 血 - 一 一 一 函 F』-'9 APPACC'tの種 Kinds of NEW TRAPPACK ニュートラパックはうず巻専用タイプ (A) とトラパックエレメ NEW TRAPPACK has three versions, (A) COIL only type, (B) ント (B) とのコンビネーションタイプ (C)の 3通りがあります。 TRAPPACK Element type and (C) Combination type. c;- 、ジ 。 取付位置 役 割 TYPE Installed at: Function 一 一 一 一 排 気 微粉体の除去 Element （真空） 二次処理用 Exhaust Removal of fine particles. トラパックエレメント うずエレメント (Yacuum) Secondary treatment. TRAPPACK Element COIL日ement (B)Element Type 真 空 大量粉体の除去 Coil 排 気 一次処理用 Vacuum Removal of large amount Exhaus powder. First treatment 排 気 粉体を大量かつ (C)Combination Type Combination （頁空） 高性能で除去する Exhaust Removal of powder at large volume 0,/acuum) and high performance KL-G 35/130 IL-G 50/250 COIL TYPE (A)Coil Type

l.士- I 取付フロ 一 FIowchart o f nl st a|lation g図目 うずエレメントとトラパックエレメントはエレメント自身が In COIL Element and TRA PPACK Element, the element itself マグネットと同じ性質を持っています。したがって微粉体が has properties similar to a magnet. エレメントの表面及び内部の繊維に吸着されます。 Thus fine particles are adsorbed on the surface of Element. CVD 除害装置 Etch ing トラパックエレメントの D isposal un it 真空系 排気系 使用実績 Vacuum side Exhaust side Results of TRAPPACK Element NEW TRAPPACKの取付例►►►► Installation of NEW TRAPPACK (TU-65LMJ Type) P-CVDの実績 ALエッチングの実績 （半導体） （半導体） マグネットファイバーの拡大写真 Result of P-CVD Result of AL Etching Enlarged photo of magnet Element fiber (Semi-conductor) (Semi- conductor) 1 機種の選定 Mode|selec t厄凸！ ●、 機種の選定については粉（反応生成物）の性質、粒子径 Model selection is based on the nature of particles(reaction や発生量により異なります。装置の種類や取付位置に product), powder sizes and powder volume. Selection is よっても厳選しなければなりません。 also dependent on the kind of Device and installation site . うずエレメントの 使用実績 Results of NEW TRAPPACK 取付位置 トラブルの内容 NEW TRAPPACK 取付位置 Installation site COIL Element Trouble details Installation site 大Large 中Medium 小Small 頁空系 TU-105LM TU-85LM TU-50LM P-CVD 真空ポンプの故障 の実績 P-CVDの実績 ALエッチングの実績 （半導体） （液晶） （液晶） V.P troubles Vacuum side TU-95LM TU-65LM TU-25LM Result of P-CVD Result of P-CVD Result of AL Etching (Semi- conductor) (Liquid Crystal) (Liquid Crystal) 排気配管の閉塞 Blockage of Exhaust piping TU-6100 TU-4100 TU-1500 排気系 Exhaust side 除害装置の短命 I TU-5100 TU-3100 TU-1100 トラパックのタイプ Typ eo f TRAPPACK Short life of Disposal unit こ153 対象トラップの性能検証と装置の粉体発生量を考慮の上 、 各種トラップの短命 真空系 排気系 選定いたします。 COIL TYPE MODEL COMBINATION TYPE MODEL Short life of traps Vacuum side Exhaust side Upon checking the traps and considering the powder volume, the model is selected. OUTLET OUTLET | CVDの粉体粒子分布 Grani distributionso f CVD COOLING COOLING 1・ロ目 WATER WATER RETURN RETURN 本グラフはTFT LCD P-CVDの粉体の スムージングレベル：0 分布関致：ロジンラムラー データシフト： 0 I I 111111 I I II 屈折率＝1.60-0.101 I I 111111 I I .. 粒子分布図です。1µm以下の微粉体が 03(% メディアン径：2.185 モー ド径：5.623 ) Q割 % 10 「 I I 111111 I I 0 》 " _ ー I IlーI I_" I ー I 11I1 ー I ー II •ー _ I I 111111 I I 多く確認できます。 90 ――J―LJ uよI ― IJ JLI一Jー ――J―LJ ーI I _" u ― LT―I 凶, I I 111111 1 1 ー ー I ll ー ー I いI1 ー ー IIーI ー 1 ー I I 111111 I I TRAPPACK Element 80 ――—ー―一ー-I 11-一ーI ― I-_ -11I1一 I一1 -IIーーI――一ー―一ー—ー I I -" _" ― ー一一ー―I 閏 _ ー l 11ー ー ー I 8 11I1 ー 1 ー 1ー1I ー ー _ I I 111111 I I The graph shows the grain distribution ――ー1―ーー-' 11-＿ーI ― L111ー一 I_ ― ー一一ー―I 闘 I I 111111 1 1 " of TFT LCD P-CVD I 1 powder. You can I I-" " ー11I1 一1 ＿ー ー ＿ -1ー一1I――I170 ―一ーー_ ー ー i 11ー ー ー I ー ー I 1 IーーI I ー ー 7 ー ー ロII ー II" I ー I I1 ー I 1 IーーI I ー I I 111&1 I I I I ⇒ ー see the 60 →――7―r TI ― IT ― L「― rI 9＿1 Tr ――r,―rportion of fine particles 7- I II" n 狐6 相 ー ー I I ー 11ー1 I ー Iー1I I ー 対 smaller than 1 micron. 50 ·――T―ト +I ― ご I→ _ ―ー I I "H サ 1 +一1 +ト ――T―トT 粒 - 5 ー ー 1 I 1 11ー1ニ 1 ー 1ー1ー I ー ｀閏 子 J1＿ J＿1 LL ―＿→'_L7 量 40 ·――JーL よI ― I - LT― 4 INLET INLET.. I ー 1I I ー ー ー III1 1 ー 1 Iー_1 ー I ー II 3 � .. 0 ――一ー一一ー ー1I - LLII_ ― ーーー―ー＿り I1 1 ー＿ー ーI1一11―ー一ー_Lーー笠― ー I -"ー ー ー " ー ー 1-11I1- ー ー 11ーー ー I ー 3 ――—ー＿一ー -11 1 I " ―- lー― 且 I9 1＿1 -11一ー120 ―一ーー_ーI一ー COOLING COIL Element 閏― COOLING _ ー r 1 11I9[1'『 I1ー1 ー ー ー 2 _ 1_ II WATER I WATER 11I1 1 - I 悶 ―― ― ― r I n Lrー7 『 ー I 1 1_ 1 ー ー 10 I T＿ ,『 9 T ――r ,_ SUPPLY r7 1 SUPPLY ー 1 I I I ー ll 11I I 1 I11 ., ー ゜ 竺 0 0.01 0.05 0.1 0.5 5 10 50 100 5 11 。゚ 0 COIL Element 粒子径(µm)

▼NEW TRAPPACK 仕様NEWTRAPPACK specifications T タイプ 型 式 ハウジング径 容 量 エレメント ELEMEN 材 質 最高使用圧力 外形寸法 Type TRAPPACK P/# ゆmm) (�) うずエレメント トラパックエレメント (Mpa) (m/m) Housing dia. Volume Material COIL Element TRAPPACK Element Max Pressure Dimensions TU-6100 457 171 6100-6 KL SU S304 or 316L 0.3 □535XH1264 TU-5100 406 115 5100-6 KL II II □485XH1064 コンビ TU-4100 355 86 4100-6 KL “ II □440XH1064 ネーション型 II II Combination TU-3100 318 70 3100-5 IL 口400XH1013 Type TU-2100 267 48 2100-4 HL II 0.2 □370XH1013 TU-1500 267 32 1500-4 HL II II □370XH707 TU-1100 216 16 1100-2 HL II II ,P300XH500 TU-105LM 457 171 105-6 II 0.3 □535XH1264 TU-95LM 406 115 95-6 II II 口485XH1064 TU-85LM 355 86 85-6 II II 口440XH1064 TU-65LM 318 70 65-5 II II □400xH1013 うず巻専用型 TU-55LM 267 48 55-4 II COIL Type 02 □370XH1013 TU-50LM 267 32 50-4 II II □370XH707 TU-26LM 267 14 26-4 II II 4)330XH400 TU-25LM 267 18 25-4 II II <P330XH370 TU-20LM 216 8 20-3 II II t/J290XH290 （特記） ①外接形水冷ジャケット仕様はJの記号がつきます。 Remarks. External water cooling jacket spec is marked J TU-3100-NWSO水冷ジャケットなしWithout Water jacket -+ TU-31 OOJ-NW50水冷ジャケット付With Water jacket ②上記はNW40と50の場合の仕様となっておリます。NW80と100についてはお問合せ下さい。 The above specifications are for NW40 and NWSO For the NW80 and NW100,please apply separately. ▼トラパックエレメント仕様TRAPPACK Element specifications エレメント型式 エレメント種類 寸 法 用 途 処理精度 対象機 Element Type Element P/# Size (m/m) Uses Precision (µm) Applied m/c KL-130 KL Type KL-G35/130 ¢300XH260 TU-6100 KL-G50/250 TU-5100, TU-4100 NEW TRAPPACK マグネット吸着方式 トラパックエレメント I L-130 の二次処理用 （サブミクロン対応） TU-4100 TRAPPACK Element IL Type I L-250 </1230XH260 (100℃以下） I L-G50/250 2nd trap process Magnet absorptive type TU-3100 (less than 1 00 (for submicron sizes) °C) HL-130 HL Type HL-250 ¢180XH260 TU-2100 HL-G50/250 TU-1500, TU-1100 ►うずエレメント仕様 ① ② ③ COIL Elemen 型 式 エレメント記号 接続口径 エレメント記号 うずエレメントのうず数 ， エレメント記号 t specifications Type Element Code Joint bore Element Code Nos of coil 1 Element Code TU-6100 ASD-6100 NW25 B 3 I 3 TU-5100 ASD-5100 NW40 C 4 4 エレメント名称は記号によって表示されます。 TU-4100 ASD-4100 NW50 D 5 5 Element P/# is shown by the codes as follows. TU-3100 ASD-3100 NW80 E 6 6 TU-2100 ASD-2100 NW100 F 7 7 例） TU-1500 ASD-1500 トラッパクの型式 TU-3100 - NWSO(SCOIL) TU-1100 ASD-1100 N巳'V TRAPPACK Type TU-105LM ASD-105 l l l TU-95LM ASD-95 うずエレメントの型式 ASD-3100 - D - 5 TU-85LM ASD-85 COIL Element Type ① ② ③ TU-65LM ASD-65 TU-50LM ASD-50 J IS flange JIS TU-26LM ASD-26 ISO flange ISO TU-25LM ASD-25 1S040 1$040 TU-20LM ASD-20 1S0100 1S0100 ＊このカタログに掲載した製品は 、 性能向上のため予告なしに寸法及び仕様書を変更することがあります。 For improved performance 、 the spec�lcations stated in this catalogue are subject to changes. T9阜ISEI 大成技研株式会社 お問い合わせ AGENT http:// www.taiseigiken.com ■本 社 〒121-0062東京都足立区南花畑4-32-4 TEL: 03-3858-8701 / FAX: 03-3850-4810 E-mail : tokyo@taiseiglken.com ■関西支店 〒578-0911大阪府東大阪市中新開2-6-37 TEL:072-960-4801 / FAX:072-960-4802 E-mail: osaka@taiseigiken.com TAISEI GIKEN CO., LTD. ■Head office 4-32-4 Minami-Hanahata, Adachi-ku, Tokyo, Japan 121-0062 Tel:81-3-3858-8701 Fax:81-3-3850-481 O E-mail: tokyo@taiseigiken.com