テルモセラ・ジャパン-en Official Info
Series : nanoPVD-S10A 卓上型スパッタリング装置
高機能ハイパフォーマンス コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式卓上サイズスパッタリング装置
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高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置
● 到達圧力5 x 10-5Pa(*1x10-4Paまで最速30分!)
● スパッタ源 x 3:連続多層膜膜制御, 同時成膜
● 膜均一性±3%
● 多彩なオプション:上下・回転、ヒータ、磁性材用カソード、他
◉ nanoPVDは、最大スパッタ源3源+3系統(MFC制御)、RF/DC PSUの増設(最大2電源まで)連続多層膜・2源同時成膜(RF/DC、又はDC/DCのみ)、など多目的にお使い頂くことができます。
・絶縁膜
・導電性膜
・化合物、他
【主な特徴】
◉ 対応基板:2"(1〜3源)、もしくは4"(1源)
◉ 2"カソード x 最大3源
◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール
◉ MFC搭載高精度プロセス制御
◉ Arガス1系統(標準) + N2, O2 最大3系統まで増設
◉ USB端子付 Windows PCに接続し、最大1000layer, 50filmのレシピを作成・保存。PCでデータロギング。
◉ 他、多彩なオプションを用意
◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。
◉ ユーザの登録したフィルムレシピ、プロセス制御(真空引/ベント、成膜時間、出力/時間、MFC流量圧力自動制御、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調整など)を全自動運転(手動も可能)〜Windows PCでデータロギングができます。
【主な仕様】
・RF/DCマグネトロン方式
・2inchマグネトロンカソードx3源(標準1源)
・RF電源:150W 自動マッチング
・DC電源:850W
・対応基板サイズ2inch、4inch
・基板回転・上下昇降・加熱(500℃)オプション
・プロセスガス制御:MFC x 1(Ar標準、最大3系統増設:N2, O2)
・APC自動制御(キャパシタンスマノメータ オプション)
・水晶振動子膜厚モニタ
・シャッター
・寸法:804(W) x 570(D) x 600(H)mm
・重量:約70kg
・電源:200VAC 50.60Hz 15A
・チャンバーサイズ:Φ225(内径)x 250mm
・真空系:TMP + RP(ドライポンプ オプション)
Main Usage
大学・研究機関での真空薄膜実験、開発用途
・真空薄膜、電子基板デバイス用薄膜実験
・金属膜(Al, Au, Ag, Pt, Ti, *Ni, *Fe, Mo, Sn, etc..)
・絶縁膜 酸化膜 窒化膜(SiO2, ITO, TiN, MgO, HfO2, ZnO, etc.)
*磁性材料用高強度マグネットオプション
*2元同時成膜可能(DC + DC、又はDC + RFのみ)
2inchマグネトロンカソード x 最大3源
DC, RF, Pulse DC兼用 最大3元搭載可能
磁性材料用高強度マグネットパック(オプション)有り。
マスフローコントローラー x 最大3系統
最大3系統(Ar, O2, N2)
キャパシタンスマノメータで、PIDループ制御(APC制御)が可能
7inch タッチパネルディスプレー
バルブ開閉などの操作不要、全ての操作をタッチパネルで一元管理
nanoPVD-S10A製品動画
基板サイズ | Φ2inch、又はΦ4inch |
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カソード | Φ2inchマグネトロンカソード(RF, DC, PulseDC兼用) x 最大3源 |
スパッタ電源 | RF150W 自動マッチング付属 DC850W |
基板回転 | モーター駆動 回転速度20段階切替 |
基板加熱 | Max500℃ ランプ加熱ヒーターステージ(オプション) |
上下昇降 | 手動昇降 100mmストローク |
シャッター | 基板シャッター:Φ2inch用シングルブレード、Φ4inch用デュアルブレード |
真空系 | ロータリーポンプ + ターボ分子ポンプ ワイドレンジ真空系 キャパシタンスマノメーター(*オプション) |
成膜運転 | マニュアルモード オートモード:連続多層膜レシピ(最大20レイヤー、30レシピ登録) |
ガス系統 | 最大3系統マスフローコントローラー Ar, O2, N2 |
付属ソフトウエア | Windows PC接続用リモートソフトウエア「IntelliLink(インテリリンク)」 ⑴ システムライヴモニタリング(装置運転状態モニター) ・チャンバー圧力、MFC流量設定 ・膜厚表示、設定、校正 ・ステージ回転、加熱、シャッター開閉操作 ⑵ エラー解析 ⑶ レシピ作成・保存・アップロード ⑷ データロギング、CSVフォーマット出力→他端末でのデータ共有 ◉ 装置背面Eathernetポートに、付属のUSBケーブルにて接続します。 |
Manufacturer Brand | テルモセラ・ジャパン-en |
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Series Name | nanoPVD-S10A 卓上型スパッタリング装置 |
Sales Start Date | 01/04/2020 |
Category |