走査電子顕微鏡　JSM-IT210

Scientific / Metrology Instruments 走査電子顕微鏡 JSM-IT210

目視では黒い粉や粒に見える カーボンマイクロコイル（CMC）ですが、 SEMで拡大すると、 美しいらせん構造を観察できます。 見えると分かる。 見えると楽しい。 ミクロの世界へようこそ。 試料：カーボンマイクロコイル 加速電圧：3 kV　信号：二次電子 10 μm

先進SEMを、　あなたのラボに。 3 JSM-IT210

先進SEMを、　あなたのラボに。 Simple SEM ルーティンワークは、 おまかせ 試料交換ナビ Zeromag 試料を入れて、 光学像※1を拡大 迷わず観察 すれば、SEM像 観察 分析 データ管理 Live Analysis※2 SMILE VIEW TM Lab 観察中も常に元素分析 データを一元管理 ※1 光学像撮影にはステージナビゲーションシステム（ オプション） が必要です。 ※2 A (Analysis)、LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。 JSM-IT210 4

試料交換ナビ 試料を入れて、迷わず観察 観察 安全・簡単！ 試料交換ナビ 1 試料交換ナビに従って試料を挿入 2 真空排気時間を利用して観察準備 試料高さ測定スケール もう視野探しで迷わない ステージナビゲーション システム（SNS/SNSLS）※1,2 試料のカラー画像を取り込んで表示し ます。取り込んだ光学像は、SEMのス テージ座標と連動しています。SNSLSを 使用することで、サイズの大きい試料 の全景写真を撮影できます。 撮影範囲 SNS： 横70 mm以上 × 縦50 mm以上 SNSLS： 直径150 mm以上 試料：キーホルダー　SNSLSで撮影、Φ76 mmホルダーを使用。 5 JSM-IT210

真空排気完了後、 目的視野でフォーカスと 3 明るさが自動で調整 自動的に観察開始 されます。 チャンバー内を把握できる機能 チャンバースコープ（CS）※3 真横から試料位置を直接確認で きます。目視で確認できるので、 傾斜時も安心です。 WD 6 mm、10°傾斜時 ※1 ステージナビゲーションシステム（SNS） はオプションになります。 ※2 SNSLSはオプションになります。SNSと併用できます。 ※3 チャンバースコープ（CS） はオプションになります。 JSM-IT210 6

Zeromag 光学像を拡大すれば、SEM像 観察 Zeromagは、ホルダーグラフィックや光学像※とSEM像が連動する機能です。 複数の試料をホルダーにセットした場合や特定箇所を観察する場合の視野探しが容易になります。 試料：アブラゼミの翅 ×500 ×200 100 μm 7 JSM-IT210

×5,000 5 μm 加速電圧：10 kV　信号：二次電子 50 μm ※光学像撮影にはステージナビゲーションシステム（オプション）が必要です。 JSM-IT210 8

Live Analysis 観察中も常に元素分析※ 分析 Live Analysisは、常に特性X線スペクトルや元素マップを表示する機能です。 観察しながら、目的の元素を探すことができます。 切り替え 観察視野から検出されたスペクトルと、 簡単分析機能 自動定性の結果をライブ表示します。 3クリックで分析を開始できます。 反射電子像 Mg-K Al-K Zn-L 試料：アルミニウム合金　加速電圧：10 kV　倍率：×5,000 5 μm 9 JSM-IT210

Live Map 切り替え 観察視野の元素マップをライブ表示します。 ※ A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。 JSM-IT210 10

SMILE VIEWTM Lab データを一元管理 データ管理 SMILE VIEWTM Labは光学像・SEM像・分析結果を一元管理できるJEOL独自のソフトウェアです。 オフライン版※を利用して、装置の稼働率を上げることもできます。 マップ SEM像 光学像・SEM像・分析結果が 全て紐づいて保存されます。 光学像 測定後に再解析も可能です。 スペクトル すぐに報告書を作成 3 1 Word・PowerPointへ出力 レイアウトを選択 2 レイアウトに沿って 報告書を自動作成 ※オフラインデータ解析ソフトウェア（オプション）が必要です。 11 JSM-IT210

あのデータはどこ？　〈データ検索機能〉 データ名や日付、 データ種別を指定して 検索ができます。 このデータをもう一度解析！　〈再解析機能〉 取得したデータは、 いつでも 再解析可能です。 私はこのレイアウト！　〈ユーザーレイアウト機能〉 ユーザーオリジナルの レポートレイアウトを 作成できます。 JSM-IT210 12

多彩な自動測定 Simple SEM Simple SEMは、観察したい視野を設定するだけで、簡単に自動撮影を行える機能です。 Step 1 撮影条件を選択 登録した条件を 選ぶだけ Step 2 観察視野を設定 SEM像を見ながら 視野設定 試料：金 属部品に付着した 石膏と塩分 加速電圧：7 kV 信号：二次電子 倍率：×500 20 μm 連続撮影開始！ 倍率：×3,000 5 μm 倍率：×3,000 5 μm 13 JSM-IT210

モンタージュ機能 広領域を分割して自動撮影し、一枚の画像に繋ぎ合わせます。 10.5 mm 試料：石鉄隕石　加速電圧：15 kV　信号：反射電子　視野数：10×10　視野倍率：×100 2 mm JSM-IT210 14 7.87 mm

多彩な自動測定 粒子解析 対象となる粒子を自動認識し、粒径解析や元素分析を行います。SEM像からサイズ、アスペクト比等の粒子情報が得られ、 各粒子に対してEDS分析※を行うことにより、元素情報が得られます。 SNS画像から測定領域を設定 反射電子像から粒子を抽出 1 2 6.1 mm 粒子解析ソフトウェアの応用例 解析 ● 自動車部品の清浄度検査 試料：金属粒子　加速電圧：15 kV 50 μm 倍率：×300　信号：反射電子 ● 銃発射残渣（GSR）分析 ● 鉄鋼中の介在物検査 ● アスベスト調査　他 3 SEM像の輝度差から 粒子を検出します。 各粒子に対して 元素分析を行います。 50 μm 分析 分析 Energy [keV] Energy [keV] ※オプションになります。A (Analysis) / LA (Low Vacuum & Analysis) に適用されます。 15 JSM-IT210 Intensity [Counts] 6.1 mm Intensity [Counts]

測定結果の例 測定結果はExcelに出力できます。 ● SEM像 ● 粒子マップ 個数割合や ● 個数割合 ● 粒子の面積比率 面積比率のグラフが自動で ■ Cu particle 生成されます。例えば、Cuの ■ Ni particle 粒子数は多いですが、面積比 ■ Sn particle 率が低く、粒径は小さいと ■ Fe particle ■ Cr particle 考えられます。 ■ SnCu particle 測定された粒子の 詳細パラメーターを 参照できます。 ● 測定粒子表 表⽰粒⼦数 3粒⼦ 形状情報 定量値 No. ラベルNo. 粒⼦画像 分類名 最⼤弦⻑ (⽔平) 最⼤弦⻑ (垂直) フェレ⻑ (⽔平) フェレ⻑ (垂直) ⾯積 [µm²] 周囲⻑ [µm] 円形度 円相当径 [µm] 絶対最⼤⻑ [µm] 幅 [µm] アスペクト⽐ 最⼤径 [µm] 最⼩径 [µm] 平均径 [µm] 最⼤径幅 [µm] C [Mass%] O [Mass%] Na [Mass%] S [Mass%] Cr [Mass%] Fe [Mass%] Ni [Mass%] Cu [Mass%] Ag [Mass%] Sn [Mass%] Th [Mass%] [µm] [µm] [µm] [µm] 1 Stub1-231-7 Cr particle 10104.514 720.833 0.244 113.426 227.734 71.247 3.196 53.750 210.833 80.000 222.917 210.554 50.833 99.453 50.980 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 2 Stub1-68-6 Fe particle 12388.021 1108.333 0.127 125.590 212.636 98.042 2.169 107.500 183.750 130.000 207.083 208.167 59.167 117.949 62.990 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 3 Stub1-225-23 Fe particle 7895.660 878.333 0.129 100.265 200.250 88.438 2.264 95.833 100.417 121.667 163.333 194.435 53.202 92.168 84.734 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 4 Stub1-282-2 Fe particle 7971.701 832.500 0.145 100.747 186.906 77.242 2.420 152.917 82.083 172.083 108.750 180.850 43.300 91.965 46.415 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 5 Stub1-53-1 Cr particle 10470.660 630.833 0.331 115.463 164.836 98.828 1.668 122.917 105.417 145.000 127.083 148.164 88.596 112.848 89.701 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 6 Stub1-285-9 Cr particle 6030.035 567.500 0.235 87.622 149.907 59.080 2.537 63.333 94.583 90.417 134.583 139.813 54.378 82.717 56.627 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 7 Stub1-191-25 Ni particle 3033.333 907.500 0.046 62.146 106.670 66.821 1.596 55.833 78.333 83.333 87.500 97.497 38.302 62.022 43.492 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 8 Stub1-41-19 Ni 4046.528 1037.500 0.047 71.779 93.073 81.894 1.137 78.333 JSM-IT2851.000 16 82.917 89.167 91.552 59.132 73.632 78.022 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 9 Stub1-222-22 Ni 2084.375 722.500 0.050 51.516 90.340 54.770 1.649 50.833 72.917 64.583 84.167 85.238 21.666 49.359 26.609 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 10 Stub1-280-10 Sn 1482.639 208.333 0.429 43.448 58.038 35.181 1.650 46.250 39.167 51.667 45.417 56.126 33.074 42.845 33.074 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 11 Stub1-28-11 Sn 981.250 177.500 0.391 35.346 57.990 24.492 2.368 45.417 25.833 54.583 33.750 56.826 19.393 32.926 19.393 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 12 Stub1-246-10 Sn 1026.042 195.000 0.339 36.144 53.945 25.014 2.157 39.167 29.167 46.250 42.917 53.218 5.361 32.244 5.361 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 13 Stub1-272-15 Cu 498.611 172.500 0.211 25.196 38.083 23.333 1.632 24.167 27.917 31.667 29.167 36.473 16.537 24.816 19.641 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 14 Stub1-17-29 SnCu 575.000 115.000 0.546 27.058 31.413 27.190 1.155 29.167 26.667 30.000 26.667 30.668 26.250 27.012 26.967 0.000 0.000 0.000 0.000 15.906 84.094 15 Stub1-143-28 SnCu 520.660 110.833 0.533 25.747 28.593 25.983 1.100 25.833 27.083 25.833 27.500 27.189 25.256 25.715 25.490 0.000 0.000 0.000 0.000 32.116 11.162 56.722 16 Stub1-279-31 SnCu 517.882 102.500 0.619 25.679 26.680 25.489 1.047 25.417 25.833 25.417 25.833 26.339 25.062 25.633 25.445 0.000 0.000 0.000 0.000 6.258 93.742 17 Stub1-170-17 Cu 190.104 139.167 0.123 15.558 25.173 17.264 1.458 15.000 21.250 16.667 22.917 23.903 10.775 15.578 13.079 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 18 Stub1-186-24 Cu 370.660 87.500 0.608 21.724 22.746 21.494 1.058 22.083 21.667 22.083 21.667 22.539 20.999 21.744 21.197 0.000 0.000 0.000 0.000 100.000 19 Stub1-170-4 355.903 85.833 0.607 21.287 21.874 21.483 1.018 21.250 21.667 21.250 21.667 21.667 21.047 21.299 21.250 0.000 0.000 0.000 0.000 20 Stub1-289-25 93.750 50.000 0.471 10.925 17.960 7.532 2.385 17.917 7.083 17.917 7.083 15.833 7.083 10.307 7.083 0.000 0.000 0.000 0.000 73.903 26.097 21 Stub1-180-38 114.410 62.500 0.368 12.069 15.287 13.067 1.170 12.083 14.583 12.500 15.000 14.869 8.849 11.835 12.745 0.000 0.000 0.000 0.000

自動測定を強力に支える機能 オート機能で誰でも鮮明な画像撮影を実現 オートビームアライメント（ABA） 鮮明な像撮影には対物絞りの適切な調整が必要です。従来機では、対物絞りの調整を機械的に行っていました。 JSM-IT210では、それに替わるオートビームアライメントを備え、自動調整が可能になります。 ビーム軸が合っていない場合 自動調整 1 μm 試料：銀粒子　加速電圧：10 kV　倍率：×10,000　信号：二次電子 1 μm オートフォーカス（AF）/ スティグマ（AS） 観察時に必ず調整するのがフォーカス・スティグマ（非点）です。 JSM-IT210では、これらの操作を全て自動で行えます。 フォーカス・スティグマが合っていない場合 自動調整 1 μm 試料：銀粒子　加速電圧：10 kV　倍率：×10,000　信号：二次電子 1 μm Auto! 17 JSM-IT210

位置精度の高いステージで、自動測定を実現 ステージ精度の向上したJSM-IT210は、多視野に渡る狙った分析位置での 連続測定、自動測定がより実用的になりました。 1 この介在物を 分析したい 2 他の介在物も 確認しなきゃ…… 約 8 μm 5 μm 3 はじめの 視野に戻って 分析を開始したい 100 μm Al-K Fe-K 試料：鉄鋼中の介在物　 5 μm 加速電圧：15 kV　倍率：×3,000　信号：反射電子 Energy [keV] JSM-IT210 18 Intensity [Counts]

様々な観察をサポートする 低真空機能 JSM-IT210は、低真空機能を搭載したモデルを選択できます。 非導電性試料もそのまま観察できます。 反射電子像（ 組成情報） 入射電子 高真空領域 オリフィス オリフィス 低真空領域 e- G e- 入射電子による G イオン化 e- G 中和 反射電子による G 二次電子による イオン化 イオン化 G G 中和 中和 試料：LED断面　加速電圧：15 kV　倍率：×500 50 μm 帯電による 負電荷 試料 G ガス分子 G イオン化したガス分子 新型の低真空ハイブリッド二次電子検出器（LHSED）※を搭載できます。従来の低真空二次電子検出器と比 べて、画質が向上しました。また、電子線照射による試料発光を検出できるので、カソードルミネッセン LEDに含まれる ス（CL）由来のコントラストも取得できます。酸化物や蛍光体、半導体など幅広い分野に応用できます。 蛍光体のみ観察が できています。 低真空二次電子像（ 凹凸情報） LHSE PD像（ 発光情報） 50 μm 50 μm 試料：LED断面　加速電圧：15 kV　倍率：×500 ※オプションになります。BU (Base Unit)、A (Analysis）では、PD像のみ取得できます。 19 JSM-IT210