ポジショニングテーブル

Page 1:ACTUATORH-78潤 滑●BG形にはリチウム石けん基グリース2号（マルテンプPS №2，協同油脂）が封入されています。使用状況によって定期的に同系統のグリースを補給してください。●ガイド部への給脂はブロックのグリースニップルを使用してください。また、ボールねじ部には直接ねじ軸に塗布してください。尚、BG15形はグリースニップルが無くφ2mmの油穴が空いています。●指示なき場合のグリースニップルは図H-18の位置になります。●呼び番号の末尾に特殊グリースオプション記号を付けることにより、高機能形グリースに変更できます。グリースの種類は表H-15を参照してください。また、各グリースの詳細はP.技-39を参照してください。図H-18 グリースニップルの位置表H-15 使用グリースグリースオプション記号無し（標準）GKGUGLGF特徴−ウレア系低発塵用ウレア系低発塵・低摺動抵抗用リチウム系低発塵ウレア系耐フレッチング用グリース名マルテンプPS №2（協同油脂）KグリースKGUグリースKGLグリースKGFグリースグリースニップルグリースニップルブロック1個付きの場合ブロック2個付きの場合グリースニップルモーターブラケット側使用温度●BG形には樹脂部品が使用されています。80℃を超える高温でのご使用は避けてください。 センサ付き、ジャバラ付きの場合は、55℃以下でご使用ください。取扱い上の注意●BG形は精密部品です。取り扱いには十分注意をお願い致します。●過大な振動や衝撃は走行の円滑さを損ない寿命にも影響を与えることがありますのでご注意ください。●BG形は組立時に精度が調整されています。分解をしないでください。●ブロックを繰返しダンパに衝突させた場合、不具合が生じる可能性があります。ストロークは余裕をもってご使用ください。●BGガイド内部にごみやほこり等の異物が入り込むとボールの循環が阻害され、不具合が生じることがありますのでご注意ください。●両ストロークエンド付近は指をはさむ危険があります。動作中は絶対に手を触れないでください。 又、停止中でもあってもガイドレール内部に指を入れる場合は十分注意してください。 ダストカバーで指を傷つける恐れがあります。●使用条件によりモータは高温になる危険性があります。 動作中及び動作直後はモータに手を触れないでください。POSITIONING TABLEI-1ポジショニングテーブルポジショニングテーブル構造と特長・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-2形式・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-3呼び番号の構成・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-4NBポジショニングテーブルの機能評価方法・・・・ I-5精度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-8機能評価システム・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-10精度測定データ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-11寸法表・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-12〜技術資料・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-28NBポジショニングテーブル制御システム・・・・・ I-32パルスコントローラ仕様・・・・・・・・・・・・・・・・ I-335相ステッピングモータ・ドライバ仕様・・・・・ I-34ACサーボモータ・ドライバ仕様・ ・・・・・・・・・ I-35ポジショニングテーブルNBN形構造と特長・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-36精度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-37寸法表・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-38〜Nコンビネーションシステムプログラム方法・ ・・・・ I-40モータ・ドライバ仕様・ ・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-41取扱い上の注意・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-42ポジショニングテーブルNWT形構造と特長・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-43精度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-43位置決め精度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-43運動・姿勢精度・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-43寸法表・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ I-44ACサーボモータ・ドライバ仕様・ ・・・・・・・・・ I-44

Page 2:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-2 I-3ポジショニングテーブル 形 式 NBポジショニングテーブルは、高速・高精度に対応したパルスモータ駆動方式の汎用形精密位置決めテーブルです。 案内にNBスライドウェイ（NCT形）、NBスライドユニット（NSL形）、NBスライドガイド（NPT形、NBL形、NBN形）を用い、伝達機構には精密ボールねじを使用し、高速から低速にいたるまで安定した精度が得られます。 また、標準仕様の他にメカトロニクスをはじめ広範囲な用途の中で、スペースや装置、スペック等に合わせた特殊仕様にも対応いたします。構造と特長●主な用途各種電子部品製造装置／計測機／レーザー加工機半導体製造装置／産業用ロボット／自動加工機／撮影機形式 ストロークmm ガイド方式 耐荷重 特長モータ形式NCT 50〜300スライドウェイSV形中荷重高精度高剛性ローハイト5相ステッピングモータACサーボモータNBL 50〜800スライドガイドSEB形中荷重軽量・高精度ロングストロークカバー付有ジャバラ付有5相ステッピングモータACサーボモータNPT 300〜1,000スライドガイドSGL-H形重荷重高精度・高剛性ロングストロークカバー付有ジャバラ付有5相ステッピングモータACサーボモータ5相ステッピングモータACサーボモータ軽量低価格ロングストロークジャバラ付有中荷重スライドユニットCD形50〜800NSLNCT形P.I-12NBL形P.I-14NPT形P.I-20NSL形P.I-265相ステッピングモータACサーボモータACサーボモータNコンビネーションシステム低重心・高精度広いワークエリア超高精度中荷重中荷重スライドガイドSGL形SGW形スライドウェイSV形50×50〜200×20050〜200NBNNWTNBN形 NWT形P.I-38 P.I-43

Page 3:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-4 I-5呼び番号の構成例） 図I-1NB ポジショニングテーブルの機能評価方法1.位置決め精度 まず一定の向きで適当な位置決めをし、これを基準位置とする。次に同じ向きへ順次位置決めを行ない、それぞれの位置で基準位置から実際に移動した距離と移動すべき距離との差を測定し、それらの基準長さ内における最大差を求める。測定はほぼ全域にわたり、機種別に規定する測定間隔で行なう。これらの求めた最大差のうち、最大値を測定値とする。/×無記入L. .R標準特殊リード下図参照5MAC5相ステッピングモータACサーボモータNCTNBLNPTNSLスライドウェイ SV形使用スライドガイド SEB形使用スライドガイド SGL-H形使用スライドユニット CD形使用NCT 200 100 − AC J L5 Rオプション仕様無記入CJ標準カバー付（NCT、NSL形を除く）ジャバラ付（NCT形を除く）オプション仕様モータ仕様Y軸ストローク（上軸）X軸ストローク（下軸）使用ガイド形式テーブルの組合せY軸（上軸）X軸（下軸）Y軸（上軸）X軸（下軸）標準 R仕様3.ロストモーション まず一つの位置について正（あるいは負）の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図I-3のℓ1）。次に同じ向きに指令を与えて移動させ、その位置から負（あるいは正）の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図I-3のℓ1′）。更に負（あるいは正）の向きに指令を与えて移動させ、その位置から正（あるいは負）の向きに同一指令を与えて移動させて正（あるいは負）の向きでの位置決めを行ない、その位置を測定する（図I-3のℓ2）。以下この動作を繰返し、正及び負の向きでのそれぞれ7回の位置決めの停止位置の平均値の差を求める。この測定を動きの中央及びほぼ両端で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とする。2.繰返し位置決め精度 任意の一点に同じ方向からの位置決めを7回繰返して停止位置を測定し、読みの最大差1/2を求める。この測定を原則として、移動距離の中央及びほぼ両端のそれぞれの位置で行ない、求めた値のうちの最大のものを測定値とする。位置決め精度＝（Δℓn）max17（ℓ1＋ℓ2…ℓ7）−ロストモーション測 定 値（ℓ1'＋ℓ2'…ℓ7'）max＝17繰返し位置決 め 精 度12（ℓnの最大値）−（ℓnの最小値）＝±⎧⎩⎧⎨⎩⎫⎬⎭⎫⎭max基準長さ基準長さ基準長さ︵基準位置︶移動距離ℓ⊿ℓ＝（実際に移動した距離）ー（指令した距離）⊿ℓn：基準長さ内における⊿ℓの最大差⊿ℓ⊿ℓ1⊿ℓ2⊿ℓn図I-2ℓ1ℓ2ℓ3ℓ7図I-3ℓ1ℓ1ℓ2ℓ7ℓ2ℓ7ℓ3'''

Page 4:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-6 I-74.バックラッシュ テーブルに送りをかけて、わずかに動かしたときのテストインジケータの読みを基準とし、更にその状態から送り装置によらずにテーブルを同方向に微動させたときのテストインジケータの読みの差を求める。この測定を移動距離の中央及びほぼ両端の位置で行ない、求めた値のうちの最大差を測定値とする。バックラッシュ＝（Δℓ）max5.平行度A テーブルを取付けた定盤上にテストインジケータを固定し、ほぼテーブル上面の中央にテストインジケータを位置させ、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの最大差を測定値とする。6.平行度B テーブル中央にインジケータを固定し、テーブルを取り付けた定盤上にテストインジケータを当て、テーブルを移動距離のほぼ全域にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの最大差を測定値とする。※注 NCT形のみ適用7.XY運動の直角度 テーブル上面に、XあるいはY軸の移動を基準に直角定規を据付け、基準軸と直角方向のほぼ移動距離全域にわたって動かしたときのテストインジケータの読みの最大差を測定値とする。図I-4送りねじ送り 荷重変位もどり⊿ℓ図I-5平行度B平行度A図I-6X軸Y軸8.真直度 直線でなければならないテーブル運動の幾何学的直線からの狂いの大きさとする。 水平真直度：テーブルの移動軸の左右（水平）方向の動き 垂直真直度：テーブルの移動軸の上下（垂直）方向の動き レーザー真直度測定システムで測定し、測定した値に平行な二つの直線で、その間隔が最小になるように狭んだときの2直線の間隔で表わす。9.ピッチング、ヨーイング ピッチング：テーブル移動軸における上下方向の角度変化 ヨーイング：テーブル移動軸における左右方向の角度変化 レーザー角度測定システムで測定し、読みの最大差で表わす。図I-7真直度図I-8ピッチングヨーイング垂直真直度水平真直度テーブル移動軸

Page 5:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-8精 度NCT形 単位：μm呼び番号A B位置決め精度繰返し位置決め精度平行度1軸テーブルバックラッシュ 直角度X方向 Y方向2軸テーブル呼び番号平行度ANCT 50-5M,-ACNCT100-5M,-ACNCT150-5M,-ACNCT200-5M,-ACNCT250-5M,-ACNCT300-5M,-ACNCT 50× 50-5M,-ACNCT100×100-5M,-ACNCT150×150-5M,-ACNCT200×200-5M,-ACNCT250×250-5M,-ACNCT300×300-5M,-AC567810101215203691215±1 1以下1012131518567810567810NBL形 単位：μm呼び番号A位置決め精度繰返し位置決め精度平行度1軸テーブルバックラッシュ 直角度X方向 Y方向2軸テーブル呼び番号平行度ANBL 50-5M,-ACNBL100-5M,-ACNBL150-5M,-ACNBL200-5M,-ACNBL250-5M,-ACNBL300-5M,-ACNBL350-5M,-ACNBL400-5M,-ACNBL450-5M,-ACNBL500-5M,-ACNBL600-5M,-ACNBL700-5M,-ACNBL800-5M,-ACNBL 50× 50-5M,-ACNBL100×100-5M,-ACNBL150×150-5M,-ACNBL200×200-5M,-ACNBL250×250-5M,-ACNBL300×300-5M,-ACNBL350×350-5M,-ACNBL400×400-5M,-ACNBL450×450-5M,-AC10152025353035405055±1 1以下2025303510152010152025標準品のY軸（上軸）のストロークは450mmが最大となります。450mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまで連絡ください。NPT形 単位：μm呼び番号A位置決め精度繰返し位置決め精度平行度1軸テーブルバックラッシュ 直角度X方向 Y方向2軸テーブル呼び番号平行度ANPT 300-5M,-ACNPT 400-5M,-ACNPT 500-5M,-ACNPT 600-5M,-ACNPT 700-5M,-ACNPT 800-5M,-ACNPT 900-5M,-ACNPT1000-5M,-ACNPT300×300-5M,-ACNPT400×400-5M,-ACNPT500×500-5M,-AC15203020304050±2 2以下202515201520標準品のY軸（上軸）のストロークは500mmが最大となります。500mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまで連絡ください。I-9●ストロークの相異なるテーブルを組合わせた2軸テーブル精度については、次の様になります。①平行度AのX方向 X軸ストロークと同一ストロークをもつ2軸基本テーブルの平行度AのX方向②平行度AのY方向 Y軸ストロークと同一ストロークをもつ1軸テーブル精度の平行度A③直角度 X-Yのどちらか長いストロークと同じストロークをもつ2軸基本テーブルの直角度※位置決め精度、繰返し位置決め精度、バックラッシュについては1軸テーブル精度と同等になります。 例 NCT 200×100-5Mの精度平行度A：X方向 13μm、Y方向 5μm直角度：7μm NBL 300×50-5Mの精度平行度A：X方向 30μm、Y方向 10μm直角度：15μm図I-9NSL形（コマーシャルタイプ） 単位：mm呼び番号A繰返し位置決め精度平行度1軸テーブルバックラッシュ 直角度X方向 Y方向2軸テーブル呼び番号平行度ANSL 50-5M,-ACNSL100-5M,-ACNSL150-5M,-ACNSL200-5M,-ACNSL250-5M,-ACNSL300-5M,-ACNSL350-5M,-ACNSL400-5M,-ACNSL450-5M,-ACNSL500-5M,-ACNSL600-5M,-ACNSL700-5M,-ACNSL800-5M,-ACNSL 50× 50-5M,-ACNSL100×100-5M,-ACNSL150×150-5M,-ACNSL200×200-5M,-ACNSL250×250-5M,-ACNSL300×300-5M,-ACNSL350×350-5M,-AC0.060.070.08±0.05 0.1以下0.10.050.060.07標準品のY軸（上軸）のストロークは350mmが最大となります。350mmを超えるストロークをご希望の場合はNBまで連絡ください。⎧⎨⎩⎧⎨⎩Y軸X軸

Page 6:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-10 I-11機能評価システム NBポジショニングテーブルは超精密レーザー測定システムを使用して、さまざまな機能を評価し最適な特性を保証します。NBポジショニングテーブル超精密レーザー測定装置ドライバコントローラカラーレーザープリンター精度測定データ●テーブル呼び番号 NCT50-AC●ドライバ呼び番号 MSD011A1XX位置決め精度真直度（水平）真直度（垂直）

Page 7:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-12 I-13NCT形NCT100∼250※部モーターコネクタはステッピングモータータイプに適用します。NCT50※部モーターコネクタはステッピングモータータイプに適用します。E 150 EB C120D 120 D※モーターコネクタセンサーコネクタORGセンサO.T.1センサ4-M6深さ11PORG2センサO.T.2センサMA1/2S 1/2S15017013017023 1060296N-取付穴DE 180 EB C M85（170）AD 85 85※モーターコネクタセンサーコネクタORGセンサO.T.1センサO.T.2センサPORG2センサ150200160180200102360296-M6深さ111/2S 1/2S6N-取付穴NCT300※部モーターコネクタはステッピングモータータイプに適用します。180B C（170）1/2S 1/2S15020016018020025 1275※モーターコネクタセンサーコネクタORGセンサ30.5O.T.1センサO.T.2センサPORG2センサE EMAD 85 85 85 85 DＮ-取付穴856-M6深さ13NCT 50-5M-ACNCT100-5M-ACNCT150-5M-ACNCT200-5M-ACNCT250-5M-ACNCT300-5M-AC有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmCmmMmmEmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG2）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ1002501002501002501002501002501002500.10.20.10.20.10.20.10.20.10.20.10.25610015020025030060268310324367389428494533599638560.56041702102503304104504548616586111136625392539253925392539248.592101535751151352520408035554-M6用6-M6用10-M6用50.1190.1060.1480.1350.1730.1580.2130.2000.2550.2420.2800.2713K-S545MSMD012P1S3K-S545MSMD012P1S3K-S545MSMD012P1S3K-S545MSMD012P1S3K-S545MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1SSV4160SV4200SV4240SV4320SV4400SV4440フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相91214182128イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.0052,5000.0025,0000.00110,0000.0005最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 8:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-14 I-15NBL形−標準形−※部モ−タ−コネクタはステッピングモ−タ−タイプに適用します40180160180161636.5721301/2S 180 1/2S 2020260※モ−タ−コネクタDB 1050130４-Ｍ6深さ16O.T.２センサMAORGセンサPORG1センサO.T.1センサD150150150Ｎ-取付穴センサ−コネクタNBL 50-5M-ACNBL100-5M-ACNBL150-5M-ACNBL200-5M-ACNBL250-5M-ACNBL300-5M-ACNBL350-5M-ACNBL400-5M-ACNBL450-5M-ACNBL500-5M-ACNBL600-5M-ACNBL700-5M-ACNBL800-5M-AC有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.45010015020025030035040045050060070080050328.5372378.5422428.5472478.5522528.5572578.5622628.5672678.5722728.5772778.5822878.5922978.51,0221,078.51,1222703203704204705205706206707208209201,02048.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592601035601035601035603510604-M6用6-M6用8-M6用10-M6用12-M6用14-M6用100.1610.1570.1800.1760.1990.1960.2190.2150.2380.2350.2580.2540.2770.2730.2960.2930.3160.3120.3350.3320.3740.3700.4180.4140.4570.4534K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1SSEB15A フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相7.58.09.09.510.511.012.012.513.514.015.517.519.0イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 9:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-16 I-17NBL形−カバータイプ−※部モ−タ−コネクタはステッピングモ−タ−タイプに適用します6-Ｍ6深さ1680 80168121801221771601801636.51801/2S※モ−タ−コネクタ60220 201/2Sセンサ−コネクタ40DB 10O.T.２センサMORGセンサPORG1センサ O.T.1センサD150150150Ｎ-取付穴10A50NBL 50-5M/C-AC/CNBL100-5M/C-AC/CNBL150-5M/C-AC/CNBL200-5M/C-AC/CNBL250-5M/C-AC/CNBL300-5M/C-AC/CNBL350-5M/C-AC/CNBL400-5M/C-AC/CNBL450-5M/C-AC/CNBL500-5M/C-AC/CNBL600-5M/C-AC/CNBL700-5M/C-AC/CNBL800-5M/C-AC/C有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.45010015020025030035040045050060070080050338.5382388.5432438.5482488.5532538.5582588.5632638.5682688.5732738.5782788.5832888.5932988.510321088.511322703203704204705205706206707208209201,02048.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592601035601035601035603510604-M6用6-M6用8-M6用10-M6用12-M6用14-M6用100.1540.1510.1740.1700.1930.1890.2120.2090.2320.2280.2510.2470.2700.2670.2900.2860.3090.3060.3290.3250.3670.3640.4120.4080.4500.4474K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1SSEB15A フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相8.59.510.511.512.513.514.015.016.017.018.521.022.5イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 10:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-18 I-19NBL形−ジャバラタイプ−※部モ−タ−コネクタはステッピングモ−タ−タイプに適用します1901551801692161636.5斜線部ジャバラ範囲21072130４-Ｍ6深さ１６1/2S1801/2SEPORG1センサ O.T.1センサO.T.２センサ401550B 101013060センサ−コネクタ※モ−タ−コネクタORGセンサMAE150 150 150 DD2N-取付穴NBL 50-5M/J-AC/JNBL100-5M/J-AC/JNBL150-5M/J-AC/JNBL200-5M/J-AC/JNBL 250-5M/J-AC/JNBL300-5M/J-AC/JNBL350-5M/J-AC/JNBL400-5M/J-AC/JNBL450-5M/J-AC/JNBL500-5M/J-AC/JNBL600-5M/J-AC/JNBL700-5M/J-AC/JNBL800-5M/J-AC/J有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmDmmEmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.45010015020025030035040045050060070080050368.5412428.5472488.5532548.5592608.5652668.5712728.5772788.5832858.5902928.59721048.510921178.512221308.513523003604204805406006607207908609801,1101,24048.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59235404550556065708090100115130753060154575306020554030204-M6用6-M6用8-M6用10-M6用12-M6用14-M6用16-M6用18-M6用100.1900.1860.2090.2060.2290.2250.2480.2450.2670.2640.2870.2830.3060.3030.3260.3220.3450.3410.3640.3610.4390.4350.4830.4790.5220.5184K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1SSEB15A フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相10.011.011.512.513.514.515.516.517.518.520.522.524.5イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 11:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-20 I-21NPT形−標準形−※部モ−タ−コネクタはステッピングモ−タ−タイプに適用します220PORG2センサセンサーコネクタ160402525PORG1センサO.T.1センサ10※モーターコネクタO.T.2センサ１/２Ｓ １/２ＳB7515722020022020 2090540ORGセンサ1504-M8深さ２０10 MAD 300 300 DN-取付穴44.5NPT 300-5M-ACNPT 400-5M-ACNPT 500-5M-ACNPT 600-5M-ACNPT 700-5M-ACNPT 800-5M-ACNPT 900-5M-ACNPT1000-5M-AC有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1,PORG2）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.43004005006007008009001,000200644.5678.5744.5778.5844.5878.5944.5978.51,044.51,078.51,144.51,178.51,244.51,278.51,344.51,378.55706707708709701,0701,1701,27064.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.513535851353585135354-M8用6-M8用8-M8用10-M8用101.071.131.201.261.321.381.441.501.561.621.691.751.811.871.931.9921K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1SSGL30HTF フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相4448535863687277イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 12:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-22 I-23NPT形−カバータイプ−※部モ−タ−コネクタはステッピングモ−タ−タイプに適用します220PORG2センサセンサーコネクタ160402525PORG1センサO.T.1センサ10※モーターコネクタO.T.2センサ１/２Ｓ １/２ＳB75540ORGセンサ1504-M8深さ２０10 MAD 300 300 DN-取付穴223.220022010020302013720102.52.544.5NPT 300-5M/C-AC/CNPT 400-5M/C-AC/CNPT 500-5M/C-AC/CNPT 600-5M/C-AC/CNPT 700-5M/C-AC/CNPT 800-5M/C-AC/CNPT 900-5M/C-AC/CNPT1000-5M/C-AC/C有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1,PORG2）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.43004005006007008009001,000200654.5688.5754.5788.5854.5888.5954.5988.51,054.51,088.51,154.51,188.51,254.51,288.51,354.51,388.55706707708709701,0701,1701,27064.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.513535851353585135354-M8用6-M8用8-M8用10-M8用101.081.151.211.271.331.391.451.511.571.641.701.761.821.881.942.0021K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1SSGL30HTF フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相4954596469747985イナーシャはボールねじ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 13:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-24 I-25NPT形−ジャバラタイプ−※部モ−タ−コネクタはステッピングモ−タ−タイプに適用します1/2SE 220 1/2S E540BPORG1センサPORG2センサセンサーコネクタORGセンサ16040※モーターコネクタO.T.1センサ10O.T.2センサ75M1504-M8深さ２０AD 300 300 DN-取付穴10235902020220200220（ワーク取付面）15717.544.5NPT 300-5M/J-AC/JNPT 400-5M/J-AC/JNPT 500-5M/J-AC/JNPT 600-5M/J-AC/JNPT 700-5M/J-AC/JNPT 800-5M/J-AC/JNPT 900-5M/J-AC/JNPT1000-5M/J-AC/J有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmEmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1,PORG2）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.43004005006007008009001,000200704.5738.5824.5858.5944.5978.51,064.51,098.51,184.51,218.51,304.51,338.51,424.51,458.51,544.51,578.56207408609801,1001,2201,3401,46064.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.564.598.5506070809010011012010701304010010701306-M8用8-M8用10-M8用101.091.201.211.321.331.441.451.571.581.691.701.811.821.931.942.0621K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1S21K-M596MSMD042P1SSGL30HTF フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相5157636874808691イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 14:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-26 I-27NSL形120150D 200 200 DB170 1/2S1/2S10 50センサ−コネクタO.T.1センサPORG1センサO.T.2センサ16 16438220018620032 22810モーターコネクタORGセンサMAN-取付穴４-Ｍ6深さ１２150NSL 50-5M-ACNSL100-5M-ACNSL150-5M-ACNSL200-5M-ACNSL250-5M-ACNSL300-5M-ACNSL350-5M-ACNSL400-5M-ACNSL450-5M-ACNSL500-5M-ACNSL600-5M-ACNSL700-5M-ACNSL800-5M-AC有効ストロークmm主要寸法呼び番号最高速度Vmax.mm/sec加減速時間（0〜Vmax.）sec水平可搬質量kgAmmBmmMmmDmmN-取付穴ボールねじリードmmイナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG1）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ2005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005002005000.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.40.20.45010015020025030035040045050060070080050338.5382388.5432438.5482488.5532538.5582588.5632638.5682688.5732738.5782788.5832888.5932988.51,0321,088.51,1322803303804304805305806306807308309301,03048.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.59248.592406590154065901540651565154-M6用6-M6用8-M6用10-M6用12-M6用100.1830.1790.2020.1990.2220.2180.2410.2370.2600.2570.2800.2760.2990.2960.3180.3150.3380.3340.3570.3540.3960.3920.4350.4310.4740.4704K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1S4K-M564MSMD012P1SCD20 フォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相9.010.010.511.512.513.514.015.016.016.518.520.022.0イナーシャはボールネジ、カップリングとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。水平可搬質量は加減速時間により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。分解能 pluse/rev最小送り量 mm1,000*0.012,0000.0055,0000.00210,0000.001最小送り量* 出荷時の設定表記以外の設定も可能です。NBまでご連絡ください。

Page 15:POSITIONING TABLEポジショニングテーブル2004005001,000I-28 I-29⊿ℓ：分解能（mm）P：ボールねじリード（mm）fr：モータ 1 回転当りの分割数（パルス /rev）⊿ℓ=Pfr………………………………（1）技術資料1.分解能 分解能とは1パルス当りのテーブル移動量（最小送り量）のことをいい、ボールねじリードとモータ1回転当りの分割数によって求めます。fmax：最高周波数（PPS）⊿ℓ：分解能（mm）Vmax：最高速度（mm/sec）fmax＝ Vmax⊿ℓ……………………………（3） 分割数モータ形式とドライバの組合わせによって異なります。●ステッピングモータ ステッピングモータの場合、分割数はドライバの励磁方式によって決まります。（表I-1）●サーボモータ サーボモータの場合、分割数はエンコーダ分割数とドライバの電気てい倍と分周比（電子ギア）によって決まります。（表I-2）2.最高速度と最高周波数 最高速度は、ボールねじリードとモータ回転数によって求めます。Vmax：最高速度（mm/sec）N：モータ回転数（rpm）P：ボールねじリード（mm）Vmax＝PN60……………………………（2） 最高周波数は最高速度と分解能によって求めます。 したがって最高速度はパルスコントローラ、ドライバ等の最高周波数に制限されることがあります。表I-1 ドライバ励磁方式と分割数2相ステッピングモータ5相ステッピングモータ2相励磁1〜2相励磁4相励磁1〜2相励磁モータ形式ドライバ励磁方式分割数パルス/rev1,0002,0004,0002,5005,00010,000表I-2 ドライバてい数と分割数（例）1,0002,5001てい倍2てい倍4てい倍1てい倍2てい倍4てい倍エンコーダ分割数パルス/revドライバてい倍分割数パルス/rev表I-3 ボールねじリードと分解能及び最高速度使用モータ分割数パルス/rev最高周波数Kpps2分解能μm最高速度mm/sec4 5 10 20ボールねじリード mm分解能μm最高速度mm/sec分解能μm最高速度mm/sec最高速度mm/sec分解能μm分解能μm最高速度mm/secステッピングモータ2相5相サーボモータ2004005001,0005001,0002,0004,00061220402550100100105424210.560801005020108484211201602001001502002501252512.51051052.51.2550252010201052.53004005002506008001,00050010050402040201053.モータ選定法 特殊形状テーブル等でモータを選定する場合、以下の資料を参考にしてください。 図I-10にボールねじ駆動の代表例を示します。ここで W1 ：ワーク質量（kg）W2 ：テーブル可動部質量（kg）F1 ：テーブル進行方向に逆って押す力（N）F2 ：テーブル移動時にかかる力（N）D ：ボールねじ代表径（mm）ℓ ：ボールねじ全長（mm）P ：ボールねじリード（mm）となります。●駆動方式 ポジショニングテーブルでは、イナーシャ（慣性力）が働き、瞬時に速度を上げることができません。そのため加速時間を考えた駆動方式が使用されます。駆動方式には、距離移動によって三角移動、台形移動があります。①三角駆動（図I-11） 三角駆動は短い距離の移動に使用されます。S＝Vta＝12………………………（4）VtcS：移動距離（mm）V：移動速度（mm/sec）ta：加減速時間（sec）tc：位置決め時間（sec）②台形駆動（図I-12） 台形駆動は長い距離の移動に使用されます。S＝V（ta＋tb）＝V（tc−ta）………………（5）S：移動距離（mm）V：移動速度（mm/sec）ta：加減速時間（sec）tb：定速運転時間（sec）tc：位置決め時間（sec）●角速度と角加速度①角速度 角速度は次式により求めます。ω=2πN60……………………（6）＝ω：角速度（rad/sec）N：モータ回転数（rpm）V：移動速度（mm/sec）P：ボールねじリード（mm）2πVP②角加速度 角加速度は次式により求めます。dωdt……………………（7）＝dω──：角加速度（rad/sec2）ω0：速度変化前の角速度（rad/sec）dtω1：速度変化後の角速度（rad/sec）⊿t：速度変化に要する時間（sec）ω1−ω0⊿ℓ図I-10 ボールねじ駆動図I-11 三角駆動F2F1リードPφDモータW1W2ℓVmaxVta tatc図I-12 台形駆動VmaxVta tb tatc

Page 16:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-30 I-31●イナーシャ イナーシャはSI単位系ではkg・m2で表わされ、重力単位系ではkgf・cm・sec2で表わされます。また重量と代表系を用いたGD2値もイナーシャの代用として使用されます。それぞれの値は次式で変換できます。J＝g・l×10−4＝ ………………（8）J：SI単位系のイナーシャ（kg・m2）I：重力単位系のイナーシャ（kgf・cm・sec2）g：重力加速度（980cm/sec2） GD2：GD2値（kg・m2）GD24①直線運動部のイナーシャ（JT） 直線運動部のイナーシャはワークの質量とテーブル可動部の質量で求めます。JT＝（W1＋W2）・ ……………（9）JT：直線運動部のイナーシャ（kg・m2） W1：ワーク質量（kg）W2：テーブル可動部質量（kg） P：ボールねじリード（mm）P×10−32π⎧⎩⎫⎭2②ボールねじのイナーシャ（JB） ボールねじのイナーシャは次式で求めます。JB＝ …（10）JB：ボールねじのイナーシャ（kg・m2）WB：ボールねじの質量（kg） D：ボールねじの代表径（mm）ρ：ボールねじの密度（kg/mm3） ℓ：ボールねじの全長（mm）WB・D28×10−6＝πD432・ρ・ℓ×10−6③負荷イナーシャ（JR）とモーターロータのイナーシャ（JM） テーブルにはカップリング、エンコーダ、タコジェネレータ等の運動部品が取付きます。テーブル仕様にそって全ての運動部分のイナーシャを求めます。求めたイナーシャの総和（モーターロータのイナーシャを除く）が負荷イナーシャとなります。……………（11）JR：負荷イナーシャ（kg・m2）JA：テーブルのモータ軸換算イナーシャ（kg・m2）JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2）JT：直線運動部のイナーシャ（kg・m2）JB：ボールねじのイナーシャ（kg・m2）JN：その他の運動部分のイナーシャ（kg・m2）JR=JA−JM=JT＋JB＋JN④モータの仮選定 負荷イナーシャとモーターロータのイナーシャの比率でモータのサイズの仮選定を行います。最適な比については各モータの資料を参照してください。………………………………（12）JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2）JR：負荷イナーシャ（kg・m2） K：イナーシャ比JR≦KJM●所要トルク（T） モータの所要トルクには、加速トルク、摩擦トルク、負荷トルク、ボールねじ起動トルクがあります。……………………（13）T：所要トルク（N・m） Tα：加速トルク（N・m）Tμ：摩擦トルク（N・m） TL：負荷トルク（N・m）TB：ボールねじ起動（N・m）T=Tα Tμ TL TB①加速トルク（Tα） 加速トルクは次式で求めます。Tα=JA …………（14）Tα：加速トルク（N・m）JA：テーブル全体のイナーシャ（kg・m2）JR：負荷イナーシャ（kg・m2）JM：モーターロータのイナーシャ（kg・m2）dω──：角加速度（rad/sec2）dtdωdt=（JR JM）dωdt②摩擦トルク（Tμ） 摩擦トルクは次式で求めます。Tμ：摩擦トルク（N・m） W1：ワーク質量（kg）W2：テーブル可動部質量（kg）F2：テーブル移動時にかかる力（N） μ：動摩擦係数 P：ボールねじリード（mm） η：ボールねじ効率③負荷トルク（TL） 負荷トルクは次式で求めます。TL= ……………………（16）TL：負荷トルク（N・m） F1：外力（N）P：ボールねじリード（mm）η：ボールねじ効率F1P2πη×10−3Tμ=［9.8（W1 W2） F2］ ……（15）×10−3μP2πη④ボールねじ起動トルク（TB） ボールねじを起動するために必要なトルクです。●モータ起動トルク モータ起動トルクと所要トルクは次式の関係になります。………………………………（17）TM：モータ起動トルク（N・m） κ：安全率T：所要トルク（N・m）TM≧κT モータ起動トルクは、使用するモータとドライバの組合わせで異なります。①ステッピングモータ ステッピングモータの場合、モータとドライバの組合わせの特性曲線（トルクカーブ）により求めます。モータ起動トルクは、モータの周波数fとスルーイングトルクの曲線との交点のTMとなります。②ACサーボモータ ACサーボモータの場合は、モータの最大（ピーク）トルクがTMとなります。●実効トルク サーボモータを使用する場合、実効トルクを算出し、定格連続領域にあることを確認する必要があります。…………………………（18）TRM＝T12t1 T22t2 T32t3… Ti2tit1 t2 t3… ti＝ΣTi2tiΣtiTRM：実効トルク（N・m）ここで………………………………（19）TR：定格トルク（N・m）TRM＜TRとなります。図I-13 速度−トルク曲線スルーイングトルク特性曲線トルク T（N・m）TMモータ周波数f（pps）f図I-14 実効トルクT1t1t2 t7 t9t3 t4 t6 t8T2T3T4T5T6T7T8T9t5速度 V（mm/sec）トルク T（N・m）時間t（sec）

Page 17:POSITIONING TABLEポジショニングテーブル I-32NB ポジショニングテーブル制御システム●特徴1）ステッピングモータ使用の場合、オープンループ制御のため装置構成が簡単です。ACサーボモータ使用の場合、セミクローズドループ制御のためより、確実な制御となり、また高速対応が可能です。2）パルスコントローラ及びドライバは超小型であり、省スペースが図れます。3）パルスコントローラはインデックス運転、プログラム運転、PCからのシリアル通信運転等多彩な運転モードが選択できます。またプログラム運転では簡易的なシーケンスプログラムも作成できます。（ステップ数64）4）外部入力は、有接点・無接点入力どちらでも可能です。フォトマイクロセンサXYドライバパルスコントローラI-33パルスコントローラ仕様呼び番号制御軸数電源動作温度範囲外形寸法インデックスパルス登録数インデックスパルス設定範囲ドライブ速度登録数ドライブ速度設定範囲加減速カーブ動作モードプログラム機能制御インターフェース汎用入力汎用出力操作プログラムの動作環境呼び番号外径寸法仕様KR220AU2軸24V0〜45℃(結露しないこと)高さ90mm×幅36mm×奥行き64mm各軸64-8388608〜8388607(相対値/絶対値指定可能)41pps〜4Mpps（1〜8000×倍率1〜500)定速、直線加減速（台形）・原点出し・スキャンドライブ・連続ドライブ・インデックスドライブ・プログラムドライブ・記憶媒体 EEPROM・ステップ数 64・命令数 12命令・パワーオンプログラム自動スタート機能有り・パラレル I/F・RS-232C・USB(USB規格V1.1に準拠)(PLC、PC、リモートボックスと通信可能)最大5点(動作モードにより異なります)2点(各軸1点)IBM AT互換パソコン OS：Windows98. ME. 2000. XPKR200RB高さ62mm×幅150mm×奥行き23mm・動作モード、パラメータ、プログラムの書き込み、ドライブ操作が可能・現在位置書き込み(ティーチング)可能※オプションのリモートボックスでも操作可能です。※注 仕様は予告なく変更する事がありますのでご了承ください。オプション リモートボックス（PCに接続せずに操作、プログラムの作成が可能になります）

Page 18:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-34 I-355相ステッピングモータ・ドライバ仕様 ACサーボモータ・ドライバ仕様【特長】1. 高機能リアルタイムオートチューニングを搭載しています。2. 小型・軽量です。3. 高速・高応答です。速度応答周波数1kHz、制振制御、ノッチフィルタ機能搭載。4. 位置、速度、トルク制御から選択できます。（出荷時は位置制御）5. 前面のデジタルパネルで制御状態をリアルタイムに表示します。また、操作キーにより各種設定も容易に行えます。6. 専用通信ソフト“PANATERM”をインストールしたパソコンと接続することにより、モータ動作のモニタリングや設定が可能です。7. 回生ブレーキ・ダイナミックブレーキを内蔵しています。【特長】1. AC100 〜 240V電源入力の5相ステッピングモータ用マイクロステップドライバです。2. 16種類のステップ角を設定できます。最大分割数は250分割125,000パルス/回転が可能です。3. 低振動機能によりフルステップ、ハーフステップ駆動時がさらに低振動になります。4. 切替信号で２種類のマイクロステップ角が自由に使い分けできます。5. コネクタタイプのねじ式端子台で保守が容易です。適用テーブルモータ分割数標準出荷時設定NCT･NBL･NSL1,000パルス/rev ※1MSMD012P1S1000.320.953,0005,0000.0512500P/rev0.47MADDT1205型名定格出力（W）定格トルク（N･m）最大トルク（N･m）定格回転数（rpm）最大回転数（rpm）ローターイナーシャ（×10−4kg･m2）エンコーダー（インクリメンタル方式）質量（kg）型名制御方式ロータ慣性モーメントに対する推奨負荷慣性モーメント比電源入力入力形態入力方式最高パルス周波数ロータリーエンコーダ分解能入力信号出力信号エンコーダフィードバック出力保護機能使用温度、湿度NPT1,000パルス/rev ※1MSMD042P1S4001.33.83,0005,0000.262500P/rev1.2MBDDT2210IGBT PWM方式 正弦波駆動モーターロータイナーシャの30倍以下AC単相200V〜240V（100V仕様も御用意できます。※2）正転パルス＋逆転パルス, 方向指令信号＋パルス, A相＋B相ラインドライバまたはオープンコレクタ2Mpps（オープンコレクタ使用時は500kpps）（分周機能により1/50〜20倍まで変更可能、標準設定1/10 ※1）偏差カウンタクリア入力、指令パルス禁止入力、分周てい倍切替入力、制振制御切替入力、制御モード切替入力位置決め完了出力サーボアラーム出力、サーボレディ出力、ブレーキ解除出力A･Bラインドライバ出力（A･B相分周機能有）Z相：ラインドライバ出力、オープンコレクタ出力過電圧、不足電圧、過速度、過電流、オーバーヒート、過負荷、回生過負荷位置偏差過大、偏差カウンタオーバーフロー、エンコーダ異常0〜55℃ 90％RH以下（結露なきこと）パナソニック株式会社製※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。パナソニック株式会社様の出荷設定と異なる箇所があります。※2：100V仕様の場合型名は異なります。入力パルス位置制御時の仕様ドライバ仕様モータ仕様適用テーブルモータ分割数標準出荷時設定NCT300･NBL･NSL1,000パルス/rev ※14K-M5641.40.440.1750.5KR-A535Mドライバ仕様モータ仕様型名電流（A/相）ホールディングトルク（N･m）ローターイナーシャ（×10−4kg･m2）質量（kg）型名励磁方式マイクロステップ分割数電源入力入力形態電圧最高パルス周波数内部抵抗入出力信号オートカレントダウン使用温度、湿度入力パルスNCT50〜2503K-S5450.750.240.0680.31NPT21K-M5961.42.060.901.8マイクロステップ1、2、4、5、8、10、16、20、25、40、50、80、100、125、200、250AC100V〜220V 3.5A正転パルス＋逆転パルスまたは方向指令信号＋パルスH＝4〜8V L＝0〜0.5V500kpps270Ω分割数選択入力、モータ励磁OFF入力原点励磁出力27〜90％（標準設定値 50％）0〜40℃ 85％RH以下（結露なきこと）株式会社テクノドライブ製※1：ドライバはNBにて初期設定を変更して出荷します。株式会社テクノドライブ様の出荷設定と異なる箇所があります。特殊仕様について標準品以外の特殊形状テーブル・高精度・高分解能タイプなどの特殊品についても設計・製作いたします。

Page 19:POSITIONING TABLEポジショニングテーブルI-36 I-37構造と特長ポジショニングテーブル NBN形用途各種チャンバー内装置に最適、他に各種電子部品製造装置、計測器レーザー加工機、半導体製造装置、産業用ロボット、自動加工機、撮影機‥図I-15 従来品との高さの比較当社従来品 NBN形24%DOWN図I-16 ピッチング・ローリングの影響の比較大θ小従来品NBN形 新発想による2軸平行駆動軸のXYテーブル。Nコンビネーションシステム 従来のXYテーブルと異なりX方向に対して45°傾斜させて配置したガイドにより、X方向の運動をY方向に変換する画期的な構造となっています。これにより、ボールねじを2軸平行かつ同一高さに配置することが可能になりました。広いワークエリア テーブル上面に広いスペースを取れることにより、多彩な作業スペース、取付け方法を確保できます。並列配置されたモータ 2軸のモータが並列に配置される構造により、各種チャンバーなどの特殊環境中にテーブルを容易に設置することが可能になります。 またモータが移動しないのでケーブル断線の心配がありません。低重心・高精度 テーブル高さが従来のXYテーブルに比べて24％ダウン（図I-15）この効果により、ピッチング・ローリングの影響が少なく（図I-16）、高精度な運動が可能になります。精 度表I-4 精度 単位：μm呼び番号位置決め精度繰返し位置決め精度平行度A バックラッシュ 直角度NBN 50NBN100NBN200101530 ±3 3以下 30（※）※直角度は静止時の保証値であり、移動中は適用しません。図I-17 NBN形の構造

Page 20:POSITIONING TABLEポジショニングテーブル0.4 5020050020050020050050×50100×100200×200471.7443571.7543771.7770.5350450650365415565210260360320370814814822113.779113.779113.798.5130120150−150250I-38 I-39NBN 50-5MNBN 50-ACNBN100-5MNBN100-ACNBN200-5MNBN200-AC有効ストロークmm（X×Y）主要寸法呼び番号最高速度Vmaxmm/sec加減速時間（0 〜 Vmax）sec水平可搬質量kgP2mmボールねじリードmm最大イナーシャ×10−4kg・m2ストロークエンド（O.T.1,O.T.2）原点前（PORG）モータ ガイド 原点（ORG）質量kgセンサ100.981.272.132.3016K-G569WMSMD022P1S16K-G569WMSMD022P1S16K-G569WMSMD042P1SSGL15TF,SGL15TE,SGW21TEフォトマイクロフォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相フォトマイクロエンコーダZ相48.547.560.559.098.097.5最高速度はX方向もしくはY方向にのみ移動する場合の値です。複合した移動の場合には最高速度が変化します。水平可搬質量は質量位置がテーブル中央部の場合の値です。また、加減速時間により変化します。イナーシャはボールねじとテーブル可動部を含めたモータ軸換算イナーシャです。モーターロータのイナーシャは含みません。イナーシャはテーブル動作状態により変化します。ACサーボモータの電源はAC100V仕様も選択できます。NBN形呼び番号の構成例）NBN 100NBN形 有効ストローク5M：5相ステッピングモータAC：ACサーボモータAC-P1mmMmmLmmWmmFmmEmmBmmAmmN2N1 QmmDmm488300350224257525X0.570.741.191.35Y※X軸ORGセンサ※Y軸ORGセンサY軸モータX軸モータY軸O.T.2センサX軸O.T.1センサX軸O.T.2センサX軸PORGセンサY軸O.T.1センサY軸PORGセンサD150DF33.5 56.5S/2S/241.51023.5QWE110S/2S/2P2P1P2P1LBAMN1-M6深さ10（N2＋1）×2-M6用取付穴N2×150※部ORGセンサはステッピングモータータイプに適用します。