【新製品追加！】【業界事例】 二次電池業界向けアプリケーション＆製品 【真空機器・真空パッド・スペシャルグリッパー】

自動搬送用真空機器 二次電池業界 リチウムイオン電池の製造工程向け製品

二次電池業界 各工程に適したシュマルツ製品 セルの生産（パウチ型セル） 1. 電極の切断 2. 電極材の積層 / つづら折り方式 OK NG マルチステージエジェクタ 真空ポンプ 真空ブロワ 電極材向けグリッパー コンポジットグリッパー 非接触パッド SBPL EVE-TR SB FLGR SCG SBS 利点 利点 ・ 優 れたメンテナンス性、低発塵 ・ しわ等の物理的な負荷を抑制 ・ 高吸込み量で真空コンベアから強力に吸引 ・ クリーンルーム対応 ・ 光学検査時に、高真空圧で位置精度の優れた吸着 ・ 高速搬送かつ優れた位置決め精度 モジュールの組み立て（パウチ型セル） 5. セルの搬送 6. セルの積層 2.5段ベローズパッド スプリングプランジャー コンパクトエジェクタ 2.5段ベローズパッド スプリングプランジャー コンパクトエジェクタ FSG FSTIm SCPS / SCPSi FSG FSTIm SCPS / SCPSi 利点 利点 ・ 電 解液による腐食に強い材質 ・ 電解液による腐食に強い材質 ・ 停電時の真空状態の保持 ・ 停電時の真空状態の保持 ・ E SD対策 ・ ESD対策 電極材に対するしわや変形の発生を抑制することができる電極材向け 電極材用グリッパー FLGRは使用環境下の塵埃を吸い込んで除去する事 グリッパー FLGR が可能 container 2

二次電池業界 各工程に適したシュマルツ製品 3. セルの封入 4. 電解液注入 電極材向けグリッパー 真空パッド スプリングプランジャー 真空パッド スプリングプランジャー コンパクトエジェクタ FLGR SGPN FSTIm SGPN FSTIm SCPS / SCPSi 利点 利点 ・ し わ等の物理的な負荷を抑制 ・ しわ等の物理的な負荷を抑制 ・ クリーンルーム対応 ・ 電解液による腐食に強い材質 ・ E SD対策 ・ 予知保全機能で、パッドの劣化によるキャッチミスを抑制 バッテリーパックの組み立て 7. ハウジング搬送 8. バッテリーモジュールの投入 真空グリッパー 真空グリッパー 真空ポンプ 真空グリッパー 真空グリッパー 真空ポンプ FX / FM FXP / FMP EVE-TR FX / FM FXP / FMP EVE-TR 利点 利点 ・ 形 状のついたハウジングを確実に搬送 ・ 形状のついたハウジングを確実に搬送 ・ 重 量物を搬送できる強力なグリップ力 ・ 重量物を搬送できる強力なグリップ力 ・ 停 電時の真空状態の保持 ・ 停電時の真空状態の保持 パウチフィルム吸着に適した薄型リップをもつSGPパッドには、電解液に パウチセルのサイズに合わせて自由に組み立てられるロボットハンド VEE よる腐食に強い材質のパッドもラインアップ container 3

二次電池業界 各工程に適したシュマルツ製品 セルの生産（角型電池および乾電池） 1. 捲回 2. ジェリーロール搬送 吸着搬送は使用しません 真空パッド スプリングプランジャー コンパクトエジェクタ SGPN FSTIm SCPS / SCPSi 利点 ・ 確実かつ変形のない搬送 ・ クリーンルーム対応 ・ ESD対策 モジュールの組み立て（角型電池および乾電池） 5. セルの搬送 6. セルの積層 1.5段ベローズパッド コンパクトエジェクタ マグネットグリッパー コンパクトエジェクタ スプリングプランジャー マグネットグリッパー FSGA SCPS / SCPSi SGM SCPS / SCPSi FSTIm SGM 利点 利点 ・ 電 解液による腐食に強い材質 ・ 磁力による金属製ハウジングへの強い把持力 ・ 停 電時の真空状態の保持 ・ 電解液による腐食に強い材質 ・ 磁力による金属製ハウジングへの強い把持力 ・ 停電時にも吸着状態を維持 探す 乾電池のサイズ、個数に合わせて設計可能なカスタマイズ式グリッパー。 吸着可能な面積に対して重量のあるワークの搬送に適したマグネット 電極面にゴムの残渣を残しにくいパッドや安定性の高い高速搬送が可能。 グリッパー SGM。移動時のブレを抑制できるオプションパーツもご用意 container 4

二次電池業界 各工程に適したシュマルツ製品 3. 電池ケースへの封入 4. 電解液の充填 1.5段ベローズパッド コンパクトエジェクタ マグネットグリッパー 1.5段ベローズパッド コンパクトエジェクタ マグネットグリッパー FSGA SCPS / SCPSi SGM FSGA SCPS / SCPSi SGM 利点 利点 ・ プ ラスマイナス両極の端子面にゴムの残渣を残さない ・ 磁力よる金属製ハウジングへの強い把持力 ・ ク リーンルーム対応 ・ プラスマイナス両極の端子面にゴムの残渣を残さない ・ 予知保全機能で、パッドの劣化によるキャッチミスを抑制 ・ 電解液による腐食に強い材質 バッテリーパックの組み立て 7. バッテリーパックの搬送 8. バッテリーモジュールの投入 真空グリッパー 真空グリッパー 真空ポンプ 真空グリッパー 真空グリッパー 真空ポンプ FX / FM FXP / FMP EVE-TR FX / FM FXP / FMP EVE-TR 利点 利点 ・ 形 状のついたハウジングを確実に搬送 ・ 形状のついたハウジングを確実に搬送 ・ 重量物を搬送できる強力なグリップ力 ・ 重量物を搬送できる強力なグリップ力 ・ 停 電時にも吸着状態を維持 ・ 停電時にも吸着状態を維持 探す パッドの劣化によるキャッチミス等、思わぬ事故の防止が可能な予知保全 柔軟かつ追従性の高いスポンジを吸着面にもつ真空グリッパー FMシリーズ。 機能付きエジェクタ SCPSi。 小型の電池にも負荷をかけることなく搬送可能。 container 5

二次電池業界 しわ、変形対策 / コンタミネーション対策 電極材向けグリッパー FLGR 電極材向けグリッパー FLGRは、電極材等にしわや変形等の負荷 ① 排気ポート をかけず、高速搬送できる専用のグリッパーです。真空発生器と多 孔プレートが一体化したデザインになっているため、電極材搬送 において課題となる変形やコンタミネーションを抑制します。 FLGRは主に右図の4つの部品から構成され、お客様のワークや ② 真空発生器 ニーズに応じてカスタマイズする事ができます。特に多孔プレート ③ 吸着プレート は低発塵のPEEK樹脂や、昨今ニーズが高まっているESD（静電気 放電）対策仕様等、サイズや形状だけでなく材質も多数ラインアッ ④ アクセサリ プしています。 電極材向けグリッパー FLGRの構成例 排気ポート: 真空発生器: 吸着プレート: アクセサリ: 排気ポートを介して使用環境内の 低真空かつ大流量の吸込みが可 ワーク全面をおだやかに吸着す 真空パッドや2枚取りを防止する 塵埃を取り除く事ができます。排気 能な真空発生器です。サイクルタ ることで、ワークへの負荷を軽減 非接触パッド等を追加する事が ポートは、垂直方向と水平方向の2 イムを大幅に削減し、集塵にも有 します。ニーズに合わせて吸着面 可能です。 種類をご用意しています。 効です。 の材質を選択する事ができます。 しわ、変形対策 FLGRは局所的に真空状態を作る事で把持力を生むのではなく、 保持力 [N] 吸着プレートによってワーク全体を低真空かつ大流量で吸込む事 によって把持力を生みます。その結果、一般的な真空機器と比較し FLGR ワーク表面への負荷や変形を抑えながらも非常に優れたグリップ 一般的な真空機器 力を発揮します。 （ 真空パッド、ベルヌーイ式 パッド等） ワーク表面への負荷 [N/cm2] 真空パッドを使用した場合 FLGRを使用した場合 ワークへの負荷 コンタミネーション（異物）対策 FLGRは吸着プレートの材質としてPEEK樹脂を選択する事ができ 塵埃量 ( < 50 μm ) ます。PEEK樹脂は耐摩耗性に優れ、発塵を抑える事が可能です。 静電気の除電に有効なESD（静電気放電）対策の吸着プレートも ラインアップしています。また、大流量の吸込みによって電極材上 真空パッド の塵埃を除去し、排気ポートを介して回収する事が可能です。 FLGR 吸着前 吸着後 真空パッドを使用した場合 FLGRを使用した場合 空気中の塵埃量 上記比較テストは、ドイツの生産技術・オートメーション研究所である “フラウンホーファー IPA” によって行われました。 container 6

二次電池業界 電解液による腐食への耐性 / クリーンルーム仕様 電解液による腐食への耐性 全ての電池にはイオンが電極間を移動するための電解液が充填されます。 この電解液は、触れた物質を腐食する性質を持っています。 シュマルツでは電解液による腐食に強い材質の真空パッドをご用意しています。 他の材質の真空パッドと比較し、長期間使用できるため、生産性向上にお応え する事が可能です。 クリーンルーム仕様 シュマルツは、ドイツの生産技術・オートメーション研究所である “フラウンホーファー IPA” に、クリーンルームの国際規格ISO 14644-1との適合テストを依頼し、認証された各種製品をご用意しています。 クリーンルームクラス 各クラスに適したシュマルツの製品例* ISO 14644-1 真空パッド スペシャル 真空パッド用 グリッパー 真空グリッパー 取付部品 真空発生器 ISO 1 QN FSG SCG FSTIm SGON FLGR (STGG)** ISO 2 FSTIm FSGA FM-SW （回転防止タイプ） ISO 3 SGPN SPF-ED ISO 4 FSGA-SI SCPS/SCPSi SCPSb ISO 5 ISO 6 FX-SW ISO 7～ISO 9 シュマルツの全ての製品は、クリーンルームのクラス ISO 7～ISO 9に準拠します *具体的な製品型式によって、クリーンルームのクラスは異なります。また、上記以外の製品につきましても順次認証テストを行っております。 **FLGRシリーズはカスタマイズ品のため、FLGRをベースとして標準化したSTGGにて認証を取得しています。 クリーンルームの規格 ISO 14644-1, JIS B 9920 FED-STD-209D（米国連邦規格） 空中の塵埃数/m³ 空中の塵埃数/ft³ 0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1.0 µm 5.0 µm 0.5 µm ISO 1 10 2 - - - - - ISO 2 100 24 10 4 - - - ISO 3 1,000 237 102 35 8 - 1 ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83 - 10 ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 100 ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 1,000 ISO 7 - - - 352,000 83,200 2,930 10,000 ISO 8 - - - 3,520,000 832,000 29,300 100,000 ISO 9 - - - 35,200,000 8,320,000 293,000 1,000,000 container 7

二次電池業界 ESD（静電気放電）対策 / デジタリゼーション ESD（静電気放電）対策 静電気の帯電や放電は、電極材の破損をはじめ、ピックアップ時の二枚取りや塵埃の付着など様々な問題を引き起こします。また ドライルームという二次電池業界ならではの生産環境が、静電気の発生頻度の増加をもたらします。 生産工程の中で効率良く静電気を除電を行うために、シュマルツでは静電気拡散性の性質をもつ真空パッドやスプリングプランジャ ーを開発しています。真空機器の材質そのものが除電に適しているため、特別なメンテナンスは不要です。 シュマルツの ESD対策製品 「帯電防止」として定義される抵抗値 ESD対策製品の抵抗値 (100 kΩ – 1GΩ) 103 104 105 106 107 108 109 1010 1011 1012 1013 導電性材質 静電気拡散性 (ESD対策) & 帯電防止 絶縁性材質 デジタリゼーション シュマルツは「Industrie 4.0」を実践しています。 真空発生器 i-シリーズをはじめとするシュマルツのスマートデバ イスは、リアルタイムでの相互通信やエラーの早期発見・予測を 通じ、製造現場を未来へと導きます。収集された重要なプロセス データはIO-Linkを介し、マスターレベルまで到達します。 コンディションモニタリング - システム可用性の向上 - CONDITION MONITORING • エジェクタの真空圧や真空到達時間などの プロセスデータのモニタリング • システムの状態の詳細な分析とエラーの 早期検出 状態監視や予知保全などが可能となる真空機器をラインアップ • 製 品識別による迅速かつ効率的なトラブル シューティング • ダウンタイムの最小化によるコスト削減 エネルギーモニタリング プロセスデータの コンディション情報の - 消費エネルギーの最適化 収集 送信 - • エネルギー消費量のリアルタイム表示と出力 レベル 情報の種類 計測内容の • 運 転開始前に真空システムのエネルギー効率を 分析 最適化 運用計画の基本能力と ERP • 機 器や生産サイクル、シフトごとの傾向分析 可用性 • 不均衡なエネルギー消費の原因特定 • システムコントローラでの可視化 MES メンテナンス要件、生産 性および品質データ 予知保全 - 吸 着システムの性能と品質の向上 - HMI パラメータの入力および 測定値の出力 (例: エネルギー消費量) • 吸着システムの流動抵抗とエア漏れ量の測定 • グ リッパーの性能評価による迅速なシステムの 最適化 機器設定の最適化 I/O情報 (例 : 真空到達圧、ワーク • エ ラーの発生箇所の特定や予防 の把持、サイクル時間) • プ ロセスデータのモニタリングや、システムの 状況変化の早期発見（漏れや詰まりなど） container 8

二次電池業界 真空機器製品 生産工程 セルの生産 モジュールの組立 特長 変形抑制 ESD対策 電解液対応 クリーンルーム仕様 IoT製品 電解液対応ゴム製 真空パッド フラット真空パッド SGPN（電解液対応） • パッド径: Ø15～34 mm 材質 電解液対応ゴム 薄いワークを吸着する時のしわや変形を抑制する真空パッド。• : 特に実装基板やフィルムなどの吸着搬送に好適。 お問合せ ください 1.5 段ベローズパッド FSGA（電解液対応） • パッド径: Ø12～43 mm 材質 電解液対応ゴム 標準的な1.5段のじゃばらパッド。電池製造工程において、特に• : 電解液に真空パッドが触れる工程で、高い耐久性を発揮。また、 高温にも高い耐性を発揮するため、パッド交換の手間を削減。 お問合せ ください 2.5 段ベローズパッド FSG（電解液対応） • パッド径: Ø9～32 mm 材質 電解液対応ゴム 標準的な2.5段のじゃばらパッド。電池製造工程において、特に• : 電解液に真空パッドが触れる工程で、高い耐久性を発揮。また、 高温にも高い耐性を発揮するため、パッド交換の手間を削減。 お問合せ ください ESD対策ゴム製 真空パッド フラット真空パッド QN-ESD • パッドサイズ: Ø1～30 mm 材質 対策ニトリルゴム 汎用的に使用可能な真空パッド。静電気の帯電を防止し、意図• : E SD しない静電気の放電を抑制。 （電気抵抗値: 105Ω～109Ω） お問合せ ください 1.5 段ベローズ真空パッド FSGA-ESD • パッド径: Ø4～ 33mm 材質 対策ニトリルゴム 標準的な1.5段のじゃばらパッド。静電気の帯電を防止し、意図• : ESD しない静電気の放電を抑制。 （電気抵抗値: 105Ω～109Ω） お問合せ ください 2.5 段ベローズ真空パッド FSG-ESD • パッド径: Ø3～32 mm 材質 対策ニトリルゴム 標準的な2.5段のじゃばらパッド。静電気の帯電を防止し、意図• : ESD しない静電気の放電を抑制。 （電気抵抗値: 105Ω～109Ω） お問合せ ください 真空パッド用取付部品 スプリングプランジャー FSTIm • ストローク: 5 mm、10 mm、20 mm • パッド接続口: 、 低発塵、低反発でパウチセルやジェリーロール等繊細なワークM3 M5、ニップル004、016 回転防止 選択可 吸着時のバッファとして最適。静電気対策が可能な導電性モデ• : バネの強さ 段階から選択可 ルもラインナップし、二次電池製造工程で求められる各種ニー• : 3 ズに幅広く対応。 128 container 9

二次電池業界 真空機器製品 真空発生器 ベーシックエジェクタ SEG • 吸込量: 7～370 l/min 最大真空度 ～ シンプルで使いやすいベーシックなエジェクタ。ノズルとハウ• : 55 85 % 質量: ～ ジングが金属製のため、電解液を伴うアプリケーションにも使• 10 404 g 用可能。 435 ベーシックエジェクタ SBP-HV/HF • 吸込量: 13.2～308.8 l/min 最大真空度 ～ より少ないエア消費で多くの吸込量を発生させる多段式ノズル• : 55 90 % 質量: ～ の真空発生器。サイレンサの有無や、吸込量もしくは真空圧重• 29 295 g 視など、アプリケーションに適した仕様を選択可能。 454 ベーシックエジェクタ SBPL • 吸込量: : 290～1140 l/min 最大真空度 ～ 通常のエジェクタと比べ、より少ないエア消費で多くの吸込み• : 60 90 % 質量: ～ が可能。セパレータをはじめとした通気性のあるワーク搬送時• 0.8 1.5 kg の真空圧低下を抑制し、安定した吸着に貢献。 144 コンパクトエジェクタ SCPS / SCPSi • 吸込量: 16～71 l/min • 最大真空度 エアセービング機能や真空破壊機能を搭載したコンパクトエジ: 85 % 質量: ～ ェクタ。IO-Link通信対応モデル（SCPSi）では、外部からのモニ• 165 195 g タリングや設定変更等が可能。外部排気用ポートも接続可能。 162 ターミナル式エジェクタ *2019年4月、製品型式を「SCTMi」から SCTSi * 「SCTSi」に変更いたしました。 製品仕様に変更はございません。 • 吸込量: 1台あたり16～71 l/min 最大真空度 最大16台のエジェクタを1つのユニットとして制御可能。電気ケ• : 85 % 一括/個別で制御可能なエジェクタ数: ーブルや配管が各1本で済み、部品や作業のコストを軽減。IO- • ～ 台 Linkに対応し、離れた場所からの状態監視や設定変更が可能。2 16 ドライランニング式真空ポンプ EVE-TR • 吸込量: ( 50 Hz) 4.1～244 m³/h ～ 簡易メンテナンスのドライ・ランニング真空ポンプ。(60 Hz) 4.7 286 m³/h • 最大真空度: (50 Hz) -80 ～ 幅広い流量をラインナップ。 -90 kPa 174 真空ブロワ SB • 吸込量: ( 50 Hz) 75～1050 m³/h ～ 真空コンベア等、大流量の吸込みを必要とするアプリケーショ(60 Hz) 91 1250 m³/h • 最大真空度 ンに最適。: ( 50 Hz) -10.5 ～ -44 kPa (60 Hz) -8 ～ -40 kPa 別刷 システムモニタリング 真空スイッチ / 正圧スイッチ VSi • 測定範囲: 真空圧 ～ IO-Link通信に対応した圧力スイッチ。離れた場所のコントロー(VSi-V): -100 0 kPa 正圧 ～ ラから測定値の確認やパラメータの設定が可能。2点デジタル (VSi-P10): 0 +1 MPa 真空圧＆正圧 出力。極性（PNP/NPN）やヒステリシスを変更可能。(VSi-VP8): -100～+800 kPa 206 真空スイッチ / 正圧スイッチ VS-W-D-K-3C • 測定範囲: 真空圧 ～ 3色（メイン表示: 2色、サブ表示: 1色）ディスプレイを備えた (VS-V-...-3C): -100 0 kPa 正圧 ～ 圧力スイッチ。ヒステリシスの調整・設定が可能。2点デジタル (VS-P10-...-3C): 0 +1 MPa 出力。チャタリング防止のための応答時間の変更が可能。 別刷 container 10

二次電池業界 真空機器製品 スペシャルグリッパー 非接触パッド SBS • 本体サイズ: Ø20～120 mm 保持力 ～ エアクッションを挟んで吸着するため、最小限の接触によって• : 2 104 N ブレーキパッド材質 マークレスゴム 搬送可能。BMSなどの部品を実装済みの基板搬送や、電極材の• : （取り外し可能） 2枚取り防止用途での使用に最適。 238 コンポジットグリッパー SCG • 吸込量: 270～650 l/min • 吸着プレート径 ～ 高吸込量の真空発生器が一体化。吸着面に、薄いワークの変形: 40 60 mm 吸着パッド径 Ø ～ や局所的負荷を抑制する多孔プレートや、実装基板など凹凸の• : 20 50 mm パッド材質 等 あるワークにも柔軟に追従するパッドを取付け可能。• : NBR-ESD, NBR-AS, SI-HD 236 電極材向けグリッパー FLGR • 吸込量: 任意 吸着プレートサイズ 任意 電極材やフィルムなど薄くデリケートなワークの吸着に適した• : プレート材質 多孔プレートのグリッパー。ワークの局所的な負荷やコンタミネ• : PEEK, POM-AS, PA ーションを抑制。真空発生器の数量やプレートのサイズなどを お問合せ ワークに合わせて選択可能。 ください マグネットグリッパー SGM-HP • 吸着面サイズ: Ø20～50 mm 最大保持力: 永久磁石による把持のため、金属製ハウジングの把持に最適。• （滑り止めリングあり） ～ 圧縮エアで作動し、真空発生器が不要。乾電池のハウジングな16 290 N （滑り止めリングなし） ～ ど曲面の把持に適したオプションパーツもラインナップ。25 415 N 別刷 真空ロボットハンド 小型真空グリッパー FX / FM • グリッパーサイズ: 真空発生器外付け型: 吸着面がスポンジや真空パッドで覆われたグリッパー。スロッ76x22 mm、120x60 mm 真空発生器内蔵型: トルバルブが一体化し、吸着面全てが覆われていない場合にも120x60 mm 吸着面 スポンジ 真空パッド 吸着搬送が可能。小型のセルや電池に適した76x22 mm（真空• : / 発生器外付け型のみ）と120x60 mmをラインアップ。 真空グリッパー FXP / FMP • グ リッパーサイズ: ～ 吸着面がスポンジや真空パッドで覆われたグリッパー。バルブ280x130 mm 1432x130 mm • 吸着面: スポンジ 真空パッド が一体化し、吸着面全てが覆われていない場合にも真空圧の/ 真空発生器の有無を選択可能 維持が可能。ハウジングやバッテリーモジュールなど大型ワー• クの吸着搬送に好適。圧縮エアで作動する真空発生器一体型 と、ブロアやポンプと接続可能なタイプをラインアップ。 モジュール式エンドエフェクタ VEE • 最大ワーク重量: 2 kg 可搬ワーク寸法 モジュール式のロボットハンド。ハンドサイズや真空パッドの種• : ～ 類・配置を容易に変更可能なため、サイズの異なるセルにも迅15x15 mm 400x300 mm 速に対応可能。各種ロボットフランジをラインアップし、ロボッ トとの取付が容易。 container 11

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