半導体関連装置向けに特化した解析ソフトです
ガス流れや薄膜生成のシミュレーションに。大規模形状でも短時間計算
当社では、半導体関連装置向けに特化した解析ソフトを取扱っています。
希薄流体解析ソフト、プラズマ解析ソフトをラインアップし、
有機ELやマグネトロンスパッタのシミュレーションに活躍。
お客様のニーズに合わせた対応も可能です。
【ラインナップ】
《希薄流体解析ソフト『DSMC-Neutrals』》
■非構造メッシュに対応しているため、複雑な形状の計算に対応
■装置内全体のガス流れのシミュレーションが可能
《プラズマ解析ソフト『Particle-PLUS』》
■低圧のプラズマシミュレーションが可能
■プラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造などに
この2つのシステムで、半導体製造における薄膜生成、スパッタリング、
プラズマエッチングなどの様々なシミュレーションに対応可能です。
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MAIL:information@wavefront.co.jp
このカタログについて
| ドキュメント名 | 半導体関連装置向け解析シミュレーションソフト |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 406.8Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ウェーブフロント (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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希薄気体流れ / プラズマシミュレーション
DSMC-Neutrals は希薄気体流れのシミュレーションソフト
ウェアである。非構造メッシュに対応しているために複雑な形
状の計算に対応しており、装置内全体のガス流れのシミュ
レーションを可能としています。
ＭＢＥ
DSMC-Neutrals 実験データ
キャップあり キャップなし
LP-OVPD F : 20 [ sccm ]
T : 269 [ ℃ ] CVD Reactor （シャワーヘッドモデル）
F : 20 [ sccm ]
T : 276 [ ℃ ]
F : 40 [ sccm ]
T : 269 [ ℃ ]
F : 40 [ sccm ]
T : 276 [ ℃ ]
極超音速流れ ベナール対流衝撃波
Particle-PLUS は低圧プラズマシミュレーションソフト
ウェアである。流体モデルでは計算できない低圧のプラ
ズマシミュレーションが可能です。
マグネトロンスパッタ マグネトロンスパッタ (パルス電圧) 2周波モデル
ストリーマー
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