SmarAct社のピエゾステージ・多軸ステージシステム/レーザ干渉変位計をご紹介しています。
【掲載内容】
◆ピエゾステージ・多軸ステージシステム
・リニアステージ
・ロータリーステージ
・6軸キネマティックステージ
・オプト・メカニクス
・コントローラ
◆ピコスケール・長ストローク レーザ干渉変位計
◆詳細は、カタログをダウンロードしてご覧ください。
このカタログについて
| ドキュメント名 | ピエゾステージ・多軸ステージシステム/レーザ干渉変位計 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 2.7Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社フィジックステクノロジー (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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株式会社フィジックステクノロジー
〒272-0023 千葉県市川市南八幡 4-2-5 いちかわ情報プラザ
TEL:047-370-8600 FAX:047-370-8623
URL:www.physix－tech.com E-mail:info@physix－tech.com
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ピコスケール・長ストローク
レーザ干渉変位計
500mmの測定レンジとピコスケールの分解能を両立し
サンプリングレート 10MHz を実現したコンパクトな
SmarAct 社の新型レーザ干渉変位計
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特徴
●０~500mmのロングレンジ ●ピコスケールの分解能
●10MHzの高速測定スピード ●φ4mmの小型センサヘッド
●3ch対応USB・Ethernet ●高真空・超高真空など
I/F コントローラ 多様な環境に対応
●自動ステージ・精密機器への ●用途に応じたプローブの
組込みに最適 制作可能
仕様
チャンネル数 ３ 測定レーザ DFBダイオードレーザ (1550nm)
測定レンジ ０～ 500mm アライメントレーザ レーザダイオード (650nm)
最小分解能 1pm インターフェース USB2.0：10MHz(48bit)
ギガビット Ethernet
サンプリングレート 10MHz AquadB：10MHz
標準プローブサイズ φ4mm・L13mm オプション：DAC,ADC,TTL など
SmarAct のピコスケール・レーザー干渉変位計は、
ロングレンジで高分解能な測定を、簡単かつ安定
な測定を実現するためのオプションツールを取り
揃えております。
●温度補正ユニット：温度±0.2°, 気圧±200Pa, 湿度±２％RH
●調整用センサーホルダー：STT-12.7 による 2軸チルト機構
●高真空 /超高真空用フィードスルー
株式会社フィジックステクノロジー
〒272-0023 千葉県市川市南八幡 4-2-5 いちかわ情報プラザ
TEL:047-370-8600 FAX:047-370-8623
URL:www.physix－tech.com E-mail:info@physix－tech.com