超小型・長ストローク　ピエゾステージ・多軸ステージシステム

三ｍ霊ｉＡ輯 Ｊ＝ミトーＣＭＯＩｌＯＮ 超小型・長ストローク ピエゾステージ・多軸ステージシステム 「 ￣、 、 「 割、 〆￣、 しing己ｌ 「 鱒pla｢Lｌ ＭｉＥｌｐｇ｢ｉｐｐＥ｢日 Ｍｇｌ｢qiQgLl ｐｄ三ｉＭＤｎ屋電 ＪｉＺｒＬＥａＥ ＰＣ富ｉＩｉｐｎＥ｢目 Ｄ弓ｎＩＢＰＰｍＰＴＩヨロ１ｍ.， Ⅵ11.o1LIi≧9ＪⅣＭｄ｡Ｊ１‐ 週冒野1-龍nEIclTl2垣「 曲皀~＝: Ｆ１ ＦＤ 、可 耀…葱： ▲ 鰹 r戻り⑬ し －Ｊ ’ 「 ~、 OPluM巳Ehpnに ＭｉＥｉｐｓＥＤｐｕ５１ＢｇＥＢ ｢｡薊 『」… ‘ ､、画一 「 ￣、 ｍここQ｢1口ilipns ５，口｢PQd- UlldHLI1Vd胃LLlll, i則卜Ⅳ己.１２にＦｄｃ５ 51ｍｌｇａｒＢｌＩ燈||《irl2mBiiE圏 ／ 鱈曇 凸 澪善菖篭蕊霧 Ｉ ’ ）⑤ 、 ） 戸倒 罫一》

リニアステーi護 SＬＬシリーズ ￣ [-コ SLLシリーズは、レールに設置されたキャリアが自走するユニークなピエゾ 回Ⅲ、 ステージです。レール長は最長1480ｍｍあり、その上に複数のキャリアを 、ぐ孝 設置できますので、ステージを重ねる必要がありません。 譲罰鰻 クローズドループ仕様や真空対応もご提供可能です。 ストローク ３3５5~460/１０~940ｍｍ レール長 ７7０0~475/70～1480ｍｍ ＞二 課目弓ヨミ宮壺 Ｐ垣巴田 エンコーダ分解能 １l，ｎｍ レール幅 １２/4４2２ｍｍ 推力 ３ｏｒ５Ｎ ステージ高さ １３/１６ｍｍ 冤弓員王琵室豆 ＝＆目 最大耐荷重 墓§！ ３０Ｎ キャリア重量 ４4４4/14４8８9９ 最高速度 ２０ｍｍ/５ｓ 真空対応 ＨHＶ ＳＬシリーズ SLシリーズは、世界最小クラスのミニチュアピエゾステージです。 最小11xllmmと小型ながらXYZ軸などに組み合わせる事も可能です。 真空対応も可能ですので、狭い場所でのご利用に最適です。 ストローク 藷４．５４，．１５，１１‘１１，１６６ｍｍｍｍ ステージ>長長 １'１’，’２１，３１ｍｍ ど悪 エンコーダ分解能 雪震 ステージ>幅 幅“躍 罵霜１１ｍｍ 推力 憲蕊1.61.Ｎ6Ｎ ステージ》高さ高さ濠 蕊５5．.２2ｍｍ 最大耐荷重 露霊…１Ｎ1Ｎ霜 重量 ３3，６，９９ ■＝Ｆ 最高速度 135ｍ/５ｓ 真空対応 ＨHＶｏＵＨＶ 護国鼠＝§ 直＝溝：ミーー亜目 弓遇 S1.1Ｌシリーズ J ０’ SHLシリーズは、高耐荷重のＺ軸ピエゾステージです。ピエゾステージでは困難 '１ p だった重量物の垂直移動が可能です。 l襖'１１１ ■■ ストロークも１１ｍｍありクローズドループにも対応します。 ストローク １０ｍｍ ステージ長 ７５ｍｍ エンコーダ分解能 １，ｍ ステージ幅 ６6５5ｍｍ 鍔昌霊 目品 推力 ステーージジ高饗農ﾐ譲塞澤 高ささ諺 ５００ｍｍ ｍ塞ぎ 最大耐荷重 塞菖霊 ２０Ｎ 重量 量菖 郭２０20０0９9 最高速度 蓬９ｍ9ｍｍ/ｍ/ｓ５ 真空対応 ＨHＶｏＵＨＶ 一『 騨一 辮 一

ロータリース巖－ジ SmarAct社のロータリーピエゾステージＳＲシリーズは、数種類のベアリングを開いて、小型 タイプ゜中空タイプ゜高耐荷重タイプなど豊富なラインナップを取り揃えております。 全籟デルともリミットなしで３６○・回転させることが可鱸です。 小型ステージ 小型ロータリーステージとしてSR-1908,SR-2013,SR-Z81Z 痘自 の３種類をご用意しております。SR-1908はオープンルー ご由■＄ プ用ですが、最も小型のロータリーステージです。 SR-ZO13とSR-2812はセラミックベアリングを採用した高 精度なロータリーステージです。 宮－１－了?-1岸跨岸＝F÷ エンコーダ 推力 ｣最ﾖJ大zノ耐ｕⅢ荷Ｍ則重呈三 最大速度 ステージ ステージ 重量 真空対応 藁 分解能 外形 高さ SR-1908 0.5Ｎｃｍ 5Ｎ 45.／５ｓ Z２４７ｘ×Ｚ２Ｏ０ｍｍ 8.5ｍｍ １1３９ HＶ SR-Z2O013 ZＺ5５1ｌuｕ。｡ O0.５5Ｎ ｃｍ ３3Ｎ 45.°／ｓ 2Z5５.５5ｘｘ２Ｚ０Ｏｍｍ １０，２２ｍｍｍ １1１９ ＨＶ゜・ＵＨＶ SR-2Z812 ２Z5５1且u｡o ３3Ｎｃｍｍ 錘 ３3Ｎ 25.°／ｓ 3３7７5５×３3０0ｍｍ １２ｍｍ 359 ＨHＶ・ｏＵＨＨＶＶ ｕ員、 tnh1 １日、 一 千1面 中空ステージ ｒＰ－翰 Jご句 ● （:t)《 ロ匹 罠1 中空ロータリーステージとしてSR-57145R-5714C， 714〔 SR701Z SＲ５７１４ SR-701Zに加え、SR-70Z1,SR1201Zがラインナップに 加わりました。 、 中心穴径は光学用とに最適な①25ｍｍや３０ｍｍ更に E１ 82ｍｍの大口径タイプもございます。 SR-5714CとSR-7021は超高真空にも対応します。 SＲ７０ ２１ エンコーダ 推力 最大耐荷重 最大速度 ステージ ステージ 重量 真空対応 分解能 外形 高さ SR-5714 １1５5｣1ｕｕ《。, 7Ｎｃｍ ２５Ｎ ９．／ｓ ５７×５７ｍｍ １4４ｍｍ 1lｌ１ｏ０ｇ９ ＨHＶ - 戸 SR-5714C １ｌ５１ｕ。゜ ５5ＮＮｃｃｍｍ 鐘 ２５Ｎ ９．／５ ５７×５７ｍｍ ￣3 .75ｍｍ １０５９ ＨHＶｏＵＨＶ SR-7012Z １1５51Llｕ･。 １lＯ０Ｎｃｍ ２2５5Ｎ 9９.．／５ｓ ７０×７０ｍｍ １２ｍｍ 1００９ ＨHＶ SR-70Z1 1ｌ5５１1ｕ。･ １lＯ０Ｎｃｍ ２５Ｎ ９．／ｓ５ ９０×９０ｍｍ ２1１ｍｍ 4009 ＨHＶｏ・ＵＨＶ SＳＲR－-１1２Z０O１1２2 ５１ｕ･。 １l５Ｎｃｍ Z２O０Ｎ １０．／５ １２０>×<１１２２０ｍｍ １２ｍｍ ３3z２０o９g ＨHＶ

ロータリーステージ 伊於一一 高耐荷重ステージ 通やJb SR4513 SR5018 高耐荷重ロータリーステージにはSR-45135R-5018,SR-70Z1にSR- 4011が加わりました。SR-5018とSR-4513,SR-4011はマイクロセ ンサも選択可能ですので、低価格なクローズドループステージとして :蕊轤． ご利用いただけます。 鐵馴Ⅷ エンコーダ 推力 最大耐荷重 最大速度 "スステテーージ ス饅テテーージ 重量 真空対応 分解能 外形 高さ SR-4513 l151Uuc･ 5Ｎｃにｍ、 20Ｎ １５°゜／５ ４５×４５ｍｍ １２５ｍｍ 899 ＨHＶ ＳSRＲ-５5０0１1８8 １ｌ５L１ｌｕ . ７7ＮNｃ〔ｍｍ 零 垂２０20Ｎ １1５5．.／ｓ ５０×５０ｍｍ １1６6５5ｍｍ ‘１1００９ ＨHＶ SR-7021 １ｌ５｣１uｕ゜｡ １l０ＯＮｃｍ 25Ｎ 9゜.／５ｓ ９０×９０ｍｍ ２１ｍｍ 4009 ＨHＶｏ・ＵＨＶ SR-4011 １1５51Lｕ(。 5Ｎｃｍ １０Ｎ １５゜．／ｓ 4４0０×４０ｍｍ １１ｍｍ tba HＶ コニオメーター ■二三 Ｅ■ 脚 SGOシリーズは、ピエゾステージとしてはユニークなゴニオメーターです。 1､ 3種類のガイド径タイプをご用意しております。 高い分解能が必要なアプリケーションに最適です。 エンコーダ ステージ 回転中心 回転量 推力 最大耐荷重 最大速度 真空対応 分解能 外形 長さ ＳＧＯ-60.5 Ｚｌ ＋似ｕ。 ５０×５０ｍｍ 6６0０5５ｍｍ ±’５ ． ZONcm 5Ｎ1 4４。．／５ ＨHＶｏＵＨＶ ＳＧＯ-77,`5５ 2ｌ瓜ｕ。： ５０×５０ｍｍ 77.5ｍｍ ±【５． ＺZＯOＮNｃcｍm 5Ｎ1 4４°． ／５ 卜HＩＶＶｏｏＵＵＨＶ 碇F ▽｡雫j月忌室Ｆ ＳSＧGＯO-93.,5 ２Ｚｌ１ｕｕ。 ･雫 ５０×ｘ５０ｍｍ 93.5ｍｍ ±5。 Z0ONcm 5Ｎ ４．／５３ ＨHＶ・ｏＵＨＶ ９１ マイクログリッパー ■手■ ５Ｇ－１７３０ Ｊ ＳＧシリーズは、SmarAct社のピエゾステージを応用したピエゾ駆動の グリッパーです。ご用途に応じて先端の爪形状をお選びいただけます。 胴 lｌＩｌＩＩｌ ’３455 SGP-17Fは、圧力センサ内臓タイプですので、高精度なグリップ制御 １７Ｆ が可能です。 グリップ グリップカ グリリッップ'プ|幅層 速度 外形 高さ 章重臺量 真空対応 分解能 鐘 ヨビ諺［ ＝F国､望弓三ｋｓざヨョk二足ニーニ面ヨヨ ５SＧG-0O6６ 1１0００0，,ｍ ０３Ｎ １ｍｍ １l０Ｏ０Ｏ，ｍｓ １１×１８３ｍｍ ５5ｍｍ ２2９ ＨＶ・ＵＨＶ ,SSG-G1-71307 30）1100,,ｍｍ 1Ｎ 1１ｍｍ １０，sｓ １７×31.6ｍｍ 9９.５5ｍｍｍ 2２５5９9 ＨHＶｏ・ＵＨＶ ＳＳＧＧＰＰ－－１７Ｆ 1１0０,，ｍ ３3.５5Ｎ １０ｍｍ １l０Ｏｍ，ｓs ３５×３０ｍｍ １４ｍｍ 409 【 ど》 《》←

息軸キ請尋涛雫ツクステージ SmarAct社では、全軸ピエゾ駆動による６軸パラレル・キネマティック゜ピエゾステージ SmarPodをご提供しております。ピボットポイントの指定でコントローラがリニア（ＸＹＺ 輔）と回転ノチルト（Ｏｘｅｙｅｚ）の計６軸を富動制御します。ファイバーや光学系のアラ イメントやマイクロアセンプリングに最適です。 ニー 円形タイプ XY軸のリニアステージに傾斜された リニアガイドのセットが、円周方向に ロ ２３ｑ５６７Ｂ ｌｉｍＧに１ ３箇所配置されたSmarPodシリーズ の標準タイプです。 コンパクトなデザインながら高精度な 位置決めが可能です。 ０２４６Ｂ１０１２１４１６１ＢＺＯ ｌｉｍｅにＩ SmarPod ＸX軸 Y軸 Ｚ軸 Ｏｅｘ Ｏｅｙ ＯｅＺ 最小分解能 外形 ストローク ストローク ストローク 回転量 回転量 回転量 70０.４4２Ｚ １０ｍｍ １ ０ Tﾊロｍｍ、ｍ ５5ｍｍ １４° １1６０６ °鼓 爵２８28。゜ 犀■＝ １1，,ｍm//１mluurrad ①００７７００ｍｍ 1１５．２２５ １１ｍｍ １１ｍｍ、ｍ 5ｍｍ 1１８゜０ 20°゜ ３７。° １，ｍm//１W１uurrad (①ｐ１ｌ１ｌ５５ｍｍｍ 1１０．４５ 20ｍｍ ２０ｍ、ｍ １１ｍｍ ２2１1。 ２24４。 3３8８。° １l，ｎｍ/ｎ１ｌｌｕｕｒｒａｄ ①１１０ｍｍ 225.75 ４4１1ｍｍ ４4１1ｍｍ ２１ｍｍ ２20０°。 ２2３3° ４41１゜．露窒 １，ｍ／/１１，側ｕrad ①2Ｚ2Ｚ5５ｍｍ P－ 平行タイプ 平行タイプは、長ストロークのリニアステージをベースプレートに 配置し、その上に直行した３軸のリニアステージと傾斜したリニア ガイドが搭載されています。 水平方向に長いストロークが必要な用途に最適です。 昭Ｓ SmarPod Ｘ軸 YＹ軸 Z軸 ｅｘ Ｏｅｙ ｅＺ 最小分解能 外形 ストローク ストローク ストローク 回転量 回転量 回転量 P-SLLCC-117 4４ ８8 、ｍｍ ２Z8８～~48ｍｍ ９9ｍｍｍ竃 ﾐ諺 営２８２８．° ２６。 ＺZｏooｏ １，ｍ/（１lＨuｒrａaｄd １１０ｘ×５５００ｍｍｌＴｍ 昼 P-SLC24 79～１１９ｍｍ ４4５5～１１９ｍｍ １２ｍｍ 31ｓ° 27。 42°。 １n，ｍ/／１LIlurad １１０ｘ×９０ｍｎｍ １ P-SLL ２０～1１２2０0０0ｍｍｒ、ｒ ４4５5～１１９ｍｍ １６ｍｍ 42。 ３３。° 4４2２°。 １n，ｍ/１１，uｕrad ２ ５０×８０ｍ、ｍ WVaVfae佗r-ZOO 2Z0Ｏ0Ｏｍｍ 込2ｕ0ｕ0ｍｍ １０ｍｍ ６6。° 7。 霧２４２４。 １，ｈｍ／／１１１ＬuｌrｒEａlｄd 4４2２0０×４4３3０0ｍ ００００００００ ２０８６４２０２ ２０ＢＧ４２ ２ １１ １１ ［Ｅご］ＥＣ卓一⑩。」 －口、』二］①一口Ｅ、

オプト･メカニクス |オオプテイカルマウント・Ｚ軸チルトステージ SmarAct社ではミラーやサンプルのチルト 「＝ざ 機構にご利用いただけるオプテイカルマウ 、 ントをご用意しております。 Ｉ 全てのモデルがピエゾ駆動ですので、高精 Ｉ 度な位置決めが可能です。 ”堂 ﾛ■Ｐョ S1T-1Z7 ＳＴＦ】５．４ ＳＴ｢-５０８ STTる２０１３ STTL50 傾斜範囲 アパチャー エンコーーダダ、 最大速度 ステージ 重量 真空対応 ロ 篝蕊 (ミラーサイズ） 分解能 外形 (のp±±2Z..0°Ｏ±2.0０゜。ＳＴ｢-－1１２2.．７7ｓ５ Oご０ｺ 1１２2．7７ｍｍ １５．°／５ｓ Ｚ０ｘ２０ｍｍ 2z0o9g ＨHＶ・ｏＵＨＶ の±205.0±Z`5５噂。 T｢｢-２25５.４4 〈p±２５．０ｺ 25.4ｍｍ １1５5．.／５ｓ 3３５5．.６6××3３5５.６6ｍｍ 259 HＶｏＵＨＶ 己生 ｂ 甲①±1.0.00±』1.0侭S~T、Fと500.8 ５50０.８8ｍｍ １1５5°.／５ 60.5ｘ×6６0０.５5ｍｍ 309 ＨHＶｏＵＨＶ ＳS1ＴT｢-2013 《 ①±p2±,20.00.±ａZ､0． 1１２2．,７7//2255.4ｍｍ Ｚ５Ｉｌｕ。｡ 45.／ｓ５ ３５ｘ×45.75ｍｍ 309 ＨHＶｏ・ＵＨＶ 士±フ2§5｡.／1１0０ｍｍ ＳSＴ１｢Ｔ-－5５0０ Oｑ1ｌＬLｌlｒrａaｄd/１，ｍ 30.°／５s，,１1０0ｍｍ/５白 ５０×５０ｍｍ .」12ｚ0ｏ9ｇ HＨＶ・ｏＵＨＶ アイリス・フィルターホイール 澪・鯛１，，，ｌｂ 。 ＳＩＤシリーズは、ピエゾ駆動の絞りユニットです。 SlD-5714は超高真空にも対応した最高級モデルです。 鴎Dmili=： SFW-9-254はピエゾ駆動による６枚のフィルター切 「L＝ 換えユニットです。アイリス等と同じコントローラで 制御できます。 U型､｣ ザ ５ 1，－５７１４ SID－５０ 最大開口径 最小開口径 開口分解能 最大速度 アイリス 重量 真空対応 尼Ｚ 羽根数 ;篝篝 蕊 ＳSＩlＤD-7７ 7｢ｍｎｍｍ 0.5ｍｍ １５，ｍ 4ｍｉｍＴ/ ５ 1２ 359 HＶ SlD-18 １８１ｍｍ 1１ｍｍ ３30０1，1ｍ 6ｍｒｍｒ/ ｓ 1３ 359 ＨHＶ SlD-50 ５０ｍｍ 5ｍｍ 鑿 30,ｍ ６6ｍＩｍＴ/ ５ １1８ 609 ＨHＶ ５１，－５７１４ 1１8８/2２2２/25ｍｍ １'．.Z２/O/1.5ｍｍ、ｍ １，ｍ 6ｍｍ/５ 1１2２/刊１４/1４ 609 ＨHＶｏ・ＵＨＶ SFＦＷ－９９－－２Ｚ５ａ．４ 1ｌｓ５似ｕ⑨｡応／０６世０p口。／／S5O0G0I口｣｡ ＨＶ・゜ＵＨＶ Ｉ 山

￣ ！ コン ﾄロ －１ :J写フ ＳｍａｒＡｃｔ社では、各種ピエゾステージ・オプトメカトロニクスを制御す るための醤種コントローラ篭ご鴎篇して総り議す。ＤＬＬやLabＶＩＥＷド ！ ライバーが付属されて捲りますので、ご購入後すぐにご繼鬮いた鑓鰍議す。■ ＝ ＤＣU/HCUコントローラ ピエゾステージをステップ駆動するコントローラです６ ３軸対応でオープンループ｡クローズドループどちらにもご使用いただけま 臣 粗動のみの制御に最適です｡ジョイスティックと表示付きで､簡単に ピエゾステージを動かすことができます。 ひMCSコントローラ ピエゾステージの性能を最大限発揮できる高性能 コントローラです６ ３軸対応でオープンループ｡クローズドループどちらにも ご使用いただけますが､クローズドループでの制御に際 スキャンモードで高分解能な位置決め制御ができます６ 沙SDCコントローラ ステッピングモータの制御と同様にパルス入力で 「誰界ＰＹ』□ SmarAct社のピエゾステージを駆動するコントローラです。 シーケンサーでのご使用などPCなしでも制御可能な ｻﾞ コントローラです６ 、AVCコントローラ 謬熱 ピエゾステージをアナログ電圧制御可能なコントローラです。 お客様の制御系でクローズドループを構成するような ど用途に最適です６ ⑬センサーモジュール ピエゾステージをクローズドループ制御する場合の センサー信号入力モジュールです。 ＠ｓセンサー:光学式/分解能１，ｍ ＠しセンサー:光学式/分解能4,ｍ 鐸 ③Ｍセンサー:光学式/分解能100,ｍ や 亡ＷＨＣＵ ＭＣＳ ５，〔 AVC 最低チャンネル数 ３ ３ １ １ 制御モー ド オープン／クローズド オープン／クローズド オープン／クローズド オープン 対応セ ンサ マイクロ マイクロ／ナノ マイクロ／ナノ ５ＷTTL インターフェース USB・Ethernet．Ｒくうわ 10V⑤-10V～100V＠１０Ｖ 叉はオープンコレクタ Ｓｍa｢Act社では、上記標準コントローラ以外に、多軸制御を可能とするための１９〃ラックマウ ントやＯＥＭ用専用ケースなど、お客様のご要望に沿ったコントローラをご提供差し上げます。 日本販売代理店 製造元 株式会社フィジックステクノロジー SｍａｒＡｃｔＧｍｂＨ 【烟y畳, 〒Z7Z-OO23千葉県市川市南八幡4-2-5いちかわ情報プラザ Schuette-Lanz-StPD-Z613501denburg,German) TELD47-370-8600FAX:O47-370-86Z3 ＵＲＬ:ｗｗｗ・ｓｍａ｢actcom URL:wwwphysix-tech･comE-mail:lnfo＠physix-techcom 幹