CC-10 ワイドレンジ真空計

大気圧から超高真空までを１台の真空計で ワイドレンジ真空計 CC-10 クリスタル / コールドカソード コンビネーション オールインワン真空計 CC-10ワイドレンジ真空計は大気から超高真空までを一つの真空計で連続して自動計測できます。従来、荒引き用と 高真空用のそれぞれの真空計に加えて、チャンバーを大気に戻す（パージ）ための真空スイッチ（大気圧センサー）を使 用して別々に測定していた圧力計測システムが、この CC-10ワイドレンジ真空計 1台で可能になります。センサーと回 路を一体にして、圧力表示も付いています。CC-10を真空チャンバーに接続してDC24Vを供給（ACアダプタもオプショ ンで準備）するだけで、後は何のスイッチ操作もいりません。大気圧から自動的に測定が開始し、圧力が表示され、また 外部へ圧力信号をアナログ出力およびデジタル通信（RS-485）で出力できます。 ＜操作不要＞ 幾つもの真空計を圧力範囲ごとに切り替えて使う時 DC24Vを接続するだけで、圧力がデジタル表示されます 代は終わりました。1つの真空計で 3つの役割（高真 大気圧から超高真空まで何の操作も必要なく自動計測 空計、荒引真空計、真空スイッチ）をします。完全自 アナログ出力、RS485、セットポイント 3点付標準装備 動で何の操作の必要もなく、大気圧から超高真空ま で測定ができます。 ＜タフで安全なゲージ＞ 高真空測定には B-A ゲージに比べて丈夫なコールドカソー ドゲージを使用しています 高温のフィラメントが無いので安心安全 漏洩磁場が少ない（DIM方式 CCG 使用） ＜優れた精度と安定性＞ ピラニゲージに比べて遥かに安定なクリスタルゲージを大気 圧から荒引き圧力の測定に使用しています ＜イージーメンテナンス＞ ゲージのクリーニング、交換等のメンテナンスが、簡単にお 客様ご自身で可能（分解/組み立てはわずか 1分） ＜アクセサリ、拡張性＞ 外部表示器、AC アダプタをアクセサリで用意しています 表示も付いて これ１台でOK CC-10 用圧力データロガーソフト 完全自動 P--LOGGER 操作不要 P-LOGGERは CC-10での測定圧力をグラフ表示/記録するソフトです。 装置の排気特性をリアルタイムでビジュアルに監視が行え、記録ができ ます。 超高真空 ← （ 圧力 Pa ） → 大気 ■レファレンスデータの表示 ■データ記録 保存したデータや加工データ 収録データは csv形式で保存が 10-7 10-5 10-3 10-1 101 103 105 をリアルタイムデータと同時 できますので、EXCEL 等の表計 真空スイッチ にグラフ表示ができます。装置 算ソフトで解析が可能です。 の標準特性との比較に便利。 荒引真空計 高真空計 3つの真空計の計測範囲を 1つの CC-10でカバー CC-10 ワイドレンジ真空計 www.vista-vac.com Vacuum Instruments for Science and Technology Applications

使用例 （実験装置から自動装置の制御まで、あるいはフィールドサービス用の真空計として） クリスタルセンサーの特性 CC-10 の大気圧と荒引圧力測定に使用しているクリスタルセンサーは 水晶振動子の振動抵抗が圧力によって変化する現象を利用して圧力を 計っています。熱伝導現象を利用したピラニゲージなどに比べて抜群の 安定性を持っています。このためにチャンバーを大気に戻す（パージ） 時の圧力検出に安定して使用できます。（下図に示すように±1%以内 の繰り返し安定性が得られています） また、温度変化に対する安定性も優れているために、液体窒素の蒸気 などの低温ガスに晒されても全く安定に測定ができます。 大気圧付近での再現性（大気-真空繰り返し） 5 4 +/-1%以内 3 2 1 0 -1 -2 -3 -4 -5 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 回数 CC- 10ワイドレンジ真空計仕様 外部表示器オプション(DS-10) 項 目 仕 様 圧力測定範囲 1.0×10-7Paから大気圧（105Pa) 制御回路 制御回路をセンサーに一体組み込み、プラスチックケース 測定方式 大気圧および荒引き圧力計測に水晶真空センサー使用、高真空計 測にデュアルインバーティドマグネトロン方式のコールドカソードゲー ジを使用、センサーを圧力レンジにより自動切り替え 圧力表示 ７セグメント LEDによるデジタル表示を本体に標準装備 オプションにて外部表示機を用意（DC24V駆動） 圧力信号外部出力 アナログ出力 0-10V （LOGまたは複合リニア出力を選択可） W48xH48ｘD108 セットポイント 3点（ヒステリシス付）標準装備 DC50V、0.12A フォトモスリレー 1点は独立、2点はコモン共通 VISTA株式会社 リレーI/O クリスタル 0調整、大気圧調整、CCG切替禁止の各入力 〒403-0005 デジタルインターフェイス RS-485を標準装備 山梨県富士吉田市上吉田 6-9-2 入力電圧 DC22-26V（100VACアダプタオプションを用意）消費電力MAX8W TEL 0555-23-0501 使用環境 保管時： -40℃～+55℃ 動作時： 周囲温度max 50℃ FAX 0555-72-8581 ベーキング温度： 制御回路部を外しセンサー単体にて 150℃ E-Mail sales@vista-vac.com 取り付けフランジ NW25または CF70（回転） コネクタ Dsub15ピン（メスコネクタを添付） 販売 寸法、重量 94×70×160mm、700g(NW25フランジ仕様) www.vista-vac.com Vacuum Instruments for Science and Technology Applications 最初からのズレ(%)