微分干渉ユニット・瞳分割偏光ユニット

微分干渉ユニット　　瞳分割偏光ユニット 微分干渉ユニット 瞳分割偏光ユニット マシンビジョンに特化した 照明光学系と撮像光学系の一体設計により、 ナノ～ミクロンオーダーの微細なキズや傾きを可視化！ 微分干渉ユニット 瞳分割偏光ユニット（特許登録済） ■微細なキズや段差を鮮明に可視化 ■独自の偏光素子で ■従来の微分干渉顕微鏡よりも 　ワーク表面の緩やかな傾き、うねりを可視化 　広い視野での撮像を実現 ■最大約φ110 ｍｍの視野（光学倍率0.1 x）で 　撮像可能 撮像例 ： サファイア基板（30 nmレーザー溝加工） 撮像例 ： ウエハー裏面 微細な段差を撮像できている うねり・切削跡が白く撮像されている 切削跡 微小なうねり (加工時の反り) わずかに異なる2点からの反射光の位相差(光路差) 独自の偏光素子を用いて、 によって生じる「干渉」を観察することで、 ワーク表面の傾きを偏光の変化として捉えることで、 微細な段差を可視化！ 微細な傾きやうねりを可視化！ 用途例 用途例 光沢表面の微細なキズ・刻印検査、 光沢表面の微細なうねりや傾きの検査、 ウエハーのキズ・クラックや結晶欠陥などの検出 ウエハーの研磨痕、加工時の反りや切削跡などの検出

特性の比較 ワーク 微分干渉ユニット 瞳分割偏光ユニット ●段差基準サンプル（段差 40 nm） 段差部分の境界が 段差部分は観察できているが、 はっきりと観察できている 境界がぼやけている ●鏡 傾きやうねりを 表面の緩やかな傾きやうねりを 部分的に可視化できている 可視化できている 共通仕様※1 外形寸法図（共通※3） （mm） ※3 光学倍率1.5 xの場合 微分干渉ユニット φ56 MSU-1R5RD-CMODIC Cマウント 型式名 217.7 瞳分割偏光ユニット MSU-1R5RD-CMOPPD 光学倍率 1.5 x 視野（V x H） 1.1 inch： 7.0 x 9.4 mm 作動距離（WD） 100 mm 被写界深度※2 0.5 mm NA 0.06 有効F値（Fe） 12.7 光学ディストーション 0.3% カメラマウント Cマウント 適合イメージサークル φ 20 mm 照明型式名 HLV3-22RD-4S 温度：0～35℃、 使用環境 湿度：20～60%RH（結露なきこと） ※1 光学倍率1.5 xの場合 ※2 許容錯乱円形40 umにて算出 ■カスタム設計で光学倍率の変更が可能 光学倍率のラインアップ例 微分干渉ユニット 1.0 x 1.5 x 4.125 x 8.25 x 16.5 x 記載以外の光学倍率については、担当営業にお問い合わせください。 瞳分割偏光ユニット 0.1 x 0.8 x 1.0 x 1.5 x 4.125 x ■「CCS」および「LIGHTING SOLUTION」は、シーシーエス株式会社の登録商標または商標です。 ご 注 意 ●正しく安全にお使いいただくために、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。　●製品改良のため仕様、デザインは予告なく変更する場合がありますのでご了承ください。 ■ 京都本社、西部営業所、京都AIラボ、テスティングルーム【京都・淀屋橋（大阪府）・守山（滋賀県）・博多（福岡県）・熊本】 〒602-8019 京都府京都市上京区室町通出水上ル近衛町38 TEL： 075-415-8277　FAX： 075-415-8278 ■ 東京営業所、東京AIラボ、テスティングルーム【東京・大宮（埼玉県）・横浜（神奈川県）・松本（長野県）】 〒150-0012 東京都渋谷区広尾1丁目13-1 フジキカイ広尾ビル8F TEL： 03-4346-0560　FAX： 03-4346-0561 ■ 名古屋営業所、テスティングルーム【名古屋（愛知県）・三河（愛知県）・金沢（石川県）】 〒450-0002 愛知県名古屋市中村区名駅4-6-23 第三堀内ビルディング 6F TEL： 052-541-6550　FAX： 052-541-6050 ■ 仙台営業所、テスティングルーム【仙台（宮城県）・札幌（北海道）】 〒980-0014 宮城県仙台市青葉区本町1-1-1 大樹生命仙台本町ビル 13F TEL： 022-224-9101　FAX： 022-224-9102 Copyright © 2026 CCS Inc. All Rights Reserved. URL：https://www.ccs-inc.co.jp E-mai：l sales@ccs-inc.co.jp 記載内容は2026年3月現在のものです。 　01002-00-2603-微分干渉ユニット/瞳分割偏光ユニット 377.1 ▲ ▲ ▲