イントレイ検査で検査後の搬送リスクレス&省スペース化を実現！「パワーデバイス用チップ外観検査装置（小型イントレイ検査モデル）」 CI200i

イントレイ検査で検査後の搬送リスクレス＆省スペース化を実現
2D⾼精度⽋陥検査
⾼精度⽋陥検査ユニット（上下面） チップ表裏⾯の自動検査 １）⾼解像度 最大25Mpixカメラによる 対象製品）IGBT用チップ、パワーダイオード用チップ等 ⾼分解能・⾼解像度検査 ２）最適な照明環境 マルチアングル照明 ３）⾼速制御・取り込み Min10msec/画像 取込 IGBT用チップ パワーダイオード用チップ ⇒欠陥モード毎に最適画像を複数枚を連続取り込み パワーデバイス用チップ外観検査装置
上面検査 マルチアングル照明＋複数枚撮像で （小型ｲﾝﾄﾚｲ検査ﾓﾃﾞﾙ） CI200i 様々な⽋陥モードに最適な 検査画像を取り込み 狙った欠陥を確実に検出 異物付着 変色 スクラッチキズ シミ バリ 1,200(W) ✔ イントレイ検査（上面） ✔ 下面検査 出荷トレイへチップを収納した状態で上面検査 マルチアングル照明＋複数枚撮像で 様々な⽋陥モードに最適な 不良品のみをリジェクトし 検査画像を取り込み 良品チップは完全保証 狙った欠陥を確実に検出 トレイ⾼さをレーザ計測 トレイバラツキ影響排除 ジャストフォーカスで検査 バリ コーナー欠け

【主要諸元】 IGBT用チップ 対象デバイス 3×3mm〜20×20mm パワーダイオード用チップ 対象トレイ 2インチ／4インチ チップトレイ サイクルタイム*1 1.2sec／pcs 上⾯検査 クラック、バリ、異物付着、キズ、スクラッチ、変色、シミ、汚れ 等 検査項目*2 下⾯検査 クラック、バリ、異物付着、キズ、スクラッチ、変色、シミ、汚れ 等 供給電源 3Phase AC200V±10% 4KVA 供給エア 0.39MPa or more 200L／min or more ユーティリティ 装置サイズ 1,200(W)×1,400(D)×1,800(H)mm 装置重量 約1,000kg ＊1）サイクルタイムは各検査ステージでの画像取り込み枚数５枚時の数値です。 ＊2）上記検査項目は⼀例であり、詳細検査項目は多岐に渡ります。詳細については別途お問い合わせ願います。 【外形図】 【オプション】 ＜検査機能の更なる強化＞
特殊形状照明対応（要検討） ＜付加価値向上＞
上位サーバ通信 （トレーサビリティデータ管理等）
工程内トレイ対応
2次元QRコード読み取り （トレーサビリティ対応）
トレイへの製品収納不良チェック機能
トレイ⾼さ計測機能 株式会社 安永 CE事業部 マーケティング部 営業2グループ 〒518-0834 三重県伊賀市緑ヶ丘中町3860 TEL : 0595 (24) 2252 FAX : 0595 (24) 2720 URL http://www.fine-yasunaga.co.jp Copyright (C) 2017 Yasunaga Corporation. All rights reserved.