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精密樹脂多孔質プレート 極薄材料や軟らかい材質を全面吸着 ワークを傷つけず、歪みや変形も与えません。
用途例:フィルム基板搬送、ロボットハンド・ウェハ搬送、液晶ガラス張り合わせ工程など
◆詳しくはカタログをご覧ください。
このカタログについて
ドキュメント名 | 【ワークの高精度な保持を約束します】精密吸着プレート PVPシリーズ |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 1.4Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | CKD株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
ワークの高精度な保持を約束します。
精密吸着プレート
PVPシリーズ
PRECISION VACUUM PLATE PVP SERIES
カスタム品
CC-651 7
Page2
精密密着プレート PVPシリーズ 多孔質原理
精密樹脂多孔質プレート 真空ポートから真空引きし、フッ素樹脂多孔質全面から吸引します。
フッ素樹脂多孔質
極薄材料や軟らかい材質を全面吸着、 フッ素樹脂多孔質 多孔質含浸エポキシシール
ワークを傷つけず、歪みや変形も与えません。
真空ポート アルミベース
高精度なワーク処理 吸着力が大きい
吸着面の平面度:2μm、平行度:5μm。 気孔率が40%もあり、大きい吸着力で全面吸着が シリーズバリエーション
(R-36-18, C-50, S-50-50の仕様値です) 可能。 プレート形状は標準3タイプをご用意。さらにお客様のご要望に合わせて
ワーク固定精度が高く、高精度なワーク処理が可能 大きい吸着力でも極薄ワークの吸引変形が 思いのままの形状にカスタマイズいたします。
です。 ありません。 ●標準タイプ ●形状特別仕様品タイプ例
平行度 : 5μm 気孔率 : 40% PVP-R PVP-C PVP-S
①ドーナツ形 ②丸形 ③四角形
平面度 : 2μm
ウエハ形 ロボットハンド用途 多点吸着形
ディスク等 半導体、シリコンウエハー等 プラスチック基板等 ・特別仕様品として受け賜ります。詳細は当社営業にお問い合わせください。
帯電防止(オプション) 黒色・導電性タイプ(PPS多孔質)
静電気防止剤をフッ素樹脂多孔質にコーティング。 キズをつけず反射しない黒色タイプも
静電気発生を抑え、ワークを傷つけません。 ご用意しました。
ワークを傷めない 軽い 用途例
吸着面の硬度はショアD60。 フッ素樹脂多孔質(見かけ フィルム基板搬送
ソフトな接触でワークを傷つけ 比重1.3)とアルミベース
ません。 (比重:2.7)から構成。
硬度 : ショアD60 軽いので、駆動力が小さく
できます。
比重 : 2.7以下
ロボットハンド・ウェハ搬送 液晶ガラス張り合わせ工程
スマートフォン等
フィルム基板 ボード
フィルム液晶 カラーフィルター
LSI
IC回路基盤
シリコンウェハ ガラス基盤 ガラス基板
液晶ガラス PVP
磁気ディスク
液晶ディスプレイ
PVP
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PVP Series
精密吸着プレート 仕様
PVP 仕様
Series PVP-R-36-18 PVP-R-85-27
PVP-R-118-18
PVP-C-50 PVP-C-75 PVP-C-187
項 目 PVP-C-100
PVP-C-113
PVP-C-138
PVP-S-50-50 PVP-S-100-100 PVP-S-150-150
PVP-S-200-250
形番表示方法 吸着面 平面度 2 3 4
●丸形吸着プレート形番表示方法 μm(注1) 平行度 5 10 15
基準面平面度 μm 10 10 10
PVP C 50 CP A エアリーク量 L/min(ANR) 0.4 0.6 1
製 品
真空差圧 kPa(注2) 40以上
使用加圧力 MPa 0.2以下(清浄空気)
機種形番 1 多孔質 3 オプション 周囲温度 ℃ 5〜40
外径寸法 周囲湿度 %RH(注3) 65以下
丸形 2 真空ポート位置 材質 三フッ化塩化エチレン樹脂
多孔質部 気孔率 % 40±5
1 多孔質外径寸法 2 真空ポート位置 3 オプション ショアD硬度 度 60±15
記号 内容 記号 内容 記号 内容 材質 耐食アルミ合金
ベース部
50 50 無記号 側面ポート 無記号 なし 表面処理 (注4) なし
75 75 CP 裏面ポート A 帯電防止処理 注1:この精度は23℃の恒温室内に24時間放置した時の測定値です。
23℃から外れる温度雰囲気では精度は変化し、仕様値を外れる可能性があります。
100 100 測定方法は製品を定盤上に無負荷で置いた時の真直度(2方向以上)を測定し、その最大値をもって規定しています。
113 113 本来の平面度の測定方法ではありませんが、多孔質の窪みがある為、このような測定方法をとっています。
138 138 注2:図1 検査回路にてワークを多孔質全面で真空吸着した時の真空源の圧力降下値をあらわします。
187 187 注3:65%RHをこえる湿度雰囲気では、吸着面精度が劣化し、仕様値を外れる可能性があります。
注4:本製品のボディ材質は耐食アルミ合金の生材となります。
表面処理(アルマイト処理、無電解ニッケルめっきなど)の指定がある場合はカスタム対応となります。
●四角形吸着プレート形番表示方法 真空発生器
到達真空度 −91.8kPa
PVP S 50-50 CP A φ6チューブ
圧力計 帯電防止フィルム
機種形番 1 多孔質短辺寸法- 3 オプション
多孔質長辺寸法 IN
四角形 2 真空ポート位置 配管長さ600mm以下
150mm以下
流量計 フィルタ
1 多孔質短辺寸法-多孔質長辺寸法 2 真空ポート位置 3 オプション
記号 内容 記号 内容 記号 内容 (図1)検査回路図
50-50 50-50 無記号 側面ポート 無記号 なし
100-100 100-100 CP 裏面ポート A 帯電防止処理
150-150 150-150 吸着面積・質量表
200-250 200-250 形 番 吸着面積(cm2) 質量(g)
PVP-R-36-18 8 80
PVP-R-85-27 51 290
●ドーナツ形吸着プレート形番表示方法 PVP-R-118-18 107 520
PVP-C-50 20 140
PVP R 36-18 CP A PVP-C-75 44 250
PVP-C-100 79 390
PVP-C-113 100 490
機種形番 1 多孔質外径寸法- 3 オプション
多孔質内径寸法 PVP-C-138 149 680
PVP-C-187 275 1,170
ドーナツ形 2 真空ポート位置 PVP-S-50-50 25 160
PVP-S-100-100 100 490
1 多孔質外径寸法-多孔質内径寸法 2 真空ポート位置 3 オプション PVP-S-150-150 225 980
記号 内容 記号 内容 記号 内容 PVP-S-200-250 500 2,030
36-18 36-18 無記号 側面ポート 無記号 なし
85-27 85-27 CP 裏面ポート A 帯電防止処理
118-18 118-18
1 2
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PVP Series PVP Series
外形寸法図
外形寸法図 外形寸法図
●PVP-C- ※ ● PVP-S- ※
15+0.2 0
13
8
E 15+0.2 0
C 13
φ4深さ6 4−R 3以下 A 8
設置時補助穴 G
多孔質角部 φ4 深さ6
設置時補助穴
M5 深さ5
真空ポート
M5 深さ5、
φ9座ぐり深さ1
真空ポート
7 4−M4 深さ6、
φ8座ぐり深さ0.5
4−φ4.5、φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴
取付け穴
4−φ4.5、 7 4−M4 深さ6、φ8座ぐり深さ0.5
φ8座ぐり深さ4.4 取付け穴
取付け穴
形番 A B C D
PVP-C-50 50 72 62 30
PVP-C-75 75 97 87 50
PVP-C-100 100 122 112 70 形番 A B C D E F G H
PVP-C-113 113 135 125 70 PVP-S-50-50 50 50 58 58 70 70 40 40
PVP-C-138 138 160 150 90 PVP-S-100-100 100 100 108 108 120 120 80 80
PVP-S-150-150 150 150 158 158 170 170 120 120
● PVP-C-187 ● PVP-S-200-250
15+0.2 0
13
8 15+0.2 0
226 13
106 106
4−R 3以下 8
多孔質角部 200 90 90
φ4深さ6
設置時補助穴
φ4深さ6
設置時補助穴
M5 深さ5、 M5 深さ5
φ9座ぐり深さ1
真空ポート
真空ポート
110
7
7
8−φ4.5、φ8座ぐり深さ4.4 8−M4 深さ6、φ8座ぐり深さ0.5 10−φ4.5、
φ8座ぐり深さ4.4
取付け穴 取付け穴 取付け穴
10−M4 ねじ深さ6、
φ8座ぐり深さ0.5
取付け穴
3 4
C
45° 45°
φ209
φ187 φB
φA
D
45°
45°
276
81 100 81 F
250 D
B
15
15
65 100 65 H
45°
45°
45°20° 45°
35°
22.5°
19
9
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PVP Series PVP Series
外形寸法図
外形寸法図 外形寸法図
真空ポート位置 裏面ポート(CP)
●PVP-R- ※ ● PVP-S- ※ ● PVP-S-200-250
15+0.2 0
13
8
φ4 深さ6
設置時補助穴 φ4 深さ6
φ4深さ6 設置時補助穴
設置時補助穴
M5 深さ5、
φ9座ぐり深さ1
真空ポート M5 深さ5
真空ポート
4−φ4.5、 M5 深さ5
φ8座ぐり深さ4.4 7 4−M4 深さ6、
取付け穴 真空ポート
φ8座ぐり深さ0.5
取付け穴 ●PVP-R- ※ -18 ● PVP-R-85-27
φ4 深さ6 φ4 深さ6
設置時補助穴 設置時補助穴
形番 A B C D E F
PVP-R-36-18 36 18 58 16 48 30
PVP-R-85-27 85 27 107 25 97 60
PVP-R-118-18 118 18 140 16 130 90
M5 深さ5
真空ポート 15 M5 深さ5
真空ポート 30
真空ポート位置 裏面ポート(CP)
●PVP-C- ※ ● PVP-C-187
φ4 深さ6
設置時補助穴
φ4 深さ6
設置時補助穴
M5 深さ5
真空ポート
M5 深さ5
真空ポート
5 6
φC
φD
φB
φA
E
45°
F
45°
45°
45°20°
Page6
PVP Series
内部構造図・材質 MEMO
2 1
エポキシ樹脂含浸 エポキシ樹脂
多孔質外周シール 接着
真空ポート
品番 部品名称 材 質
1 多孔質 三フッ化塩化エチレン樹脂
2 ベース 耐食アルミ合金
技術資料
●垂直方向吸着力(参考データ)
10.0 ※アルミ合金条件
9.0 PVP(気孔率40%)の吸着力 吸着面平面度 1μm以下
気孔率100%の吸着力 表面粗さ Ry0.1以下
8.0 F
7.0
吸 6.0 アルミ合金板
着
力 5.0
(N/cm2) PVP
4.0 Vacuum
3.0
2.0
1.0 本データは上記(PVP-S-50-50)で測定された参考データです。
0.0 真空到達度の下限がゼロでないのは多孔質、配管による配管抵抗が
0 -20 -40 -60 -80 -100 あるためです。
到達真空度 (kPa) 上記以外では、配管抵抗、被吸着物の形状、面粗等により、吸着力が
変わる可能性があります。
7 8
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PVP-B Series
精密吸着プレート〈黒色タイプ〉PVP-B Series
特別仕様品として受け賜ります。詳細は当社営業にお問い合わせください。特別仕様品
気孔率40%、平面精度5μm/10mmを実現。
吸着面硬度ショアD100でワークを傷めず、
キズを付けず、反射しない 様々な用途に適用できます。
平行度(A面基準) 10~100μm 10~500mm ポリフェニレンサルファイド
(150mm以上は多孔質の貼り合わせ)
平面度 5~50μm
時代が求めた黒の新顔登場!
多孔質含浸エポキシシール
吸着面
真空ポート M5
ベース 10~500mm
(A50系 黒色表面処理)
A 真空ポート M5 アルミベース
PVPの用途
薄いウェハーやフィルム、壊れやすいワークの吸着固定・搬送に最適!
◆半導体製造工程での吸着固定(貼り合せetc.)
◆検査装置
◆ワークの搬送
◆部品の組立工程
真空ポート M5
フィルムの貼り合せ・剥離 ロボットハンド 検査工程
主な仕様
平面度 5~50μm
吸着面精度
製 品 平行度 10~100μm
黒色多孔質 分割吸着 真空差圧 40kPa以上(真空発生源-90kPa時)
(カスタマイズ例) 材質 ポリフェニレンサルファイド(PPS)カーボンファイバ入り ※
反射しない 吸着域を分割して複数のワークに対応 多孔質部 気孔率 40±5%
従来の白色多孔質では反射により不可能だった検査工程も、 PVPの吸着面内を分割し、ワークに応じて吸着域を変える 硬度(ショアD) 100以下
黒色の採用により可能にしました。 ことができます。 材質 耐食アルミ合金
ベース部
表面処理 黒色表面処理
〈吸着域分割例〉
※カーボンファイバの表面露出によりワークに粉が付着する、強くこすった時の汚れ、発塵がありますので、ご注意ください。
導電性樹脂採用 吸着域 吸着域 吸着域
ワークに優しい
導電性樹脂の吸着プレートにより、静電気の発生がありま
せん。しかも、吸着時にワークを傷めません。
真空経路
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Page8
本製品を安全にご使用いただくために 本製品を安全にご使用いただくために
ご使用になる前に必ずお読みください ご使用になる前に必ずお読みください。
当社製品を使用した装置を設計製作される場合には、装置の機械機構と空気圧制御回路または水制御回路と 空気圧機器 一般の注意事項は、精密機器・真空機器(カタログNo.RJ-010)をご確認くだ
これらをコントロールする電気制御によって運転されるシステムの安全性が確保できる事をチェックして安全な さい。
装置を製作する義務があります。
当社製品を安全にご使用いただくためには、製品の選定及び使用と取扱い、ならびに適切な保全管理が重要です。 個別注意事項:精密密着プレート PVPシリーズ
装置の安全性確保のために、警告、注意事項を必ず守ってください。
なお、装置における安全性が確保できることをチェックして安全な装置を製作されるようにお願い申し上げます。 設計・選定時
警告
警告 ■製品、配管、ワークの種類、使用環境により吸着条件
1 本製品は、一般産業機械用装置・部品として設計、製造されたものです。 は変わります。
よって、取り扱いは充分な知識と経験を持った人が行ってください。 ■精密吸着プレートを組み込んだシステムで、吸着され 到達真空度、吸引流量、応答時間を十分に考慮のうえ
2 製品の仕様範囲内でのご使用を必ずお守りください。 たワーク(被吸着物)が落下することにより危険と考 真空発生器を選定してください。
製品固有の仕様外での使用は出来ません。また、製品の改造や追加工は絶対に行わないでください。 えられる場合は、安全の為に必ず機械的な落下防止
なお、本製品は一般産業機械用装置・部品での使用を適用範囲としておりますので、屋外での使用(屋外仕様品は除 装置を設けてください。
きます)、および次に示すような条件や環境で使用する場合には適用外とさせていただきます。 ■エアパージする場合、乾燥した清浄な圧縮空気「等級
(ただし、ご採用に際し当社にご相談いただき、当社製品の仕様をご了解いただいた場合は適用となりますが、
■腐食性ガス・可燃性ガスのある場所では使用しないで 1.6.2(」固形粒子0.1μm、圧力露点10℃、油分濃度
万 一故障があっても危険を回避する安全対策を講じてください。)
❶ 原子力・鉄道・航空・船舶・車両・医療機械、飲料・食品などに直接触れる機器や用途、娯楽機器・緊急遮断回路・ ください。 0.1mg/m3)をお使いください。
プレス機械・ブレーキ回路・安全対策用など、安全性が要求される用途への使用。 (等級はISO 8573-1:2010による圧縮空気品質等級に基
❷人や財産に大きな影響が予想され、特に安全が要求される用途への使用。 また、絶対に吸い込ませないでください。 づきます。)
3 装置設計・管理等に関わる安全性については、団体規格、法規等を必ずお守りください。 〈推奨回路〉
■非常停止時の挙動を考慮してください。 フィルタ オイルミストフィルタ
ISO4414、JIS B 8370(空気圧-システム及びその機器の一般規則及び安全要求事項)
JFPS2008(空気圧シリンダの選定及び使用の指針) 非常停止時、またはシステム異常時に安全装置が働き、動力
高圧ガス保安法、労働安全衛生法および その他の安全規則、団体規格、法規など。 源・機械などが停止する場合、人体およびワーク・機器・装
4 安全を確認するまでは、本製品の取り扱いおよび配管・機器の取り外しを絶対に行わないでください。 置への損傷を与えないような設計をしてください。 空気圧源 エアードライヤ レギュレータ
❶機械 ・ 装置の点検や整備は、本製品が関わる全てのシステムにおいて安全であることを確認してから行ってください。 ■スパイラル(螺旋)状のホースは使用しないでくださ
❷ 運転停止時も、高温部や充電部が存在する可能性がありますので、注意して行ってください。 ■必ず製品仕様範囲(5〜40℃、0.2MPa以下)で使用し い。
❸ 機器の点検や整備については、エネルギー源である供給空気や供給水、該当する設備の電源を遮断し、システム
内の圧縮空気は排気し、水漏れ・漏電に注意して行ってください。 てください。 配管抵抗が大きくなり真空到達時間の遅れ、吸着力の低下など
❹ 空気圧機器を使用した機械・装置を起動または再起動する場合、飛び出し防止処置等システムの安全が確保されて 仕様範囲外の圧力や温度での使用では多孔質剥がれ、 の不具合が発生します。
いるか確認し、注意して行ってください。 腐食性ガス発生の原因になりますので使用しないで
5 事故防止のために必ず、次頁以降の警告及び注意事項をお守りください。 ください。 ■真空発生器1個に対し精密吸着プレートを2個以上
■ここに示した注意事項では、安全注意事項のランクを「危険」「警告」「注意」として区別してあります。 接続する場合は、以下の点に注意してください。
●精密吸着プレート1個にエア漏れがあれば真空度が低下し、
■
危険: 非常停止・異常停止後に再起動する場合の挙動を考
取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定され、かつ危険 吸着ミスの原因になります。
(DANGER) 発生時の緊急性(切迫の度合い)が高い限定的な場合。 慮してください。
再起動により、人体およびワーク・機器・装置への損傷を与え ●真空発生器からの分岐箇所間の配管は、分岐箇所から吸着
警告: 取扱いを誤った場合に、死亡または重傷を負う危険な状態が生じることが想定される場合。 ないような設計をしてください。 パット間の配管よりも太くしてください。
(WARNING)
注意: 取扱いを誤った場合に、軽傷を負うかまたは物的損害のみが発生する危険な状態が生じること 注意 ■寒冷地使用の場合、適切な凍結対策をしてください。
(CAUTION)が想定される場合。 圧縮空気中の異物や油分などは多孔質を詰まらせ、故障・誤作
■
なお「注意」に記載した事項でも、状況によっては重大な結果に結び付く可能性があります。 製品が使用環境に耐えることを確認して使用してくだ 動の原因になります。
いずれも重要な内容を記載していますので必ず守ってください。 さい。
粉塵の多い雰囲気、粉塵が発生する工程、薬液雰囲気、薬品、 ■周囲に熱源がある場合は遮断してください。
保証について 振動、湿気、水滴、ガス雰囲気、オゾン発生環境など、機能的 輻射熱により製品の温度が上昇して周囲温度を超える場合が
障害を受ける環境。
1 保証期間 ありますので、カバーなどで遮断してください。
本製品の保証期間は、貴社のご指定場所への納入後1年間といたします。 ■周囲湿度(65%RH以下)で使用してください。仕 ■
2 保証範囲 振動または衝撃が起こる場所では使用しないでくだ
様範囲外の使用では吸着面精度が悪くなる可能性が
上記保証期間中に明らかに当社の責任と認められる故障を生じた場合、本製品の代替品または必要な交換部品の さい。
無償提供、または当社工場での修理を無償で行わせていただきます。 あります。 故障・誤作動の原因になります。
ただし、次の項目に該当する場合は、この保証の対象範囲から除外させていただきます。
①カタログ、仕様書、取扱説明書に記載されている以外の条件・環境での取扱いならびにご使用の場合
②耐久性(回数、距離、時間など)を超える場合、および消耗品に関する事由による場合
③故障の原因が本製品以外の事由による場合
④製品本来の使い方以外のご使用による場合
⑤当社が関わっていない改造または修理が原因の場合
⑥納入当時に実用化されていた技術では予見できない事由に起因する場合
⑦天災、災害など当社の責でない原因による場合
なお、ここでいう保証は、納入品単体に関するものであり、納入品の不具合により誘発される損害については
除外させていただきます。
注)耐久性および消耗品については最寄りの当社営業所にお問合わせください。
3 適合性の確認
お客様が使用されるシステム、機械、装置への当社製品の適合性は、お客様自身の責任でご確認ください。
取付・据付・調整時、使用・メンテナンス時の注意事項については、
CKD機器商品サイト(https://www.ckd.co.jp/kiki/jp/)→「形番」→ 取扱説明書 をご覧ください。
11 12
Page9
(器)和英カ(24.2)E (24.12)
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