【除去性能 99％以上】シロキサン・オゾンリムーバ 「SFXシリーズ」

New Products 新商品 シロキサン・オゾンリムーバ SFXシリーズ SILOXANE / OZONE REMOVER SFX SERIES こんなことでお困りではありませんか？ シロキサンによる不具合 オゾンによる不具合 電気接点やモータ、 ガス化による光学系 ゴムの劣化による機器の作動不良 センサ等の導通不良 製品透明箇所の曇り SiO2 シリカ（絶縁体） パッキンのクラック 除去性能 使用流体 99% 圧縮 以上 空気 使用流体 窒素 シロキサン吸着 ガス オゾン分解 に特化 用途事例 ライン・システムのクリーンエア化 電子部品・光学部品製造ライン 半導体製造システム 二次電池製造システム CC-1605

SFX Series 仕様 形番表示方法 項目 SFX40 使用流体 注1 圧縮空気 清浄等級1:6:1(ISO8573- SFX40 10 X1 BW 1:2010)、窒素ガス 最高使用圧力 MPa 1.0 耐圧力 MPa 1.5 機種形番 ❷配管ねじ種類 ❹ブラケット（添付） 周囲温度・流体温度 ℃ 5～50 対象除去物質 シロキサン ❶接続口径 ❸流れ方向 (D4、D5) オゾン 除去率 注2 ％ 99以上 99以上 注5 濃度範囲 0.005～1500μg/L 0.5ppm以下 ❶接続口径 ❷配管ねじ種類 最大処理流量 注3 L/min(ANR) 700 560 記号 内容 記号 内容 質量 kg 0.8 8 1/4 無記号 Rcねじ エレメント交換 1年または圧力降下0.1MPa 注4 10 3/8 N NPTねじ 注1： 一次側にドライヤ、フィルタ、オイルミストフィルタ取り付け水分・油分を 15 1/2 G Gねじ 除去してください。 注2： 仕様は弊社評価方法による性能です。シロキサン仕様はＤ５(デカメチル ❸流れ方向 ❹ブラケット（添付） シクロペンタシロキサン)の性能です。 注3： 最大処理流量以内で使用してください。この値は一次圧力0.7MPa時です。 記号 内容 記号 内容 注4： 交換時期は保証値ではありません。製品の使用環境、使用状況等により 無記号 標準流れ（左→右） 無記号 添付なし 交換時期より短くなる場合があります。 X1 逆流れ（右→左） BW C形ブラケット 注5： オゾン濃度0.5ppmの時。 注6：シロキサン除去とオゾン除去の併用はできません。 交換用エレメント単品形番 外形寸法図 形式名 エレメント形番 SFX40 SFX40-ELEMENT 80 Ｃ形ブラケット 84 2- Rc1/4 （オプション） Rc3/8 55 55 Rc1/2 14 t2.3 IN OUT 材質 部品名 材質 ボディ アルミ合金ダイカスト Ｏリング フッ素ゴム エレメント 活性炭、ABS、PET他 ケース アルミ合金 使用上の注意事項 ご使用になる前に必ずお読みください。 「空圧・真空・補助機器総合」（No.CB-024S）の注意事項も併せてお読みください。 注意 ■ 数ppm以上の高濃度オゾンがリムーバ通過しないようにしてください。 ■ 腐食性ガス(硫化水素、亜硫酸ガス、塩化水素、フッ素等の強酸性ガス)や強アルカリ性ガス(アミン、アンモニア、 苛性ソーダ等)を含んだ空気を流すことは避けてください。 本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 東京オフィス 〒105-0013 東京都港区浜松町 1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 大阪オフィス 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10（PMO EX新大阪6階） TEL(06)6396-9630 FAX(06)6396-9631 ＜Website＞ https://www.ckd.co.jp/ ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 ●Specifications are subject to change without notice. フリーアクセス 　 0120-771060 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2023 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2023.7.ACC 168 22.5 79 7 45 53.5