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様々な流体の制御に。流体制御で、生産性向上。
「流体制御で、幅広い産業の生産性向上に貢献する!」
CKDが太鼓判を押す流体制御機器の中から、「圧縮空気」「水」「クーラント」を操る製品をご紹介しております。
◆掲載製品
・デジタル圧力センサ
・電子式小形圧力スイッチ
・電空レギュレータ(電磁弁方式小形)
・電子式圧力スイッチ
・デジタル電空レギュレータ
・パレクト電空レギュレータ(電磁弁方式小流量)
・水用流量センサ
・水集積ユニット
・圧縮空気用流量センサ
・小形流量センサ
・着座確認スイッチ
・クーラント用機械式圧力スイッチ
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 操 Components REPORT2 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 5.2Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | CKD株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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Components
THE
A・YA・TSU・RU
Components Report ❷
CC-1143 4
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圧縮空気 圧縮空気
圧 力 を操る。 流 れ を操る。
電子式圧力スイッチ 圧縮空気用流量センサ
PPG-Dシリーズ PFDシリーズ
デジタル圧力センサ 電子式小形圧力スイッチ 小形流量センサ
PPXシリーズ PPEシリーズ FSM-Xシリーズ
小形流量センサ
FSM3シリーズ
電空レギュレータ
(電磁弁方式小形)
EVS2シリーズ
小形流量コントローラ
FCMシリーズ
高精度電空レギュレータ
EVRシリーズ
デジタル
電空レギュレータ 視る 操る
EVDシリーズ 流体 御で、 幅広い産業の
生産性向上 に貢
『様
る。 操制 献します。
水 々な流体の制御』 にこだわります その他
を操 を操る。
密着確認スイッチ
液体用流量センサ 着座確認スイッチ HPSシリーズ
WFK2シリーズ GPS3シリーズ
マルチモニタ
MD-P2シリーズ
クーラント用 クーラント用
電子式圧力スイッチ 機械式圧力スイッチ
CPDシリーズ CPEシリーズ
水集積ユニット ファインレベルスイッチ
WXUシリーズ KMLシリーズ
静電容量式電磁流量センサ クーラント
WFCシリーズ を操る。
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圧縮空気 圧縮空気
圧 力 を操る。 流 れ を操る。
電子式圧力スイッチ 圧縮空気用流量センサ
PPG-Dシリーズ PFDシリーズ
デジタル圧力センサ 電子式小形圧力スイッチ 小形流量センサ
PPXシリーズ PPEシリーズ FSM-Xシリーズ
小形流量センサ
FSM3シリーズ
電空レギュレータ
(電磁弁方式小形)
EVS2シリーズ
小形流量コントローラ
FCMシリーズ
高精度電空レギュレータ
EVRシリーズ
デジタル
電空レギュレータ 視る 操る
EVDシリーズ 流体 御で、 幅広い産業の
生産性向上 に貢
『様
る。 操制 献します。
水 々な流体の制御』 にこだわります その他
を操 を操る。
密着確認スイッチ
液体用流量センサ 着座確認スイッチ HPSシリーズ
WFK2シリーズ GPS3シリーズ
マルチモニタ
MD-P2シリーズ
クーラント用 クーラント用
電子式圧力スイッチ 機械式圧力スイッチ
CPDシリーズ CPEシリーズ
水集積ユニット ファインレベルスイッチ
WXUシリーズ KMLシリーズ
静電容量式電磁流量センサ クーラント
WFCシリーズ を操る。
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小形流量コントローラ ラピフロー® 圧縮空気
FCM 流 れ
Series Click!
小形流量センサFSM、小形電磁弁の技術を結集。
センサ機能、比例制御機能、バルブ機能すべてに高い性能と経済性を兼ね備え、
各種用途にお応えする。
小形流量コントローラ・ラピフロー® FCMシリーズ。
高速応答のマイクロ加工
マイコン搭載で センサチップ搭載
高精度・多機能を実現
ステンレスボディ
L
L
L
L
低圧損・再現性を向上した
整流機構
多種流体に対応 高信頼の流量制御
適応流体は、空気、窒素、アルゴン、酸素、メタン、プロパ 独自の整流機構により、流量
ン等の各種ガスに対応。さらに水素、ヘリウムが適応流 制御性を左右する再現性の
体に加わりました。多彩な用途にご利用できます。 向上を図りました。
小形・軽量 制御状態が一目でわかる
サイズは70×70×30(縦×横×幅)。 デジタル表示器搭載
狭いスペースや可動部に設置でき、設備の小形化・軽量 ●流量値を3桁でデジタル表示
化に貢献します。 ●エラー表示の他、出力状態(スイッチ出力のON-OFF)
を表示
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小形流量センサ ラピフロー® 圧縮空気
FSM3 流 れ
Series Click!
多様に
1台で5種類のガスを測定可能 本体のボタン操作で 空気
ガス種切替機能
ガス種
(LCD表示タイプ、IO-Linkタイプ)(フルスケール流量200L/min以下のモデル) 切替 窒素
空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))を
1台の流量センサで対応可能。 アルゴン
本体のボタン操作でガス種の切替ができます。
IO-Link仕様では、上位コントローラから遠隔でガス種変更が可能です。 酸素 炭酸ガス
※混合比のご希望がありましたら、当社営業担当者までお問い合わせください。
専用モデル 混合ガス
禁油仕様の酸素専用 (アルゴン+炭酸ガス)
モデルも準備しています
高性能に 使いやすく
アウトガス対応 豊富な継手バリエーション
ステンレスボディタイプは、流路に樹脂を使用していないため、 樹脂ボディ
アウトガスを嫌う工程に最適です。
高精度・高応答
繰返精度:±1%F.S.以内 ワンタッチ式 ワンタッチ式 ねじ込み式 ねじ込み式
表示精度:±3%F.S.以内 エルボ ストレート エルボ ストレート
応答時間:50msec ステンレスボディ
双方向での流体計測が可能
タクトタイムの短縮に貢献
流れ方向を任意に測定できます。 JXR 二重くい込み ねじ込み
継手タイプ 継手タイプ タイプ
適応流体 流量調整弁 クリーン仕様 接続口径 最大流量(L/min)
注1 P70 P80 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 1000
φ4
φ6
注2 φ8
注3 φ10
φ1/4"
空気 φ3/8"
樹脂ボディ 窒素 RC1/8
アルゴン RC1/4
タイプ 炭酸ガス RC1/2
混合ガス NPT1/8 注4 注4
NPT1/4
NPT1/2
G1/8 注4 注4
G1/4
G1/2
RC1/8 注4 注4
RC1/4
RC1/2
G1/8 注4 注4
空気
ステンレスボディ 窒素 G1/4
タイプ 酸素 G1/2
注4 注4
アルゴン NPT1/8
NPT1/4
NPT1/2
1/4インチ2重くい込み継手 注4 注4
1/4インチJXRオス継手
注1:LCD表示タイプに対応
注2:ガス種切替え機能により、アルゴン、炭酸ガス、アルゴン80%+炭酸ガス20%に切替える事ができます。(500L/min、1000L/minモデルはガス種切替え機能がありませんのでご注意ください)
注3:ガス種切替え機能で炭酸ガスに切替える場合、フルスケール流量の50%になります。
注4:適応流体は空気、窒素のみです。
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デジタル圧力センサ 圧縮空気
PPX 圧 力
Series Click!
現在値をみながら設定値が変更可能
現在値[メイン表示部]
比較出力1 動作表示灯 3色表示(赤・緑・橙)
IO-Linkタイプは メイン表示部は、出力のON/OFFに
通信動作表示灯 連動して緑/赤に変化し、設定中は橙色。
比較出力2 動作表示灯 設定値[サブ表示部]
高機能タイプはアナログ サブ表示部をカスタマイズ
電圧出力動作表示灯 設定値以外に任意の英数字の表示が
可能。
モード切換キー 設定UPキー 設定DOWNキー
選べる出力 □30×25.5のコンパクトサイズ
比較出力、アナログ出力、IO-Linkから選択可能。
用途に合わせて3タイプをラインナップ。
標準タイプ 高機能タイプ IO-Linkタイプ
比較出力 アナログ出力
出力1 IO-Link
(NPN/PNP) (電圧/電流)
比較出力 比較出力 制御出力
出力2 (NPN/PNP) (NPN/PNP) (PNP)
ツイン表示によるダイレクト設定
25.5mm
小形サイズに[現在値]を表示するメイン画面と、 □30mm
[設定値]を表示するサブ画面を搭載。
[現在値]を表示させた状態で、設定値の調整・セットが
可能です。設定中もON/OFF動作するため、ボリューム式
センサと同感覚。 3色表示(赤・緑・橙)
キーロック機能も装備しています。 ●メイン表示部は、出力のON/OFFに連動して緑/赤に
変化し、設定中は橙色。センサ状態が一目でわかります。
使い方に合わせた
3つのモード設定
日常行なう操作設定は“RUNモード”、基本設定は
“メニューモード”、ハイレベルな機能は“PROモード”と、
設定内容のレベルで明確に区別しました。
操作設定が分かりやすく、簡単です。 出力ON/OFF:[緑色/赤色] 設定中:[橙色]
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高精度電空レギュレータ 圧縮空気
EVR 圧 力
Series Click!
半導体圧力センサと電子制御回路によるフィードバック制御を採用し、電気信号により、
空気圧を連続的かつ、高精度にコントロールできる高精度電空レギュレータ EVRシリーズ。
単位:kPa
高精度圧力制御 制御圧力
100 200 300 400 500 600 700 800 900
項目
マイコン搭載による新制御方式で、より ヒステリシス 0.3 0.6 1.5 3
高精度な圧力制御を実現。 リニアリティ ±0.5 ±1 ±2.5 ±5
分解能 0.1 0.2 0.5 0.9
繰り返し性 0.2 0.4 1 1.8
最大流量(L/min(ANR)) 250 400 480 600 800 850 900 950 1,000
注 :F.S. 時の値
温度安定性 圧力安定性
温度補償内蔵により、周囲温度による影響を低減。 入力信号0%時に 圧力制御パターンを選択
装置の温度上昇による圧力補正不要。 残圧ゼロ。 できる新機能を追加。
0%F.S.変動 100%F.S.変動
0.2%
100% 応答設定1
10
0.1%
制 応答設定2
0.0% 御
制御 圧
圧力 力 応答設定3
-0.1%
0
-0.2% 0% 0 0.2 0.4 0.6 0.8
0℃ 25℃ 50℃ 0℃ 25℃ 50℃ 0% 入力信号 100% 時間[sec]
※代表値であり保証値ではありません。 ※代表値であり保証値ではありません。
デジタル電空レギュレータ 圧縮空気
EVD 圧 力
Series Click!
圧力表示やエラー表示機能、ダイレクトメモリ機能など、数々の新機能を満載。
さらに小形・高機能・使い易さを追求したデジタル電空レギュレータ EVDシリーズ。
Dサブコネクタ マイコン搭載により エラー表示機能
高機能化を実現 エラー発生を表示と電気信号でお知らせ
します
デジタル表示器
ゼロ・スパン調整機能 ダイレクトメモリ機能
使い勝手にあわせてゼロ・スパン調整が 外部からの入力信号不要製品の操作
操作キー 可能 キーで二次側圧力を自由に調整
プリセット入力機能 スイッチ出力機能
本体に8chまでの圧力を記憶させ、外部 上限下限圧力の設定により、スイッチ
信号で切換えることができます 出力(過電流保護内蔵)可能
バリエーション
シリーズ 圧力レンジ 入力信号 接続口径 出力方式 出力信号単位 最大流量 流路部 対応規格
EVD-1000 Rc1/4 60
□4 100 L/min
2 G1/4 国内モデル ノン
kPa kPa 400 グリース
NPT1/4 アナログ L/min
モジュールタイプ 500 海外モデル
kPa 単位切換
EVD-3000
■接 続 口 径:Rc1/4 アナログ Rc1/4 Rc3/8 kPa
スイッチ psi 700 フッ素
EVD-1000 ■流 量:60,400L/min 900 出力 bar L/min グリース
kPa G1/4 G3/8
■圧力レンジ:100,500,900kPa
■流路部ノングリース仕様 パラレル 1500 ワセリン
NPT1/4 NPT3/8 L/min (特注)
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100
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水集積ユニット 水
WXU Series Click!
豊富なバリエーションの水制御機器が 個別配管の手間を省く
省スペースにオールインワン 面倒な配管作業を解消。
配管レス、継手レスで、設置スペースを低減します。
配管レスで 配管の漏れを低減
フットプリント 80%レス ねじ込み部がなく、外部漏れの心配がありません。
配管施工時の異物混入を防止できます。
設計・手配の工数を低減
面倒な配管設計を解消。
ユニット1つの手配ですべて完了します。
WXU-H WXU-J
1流体制御タイプ 1流体制御タイプ
●冷却配管のサプライとリターンを ●冷却配管のサプライとリターンを
1ユニットで行うことができます。 1ユニットで行うことができます。
●サプライ側とリターン側それぞれにバルブの搭載が可能です。 ●サプライ側には、バルブとニードルが
●コックタイプバルブを採用することにより、ワンアクションで 搭載可能であり、系統毎に個別制御(on/off)が可能です。
開閉操作ができ、目視での確認が容易です。 ●ニードル搭載で流量の調整が容易です。
●インブロック、バルブハウジングの軽量化により、取扱いが容易です。
WXU-HC WXU-P
2流体制御タイプ
1流体制御タイプ ●サプライとリターンユニットを使用
●WXU-Hタイプと同じサプライとリターンを して、2種類の流体(水・空気等)を流す
1ユニットで行う1流体仕様コックバルブ形です。 ことができます。
●静電容量式電磁流量センサを搭載し、水質による検出不良のリスクを ●スパッタリング装置等、冷却水と空気を持つ回路に適しています。
低減します。 ●系統毎に個別制御(通水/エアーパージ)が可能です。
システムイメージ カスタム対応例
■1流体制御タイプ 使い勝手に合わせたユニットが製作可能です。
冷 ●別置き表示器対応 ■継手付
却 〈センサー部〉
部 ●アナログ+SW出力
〈センサー部〉
▽S
O S ●分岐(WXU-P)
S O
▽S
O S
S O ●シリンダバルブ無し
▽S
O S
S O (WXU-J)
水 水
IN OUT
チラー
■2流体制御タイプ
■マスキング ■中間ブロック
サプライユニット リターンユニット
冷
却
部
水 水
エアー IN OUT ドレン
IN チラー OUT
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MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN
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MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN
▽S
▽S
▽S
MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN
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MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN MMAADDEE IINN JJAAPPAANN
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カルマン渦式液体用流量センサ フルーレックス® 水
WFK2 Series Click!
幅広い流量レンジと接続口径
流量範囲: ●0.4~5.0 ●1.6~20 ●4~50
●8~100 ●20~250 L/min
接続口径: Rc3/8~Rc1 1/2
多様な出力
水温測定(標準装備)、SW出力(PNP⇔NPN切替機能)、
アナログ出力に加え、オプションでIO-Link対応品を
ご用意し、装置・システムのIoTニーズに対応します。
半導体 半導体製造装置 制御装置
使いやすさを向上 半導体製造装置の冷却 通信 I/O A/D変換
ユニット ユニット
および温度管理。
記録計
温水95℃まで対応します。 エッチング、グラインダー、
ダイサー、CVD。 モニタ(流量表示)
かんたん流量調整機能付き。(オプション)
並列設置でも簡単に表示画面を90°ずつ回転できます。 異常検知
周辺機器の制御
流 水
量 温
フッ素系流体に対応(オプション) 測 測
定 定
デ デ
ー ー
タ タ
優れた電気絶縁性を有するフッ素系流体に対応しました。
静電容量式電磁流量センサ 水・クーラント
WFC Series Click!
異物の詰まりなし
スルー構造採用により、悪い水質でも問題なく使用できます。
検出不良なし
静電容量式採用により、電極への異物堆積による検出
不良が起こりにくい構造です。
設置性向上
直管部が不要です。
MAX2.0MPa対応
1.0MPaを超える圧力のクーラントも測定できます。
液温測定機能(オプション)
液温センサを別途設置する必要がなく、スペース、
配線工数を削減できます。
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クーラント用圧力スイッチ クーラント
CPE/CPD Series クーラント用 Click!
クーラント液に対応した
低圧用/高圧用圧力スイッチ。
受圧部にダイアフラム構造を
採用し、安定性に優れ、クーラ
ント液はもちろんのこと、
各種産業機械の水圧、油圧
などの液圧確認が可能です。
圧縮空気用流量センサ(表示分離形フルーレックス) 圧縮空気
PFD 流 れ
Series Click!
圧力変動、温度変動による補正不要。
基準状態(0℃、101.3kPa)に換算して、
流量表示。
積算表示、積算値パルス出力可能。
流量レンジ、各種電気出力など多彩な機能、
バリエーション。
流量レンジ
機種 接続 流量範囲 [L/min(normal)]
バリエーション 口径 25 100 200 400 500 800 1000 2000 4000 8000 16000
PFD-501-10 Rc3/8
PFD-102-15 Rc1/2
PFD-202-20 Rc3/4
PFD-402-25 Rc1
PFD-802-40 Rc1 1/2
PFD-163-50 Rc2
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ファインレベルスイッチ(薬液用) その他
KML502/KML60/KML703 Series Click!
純水・酸・アルカリ・溶剤など多種の腐食性流体の液面レベルを
高精度検知し、電気信号にて出力する液面レベルスイッチ
接液部は検出チューブのみで
設置が簡単。本体は検出槽から
離して設置できるため、レイアウト
が自由で、腐食・防爆対策が容易。
また、安全なメンテナンス作業が
可能。
蒸気、飛沫、雫、温度、薬液影響
(刺激臭、引火性、腐食性)を受け
ず、悪環境でも検出可能。
設定不要で即導入できる
KML502。
検出チューブ1本で8点の液面検
出が可能で通信機能(RS485)
を内蔵するKML703。
着座確認スイッチ(デジタルギャップスイッチ) その他
GPS3 Series Click!
デジタル表示画面で着座状態が一目でわかる
高精度2点出力(検出距離範囲内の
距離2点で、しきい値の設定が可能)
検出距離範囲0.03mm~0.4mmで、
仕上げ面粗から素材面粗を1台で
設定できます。
検出エア流路の詰まりを、ランプの
点滅によりお知らせできます。
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(器)和英カ(2026.4)E
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〒300-0847 茨城県土浦市卸町1-1-1(関鉄つくばビル4階C) ●静岡営業所 〒802-0081 福岡県北九州市小倉北区紺屋町12-4(大樹生命北九州小倉ビル8階)
TEL(029)841-7490 FAX(029)841-7495 〒422-8035 静岡県静岡市駿河区宮竹1-3-5 TEL(093)513-2331 FAX(093)513-2332
●宇都宮営業所 TEL(054)237-4424 FAX(054)237-1945 ●熊本営業所
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●太田営業所 TEL(053)463-3021 FAX(053)463-4910
〒373-0823 群馬県太田市西矢島町714番1号(CAMP407 1階) ●四日市営業所 本 社
TEL(0276)45-8935 FAX(0276)46-5628 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 ●本社・工場
南 関 東 TEL(059)339-2140 FAX(059)339-2144 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
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