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空圧機器の枠を超えてFAの改革に貢献します
数多くあるCKDの製品の中から、『特定要素を極める』にこだわった製品をご紹介しております。
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 極 COMPONENTS REPORT1 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 5.6Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | CKD株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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THE
K I・WA・M I
Components Report ❶
CC-1112 4
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摩擦 摩擦をなくすと… 摩擦が一定になると… 摩擦
⇨僅かな推力も ⇨スティックスリップが少ない
⇨細かな推力も 制御可能 ⇨推力変動が少ない
⇨フィードバックがなくても…
微速シリンダ
SSD2シリーズ LCRシリーズ
推力 アライメント
LBCシリーズ LBC-Rシリーズ
STR2シリーズ SMGシリーズ GRCシリーズ
『特定要素を極め る』にこだわります
材料 多孔質を使うと… 磁力を使うと… 磁石
⇨全面吸着で ⇨推力が一定
⇨浮かして 搬送可能 ⇨メンテナンスフリー
⇨発塵量が極めて少ない
吸着 吸着
PVPシリーズ PVP-Bシリーズ 配管 流量センサ
エアファイバ FSM-X
形状 小形化で…
浮上 ⇨限られたスペースにも バッファ バッファ &
GFMシリーズ FBU2シリーズ 回転アライメント
取付可能 AFB-RBシリーズ
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摩擦をなくすと…
エアベアリング
アクチュエータ LBC Series
非接触エアベアリング機構を採用した、摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータ。
Click!
高精度リニア制御
摺動抵抗がゼロのため、電空レギュレータ(EV-FL)
使用により、荷重の高精度リニア制御ができます。
ソフトタッチ
微小 0.01N から荷重をコントロールできるため、
対象ワークへのソフトタッチが可能。衝撃を与えず、
傷もつけません。
最適荷重をコントロール
目的・用途に合わせた、ベストな荷重をワークに
与えることができます。
電空レギュレータ(EV)との組合せにより、 エアベアリングにおけるロッドの求心作用 エアベアリングとメタルシールとの摺動抵抗比較
エアの流れ 1
繊細で精密な荷重コントロールを実現 ←
ブッシュ ブッシュ
します。 摺
動 メタルシール
抵
抗
f
ロッド ロッド (
接触による摺動抵抗 f N エアベアリング
)
エアベアリング メタルシール 0 10推力(N)→20 30
■仕様
項 目 LBC-01 LBC-05 LBC-30
使用流体 圧縮空気(0.3μ mフィルタ使用、油分水分不可)
使用圧力(MPa) エアベアリングポート 0.3 〜 0.5
推力ポート 0.002 〜 0.1
推力範囲(N) 0.02 〜1.0 0.1 〜 5.0 0.6 〜 31.4
■用途例
フィルムのテンションコントロール コイルの巻線におけるテンションコントロール
LBC
巻線
ローラ LBC
フィルム
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摩擦
ウェハーの洗浄(スクラバー洗浄機用) チップ部品の組み付け(ボンディング装置用)
LBC
LBC
チップ部品
ウェハー
半導体部品の研磨仕上げ レンズの研磨仕上げ
LBC
LBC
レンズ
研磨ヘッド
ポリッシャー チップ部品
表面走査の計測プローブ 半導体テスターの針先高さ検出
レーザー変位計
ヘッド部
ウェハー(チップ)
LBC
ウェハーチャック
プローブピン
試料表面
LBC
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摩擦をなくすと…
エアジャイロ LBC-R Series 摩擦
平行調整を可能にするエアジャイロ。
高精度な平行出し、調整の自動化、工数削減に威力を発揮します。
Click!
" 倣い " で一発平行調整
平行にしたい面同士を押し当てるだけ。
高精度平行調整の自動化を可能にします。
職人技に頼らない高精度 " 倣い "
" 倣い " は、エア加圧により球面ベースを浮上させて
行なう 球面静圧軸受け方式。摩擦、磨耗がなく
高精度の平行調整(平行度1μm)を支えます。
押しあてるだけで対象面を平行調整
基準面 倣い面
回転中心 球面静圧
軸受け部
ベース
加圧 加圧 加圧 真空 真空
エア浮上 押し付け 倣い動作 角度保持 調整完了
空気圧で姿勢を保持
■用途例
フリップチップボンダ 圧着ヘッドの角度調整 バンプレベラー 加圧ヘッドの角度調整
LBC-R
加圧ヘッド IC チップ
OK
IC チップ 基板
圧着治具
ハンダバンプ
ハンダバンプ 治具 NG
基板 IC チップ
LBC-R
ラミネータ装置 FPD パネルの貼り合せ CMOS パッケージ組立 カメラモジュール組立
カバーガラス レンズユニット
接着 接着
液晶パネル、 セラミック基板 CMOS
有機 EL パネル CMOS センサ パッケージ
吸着ヘッド
レンズユニット
CMOS パッケージ
LBC-R
治具 LBC-R
●本製品は特別仕様品につき当社営業担当にお問合せください。
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摩擦が一定になると…
微速シリンダ 摩擦
特殊な摺動機構により、スティックスリップのない滑らかな低速作動を実現します。
1mm/sec までの超低速 ←
ス 微速シリンダ
ピ
ー
スティックスリップなどがなく、速度も安定します。 ド
普通シリンダ
両端部でもソフト作動 0 ストローク →
立上がりも終端も滑らかに作動・停止します。
■シリンダの速度目安
1mm/sec 10mm/sec 50mm/sec 1000mm/sec 3000mm/sec
同一寸法 遅 速
微速 低速 普通 高速 超高速
全機種すべて、標準形番製品と同一寸法です。 シリンダ シリンダ シリンダ シリンダ シリンダ
■商品体系
ペンシルシリンダ スーパーコンパクト 小形ダイレクト テーブル形ロータリ
〈SCPD3-F〉 シリンダ シリンダ アクチェエータ
Click! 〈SSD2-F〉 Click! 〈MDC2-F〉 Click! 〈GRC-F〉 Click!
小形コンパクト リニアスライド スーパーツインロッド スーパーマウント
シリンダ シリンダ シリンダ シリンダ
〈MSD-F〉 Click! 〈LCR-F〉 Click! 〈STR2-F〉 Click! 〈SMG-F〉 Click!
■用途例
ラビング装置 レンズ(ガラス)研磨(押圧一定制御)
微速シリンダをリフター
として使用
作業テーブルからガラス基板を
ゆっくり持ち上げ静電気の発生 微速シリンダ
を防止する
レンズ
研磨治具 (ガラス)
微速シリンダ
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磁力を使うと…
ファインバッファ FBU2 Series
磁石の吸引力を利用した、従来にないまったく新しい緩衝ユニットです。 可搬 テール ヘッド
ソフトな接触と安定した押し圧により、対象ワークの損傷を解消します。 外径 全長 質量 押し圧 軸受精度 ストローク ピース形状 ピース形状
微小デバイス・壊れやすいワークのダメージレスハンドリングに最適です。 Click! φ7 h7 35 S 標準 穴なし 穴なし
軽量タイプ
FBU2-7 39 30g 0.2N H 高精度形 2mm M3 M3
6mm
押し圧一定 用途多彩 M8×0.75 mm HV 内部流路式高精度形 穴なし M3
可動軸、固定軸に組み込まれた磁石がずれると斜め 真空吸着による部品のピック& プレイス、搬送・移 2mm
方向の磁力線が発生し、軸方向分の力が戻ろうと 送をはじめ、ワークの押し当て、部品の挿入など、 φ12 h7 40 S 標準 6mm 穴なし 穴なし
16mm
標準タイプ M3 M3
する力を発生します。 FBU2-12 64 80g 0.5N
多彩な使い方が可能です。 1.0N H 高精度形 2mm M5 M5
M12×1 mm HV 内部流路式高精度形 6mm
小形・軽量(FBU2 シリーズ) ■押し圧特性 穴なし M3
M5
初期作動時 100 万回作動後
構成部品が、可動部、固定部と 2 パーツのみ。その 押 押 60 穴なし 穴なし
し2.0 し2.0 2mm M3 M3
圧 スプリング式バッファ 圧 汎用タイプ 0.5N
ため、小形、超軽量化(5g 以下)が可能になりました。 (1.5 (1.5 スプリング式バッファ
N N ロングライフ
) ) メンテナンス FBU2-SU M12×1 94 200g 1.0N - 標準のみ 6mm M4 M4
また可動部の質量も少なく、ワークへのソフトタッチ、 1.0 1.0
ファインバッファ 1.0N ファインバッファ 1.0N フリー mm 16mm M5 M5
M6 M6
0.5
ショック低減が可能になります。 0.5N 0.5 0.5N
0.2N 0.2N
0 0.5 1 1.5 0 0.5 1 1.5
ストローク(mm) ストローク(mm)(当社寿命試験による)
クリーン&ロングライフ
従来の金属バネ式に比べ、金属接触がなく可動接触 ■小形・軽量
面積も微小なため、発塵量が極少。しかも推力は 可動軸 固定軸
磁力により発生しているため金属バネのような疲労が
無く、高寿命かつ性能も安定しています。 磁石
固定部 可動部
■用途例
積層搬送 チップ検査装置
FBU2
FBU2
プリント基板・フレキ基板搬送 電子デバイス吸着搬送
FBU2
FBU2
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~ ~ ~
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磁石
■バリエーション 可搬 テール ヘッド
外径 全長 質量 押し圧 軸受精度 ストローク ピース形状 ピース形状
φ7 h7 35 S 標準 穴なし 穴なし
軽量タイプ
FBU2-7 39 30g 0.2N H 高精度形 2mm M3 M3
6mm
M8×0.75 mm HV 内部流路式高精度形 穴なし M3
2mm
φ12 h7 40 S 標準 6mm 穴なし 穴なし
16mm
標準タイプ 0.5N M3 M3
FBU2-12 64 80g 1.0N H 高精度形 2mm M5 M5
M12×1 mm HV 内部流路式高精度形 6mm 穴なし M3
M5
60 穴なし 穴なし
汎用タイプ 0.5N 2mm M3 M3
FBU2-SU M12×1 94 200g 1.0N - 標準のみ 6mm M4 M4
mm 16mm M5 M5
M6 M6
磁力を使うと…
アクティブ 磁石
ファインバッファ AFB-RB Series
モータとファインバッファを一体化し、回転とバッファ動作を行います。
アライメント機能 真空吸着機能
①ステッピングモータ ①ステッピングモータ ③真空ポート
各種モータから選択可能 内部真空流路があり前面真空ポート
②ガイドブッシュ にかんたん配管
回転振れ精度 0.01mm 以下 ④シャフト
先端でワーク真空吸着
バッファ機能 省スペース
⑤ファインバッファ
⑤ファインバッファ 小形で
磁気バネ緩衝機構 マニホールドが
③真空ポート 可能。 幅・ピッチ
内部真空流路 20mm
■用途例
②ガイドブッシュ 精密実装 P & P 中の回転アライメント
軸振れを抑制し、高精度なθアラ 取付ピッチ20mmで、コンパクトに
イメントを実現。 設置可能。
④シャフト
Click! 8
~ ~ ~
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多孔質を使うと…
精密吸着
プレート PVP Series
CKD 独自の気孔率 40%フッ素樹脂焼結多孔質を採用。
極薄材料や軟材質でも、ワークを傷めず、吸着による歪みや変形も解消できます。
高精度・高難度工程に威力を発揮します。 Click!
高精度なワーク処理 吸着力が大きい
吸着面の平面度:2 μ m、 気孔率が 40%もあり、大きい吸着力で全面吸着が可能。
平行度:5μ m。 大きい吸着力でも極薄ワークの吸引変形がありません。
(R-36-18, C-50, S-50-50 の仕様値です ) フッ素樹脂多孔質
ワーク固定精度が高く、高精度なワーク処理 フッ素樹脂多孔質 多孔質含浸エポキシシール
が可能です。
真空ポート アルミベース
平行度 : 5μm
気孔率 : 40%
平面度 : 2μm
比重 : 2.7以下
硬度 : ショアD60
ワークを傷めない 軽い
吸着面の硬度はショア D60。 フッ素樹脂多孔質(見かけ比重1.3)とアルミベース
ソフトな接触でワークを傷つけません。 (比重:2.7)から構成。
軽いので、駆動力が小さくできます。
■シリーズバリエーション
プレート形状は標準 3 タイプをご用意。
さらにお客様のご要望に合わせて思いのままの形状にカスタマイズいたします。
●標準タイプ ●形状特別仕様品タイプ例
PVP-R PVP-C PVP-S
①ドーナツ形 ②丸形 ③四角形
ウェハー形 ロボットハンド用途 多点吸着形
ディスク等 半導体、シリコンウェハー等 プラスチック基板等 ・特別仕様品として受け賜ります。詳細は当社営業にお問合せください。
帯電防止 黒色・導電性タイプ(PPS多孔質)
静電気防止剤をフッ素樹脂多孔質にコーティング。 キズをつけず反射しない黒色タイプも
静電気発生を抑え、ワークを傷つけません。 ご用意しました。
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材料
■用途例
フィルムの貼り合わせ・剥離 ロボットハンド
PVP
PVP
検査工程 液晶ガラス張り合わせ工程
カラーフィルター
PVP
PVP ガラス基板
フィルム基板搬送工程 太陽電池製造工程
太陽電池セル
フィルム基板
PVP
PVP
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多孔質を使うと…
フロートスター GFM Series
高精度・高品質な浮上システム
ガラス基板などの繊細なワークでも Click!
非接触・クリーン・ダメージレス搬送可能
非接触で安定した高精度浮上 クラス10 レベルを実現※
カーボン多孔質の採用により、非接触で安定した カーボン多孔質により浮上エアのパーティクルを抑制。
高精度浮上を実現します。 ※ GFMシリーズの当社テストによるJIS B 9920のクラス4 相当
であり、測定値には 0.5μ m 以上の粒径も含まれます。
(GFM-T を除く)
ワークへの帯電を防止
導電性のある多孔質素材によって静電気を抑制します。
(GFM-T を除く)
空気消費量大幅削減
ガラス浮上に最適な気効率を採用しエア消費を大幅
に削減。工場の省エネに大きく貢献します。 高感度検査に最適
ブラックボディの採用により、乱反射がなく、
ワークの視認性がアップします。
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材料
多彩な形状・機能のバリエーション
搬送から各種プロセス、検査まで、すべての工程に最適なシステムをサポート
ラフ搬送に最適。
高浮上 レール アライメント工程に最適。
GFM-T Series アライメント浮上パッド
アルミ材に微細孔を最適配置、
ローコスト。 GFM-A
首振り機構によりガラスの
たわみに追従。
精度の高い搬送や
ロ-ダ-・アンロ-ダ-に最適。
浮上レール(標準タイプ)
GFM-RS Series
スリットを採用し安定した
浮上を実現。
搬送工程に最適。
浮上 レール(汎用タイプ)
GFM-RF Series
カーボングラファイト多孔質により
空気消費量を大幅に削減。
各種プロセスに最適。
精密浮上ステージ
GFM-P
正圧と負圧を併用し高精度な
浮上平面度を実現。
■GFMシリーズ製品体系
空気消費量L/min(abs)
機種バリエーション 主用途 浮上量[μm] (0.1MPa時)※1 材質
GFM-A 位置決め 10μm以上※2 10以下 カーボンファイバ入り
PPS多孔質
GFM-T Series ラフ搬送 250μm以上※2 100以下 アルミ合金
(微細孔加工)
GFM-RF Series 搬送 250μm以上※2 24以下 カーボングラファイト
多孔質
GFM-RS Series ロ-ダ-・ 150μm以上※2
アンロ-ダ- 24以下 カーボングラファイト
多孔質
GFM-P 各種プロセス 30μm※3 3以下 カーボングラファイト
多孔質
※1 空気消費量の目安とお考えください。
※2 浮上量の目安とお考えください。 12
※3 正圧・負圧流量の組合わせで、数値が変わります。
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小形化で…
エア
ファイバ UP/EH/PG/CG Series 形状
エアファイバ
UP/EH Series Click!
省エネ・省スペース
外径φ1.8 ×内径φ1.2 の極細サイズ。
配管スペースを大幅に削減できます。
また、チューブ 配管の容積が小さく、省エネルギー
にもなります。
エアファイバ用ワンタッチ継手
エアファイバ 従来品 従来品
φ1.8×20本:80mm2 φ3.2×20本:253mm2 φ4.0×20本:396mm2 PG/CG Series
静電気やホコリの付着防止 ワンタッチ着脱
エアファイバ(UP シリーズ)は、帯電防止対策が 継手のプッシュリングを押しながら、チューブを挿入
施してあり、静電気やホコリの付着を防ぎます。 または抜くだけで着脱可能。従来に比べて容易に
なりました。
また、樹脂材料はポリプロピレン(PP)樹脂を標準
採用して、耐食性を上げました。
■バリエーション
機 種 バリエーション シリーズ チューブ材質 色
標準仕様 UP 7 色
Series ウレタン(帯電防止)
エア
ファイバ
クリーン仕様 EH 2 色
Series 特殊ポリオレフィン
バリエーション シリーズ 材 質 バリエーション
標準仕様 PG Series 黄銅+無電解ニッケルメッキ、PP 10 タイプ
ワンタッチ 16 種類
継 手
クリーン仕様 CG Series ステンレス(禁油)、PP 6 タイプ
11 種類
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小形化で…
超小形流量センサ
(空気・N2用)ラピフロー® FSM-X Series 形状
超小形、最薄 8 mm。ヘッド分離でさらに省スペース !!
半導体微少チップの吸脱着確認。
(フィルタの目詰り、ノズルのツブレ検知も可能。) Click!
超小形・軽量
センサヘッド分離で省エネスペース。センサヘッド
単体で従来体積比 52%減、業界最軽量の質量 4g、
業界最薄クラスの幅 8mm を実現いたしました。
センサヘッド単品対応
センサヘッド単品(継手なし)での対応が可能になり
ました。
双方向の流量測定が可能
豊富な流量レンジ 双方向での流量検知に加え、片方向タイプも対応。
双方向流れ:± 0.5、±1、± 5、±10L/min
片方向流れ:0.5、1、5、10L/min ■概要
の全 8 種類を用意いたしました。超小形形状ながら 装置組込用に機能を絞込み、さらに小形・軽量化を図りました。
測定部直近の可動部先端への取付が可能となり、システム
大流量(10L/min)まで使用可能です。 としての応答性改善に貢献します。
また、双方向検出が可能で幅広い分野で付加価値の高い
機能を提供します。
■用途例
チップマウンター ペットボトルの漏れ検査
FSM-X
FSM-X マルチプルヘッド
PCB
z
x y
パーツフィーダ
コレットノズルによる吸着確認
バルブ真空源
コレットノズル
FSM-X
インラインフィルター
ワーク
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お問合せは
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北 陸 ・ 信 越 ●大阪オフィス
〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10(PMO EX新大阪6階)
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北 海 道 〒940-0088 新潟県長岡市柏町1-4-33(高野不動産ビル2階)
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東 北 ●富山営業所 ●岡山営業所
〒939-8071 富山県富山市上袋100-35 〒700-0904 岡山県岡山市北区柳町2丁目6番25号(朝日生命岡山柳町ビル10階)
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北 関 東 ●豊田営業所
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●宇都宮営業所 TEL(054)237-4424 FAX(054)237-1945 ●熊本営業所
〒321-0953 栃木県宇都宮市東宿郷3-1-7(メットライフ宇都宮ビル1階) ●浜松営業所 〒869-1235 熊本県菊池郡大津町室701-3
TEL(028)638-5770 FAX(028)638-5790 〒435-0016 静岡県浜松市中央区和田町438 TEL(096)297-9905 FAX(096)297-9906
●太田営業所 TEL(053)463-3021 FAX(053)463-4910
〒373-0823 群馬県太田市西矢島町714番1号(CAMP407 1階) ●四日市営業所 本 社
TEL(0276)45-8935 FAX(0276)46-5628 〒512-1303 三重県四日市市小牧町字高山2800 ●本社・工場
南 関 東 TEL(059)339-2140 FAX(059)339-2144 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250
関 西 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123
●東京営業所
〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1(文化放送メディアプラス4階) ●大阪営業所
TEL(03)5402-3628 FAX(03)5402-0122 〒532-0003 大阪府大阪市淀川区宮原4丁目2-10(PMO EX新大阪6階)
●立川営業所 TEL(06)6396-9630 FAX(06)6396-9631
〒190-0022 東京都立川市錦町3-2-30(朝日生命立川錦町ビル3階) ●滋賀営業所
TEL(042)527-3773 FAX(042)527-3782 〒524-0033 滋賀県守山市浮気町字中ノ町300-21(第2小島ビル4階)
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〒274-0825 千葉県船橋市前原西2-12-5(朝日生命津田沼ビル5階) ●京都営業所
TEL(047)470-5070 FAX(047)493-5190 〒612-8414 京都府京都市伏見区竹田段川原町241
●神奈川営業所 TEL(075)645-1130 FAX(075)645-4747
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