パイロット式レギュレータ　PMP002シリーズ

New Products 新商品 パイロット式レギュレータ PMP002シリーズ PILOT REGULATOR PMP002 SERIES 設置性と制御性の“最適解” 小型版 33L/minL/min 省 レレ3ンL/mジin省 レンンジジ 低低 ススペスペー 省 ペース 低 ースス PPaPratarictrilcetilcele 圧圧力力 高圧力安 高 速 高速速 安安定定 定 応答 流量 応答 流流量量 応答 安安 安定定定 PMPシリーズ（002/202/402） PMP402 シリーズ 接続口径（OD） 1/4" 3/8" 1/2" 3/4" 1" 流量範囲 PMP- （L/min） φ6 φ10 φ12 − φ25 002 0.2〜3（Max5） PMP202 202 ● ● ● 0.2〜5（Max8） 402 ● ● ● 2〜20（Max40） 36 PMP002 52 92 PMP002 PMP202 PMP402 CC-1480

ファインレギュレータ（パイロット式） PMP002 Series 薬液・純水供給部の圧力変動を、パイロットエアコントロールにより、 安定した圧力に調圧できるよう設計されたレギュレータです。 仕様 内部構造および部品リスト 項目 材料 使用流体 純水、薬液（ 注1） 流体温度 ℃ 10～90 1 耐圧力 MPa 1 4 品番 部品名称 材質 最高使用圧力 MPa 0.5 2 1 カバー PVDF 設定圧力 MPa 0.02～0.3 2 ダイアフラム PTFE 操作圧力 MPa 0～0.4 3 バルブダイアフラム PTFE 推奨流量 ℓ/min 0.2～3 4 Oリング FKM5 操作ポート Rc1/8″ 5 ボディ PFA3 6 ボトムプレート PVDF 周囲温度 ℃ 10～60 6 取付姿勢 自在 接続方式 形番表示方法参照 注1：使用上の注意事項をご覧ください。 注2：ノンリリーフタイプ 形番表示方法 イ 接続方式 6UP 8BUP 10UP 10BUP PMP002 10BUP X スーパー３００タイプ スーパー３００タイプ ピラーフィッティング ピラーフィッティング Pシリーズ一体形 Pシリーズ一体形 φ6 1/4" φ10 3/8" × × × × 機種形番 イ 接 続方式 ロ 取付方法 φ4 5/32" φ8 1/4"チ チ チ チ ュ ュ ュ ュ ー ー ー ー ブ ブ ブ ブ 接 接 接 接 内容 続 続 続 続 ボディ材質 PFA PFA ロ 取付方法 F フランジ取付 ● ● X 底面取付 ● ● 注：上記接続以外の継手についても承ります。詳細は問合せください。 外形寸法図 ●PMP002- ※1 50 (A) 4-R3.5フランジ取付時 36 36 2-8 22 操作ポートRc1/8 8.5 2-M6 深さ9 底面取付：X（R視図） フランジ取付：F（R視図） 寸法 A ※1 接続形番 6UP 74 8BUP 74 10UP 86 R視 呼吸穴 Rc1/8 10BUP 86 2 36 9 11 22 33 61 2-7 36 50 62

PMP002 Series アプリケーション・特性データ アプリケーション 安定吐出（圧力・流量） 分岐流量均一化 遠隔流量設定 PMPなし PMPあり 精密レギュレータ バルブ （RPシリーズ） オリフィス大流 電空レギュレータ 量 （EVシリーズ） オリフィス小 Open Open レギュレータ 操作圧 PMP 安定 Open Open ポンプ オリフィス Open Open 変動 増加 安定 Close Close 特性データ 流量特性 流量特性 圧力特性 使用流体：水　1次側圧力0.3MPa 使用流体：水　1次側圧力0.5MPa 0.30 0.40 使用流体：水　流量 1ℓ/min 3/8＂ 0.35 3/8＂0.25 1/4＂ 0.100.30 1/4＂ 0.20 0.25 0.08 0.15 0.20 0.06 0.10 0.15 0.04 0.10 0.05 0.05 0.02 0.00 0.00 0.00 0 1 2 3 4 5 0 1 2 3 4 5 0.0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 流量［ℓ/min］ 流量［ℓ/min］ 1次側圧力［MPa］ 調圧特性 操作エア圧力-２次側圧力 特性 操作エア圧力-流量 特性 使用流体：水　1次側圧力0.5MPa 使用流体：水　オリフィスφ1.5 操作エア 使用流体：水　オリフィスφ1.5 操作エア 0.4 ［MPa］ 3.0 ［MPa］0.30 0.40 0.40 0.25 2.50.3 0.35 0.35 2.0 0.300.20 0.30 0.25 0.15 0.2 1.50.25 0.20 0.10 0.1 0.20 1.0 0.15 0.05 0.15 0.5 0 0 0 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0 0.1 0.2 0.3 0.4 操作圧力［MPa］ １次側圧力［MPa］ １次側圧力［MPa］ 参考データ 参考データ 応答性 操作エアに対する2次側圧力の追従性 脈動吸収性　1次側圧力の脈動に対する2次側圧力の安定性 使用流体：水　1次側圧力0.3MPa　流量1ℓ/min 使用流体：水　流量1ℓ/min 0.30 0.35 0.25 0.30 0.20 0.25 1次圧力 0.15 0.20 ２次圧力 0.15 0.10 操作エア圧力 ２次側圧力 0.10 0.05 0.05 0 0.00 -0.5 0 0.5 1 0 1 2 3 4 5 時間［S］ 時間［S］ 3 圧力［MPa］ 2次側圧力［MPa］ 2次側圧力［MPa］ 2次側圧力［MPa］ 2次側圧力［MPa］ 圧力［MPa］ 流量［ℓ/min］ 2次側圧力［MPa］

(器)和中ﾓ非該(19.11)H-36.ai 使用上の注意事項 ご使用前に取扱説明書および最新の「ウェットファイン機器総合（カタログNo.CB-031）の「使用上の注意事項」 を必ずお読みください。 危険 1 お客様では絶対に分解・再組立をされないようにお願いいたします。 外部に薬液が漏れる可能性があり危険です。 2 レギュレータの動作によりボトムプレートにある呼吸穴から僅かながら薬液の透過ガスが放出されます。動作 中は呼吸穴付近に人が近づかないようにしてください。 警告 1 継手施工時 継手の施工は専用の施工治具が必要ですので、別途継手メーカーにお問合せください。 2 メイン配管時 ①メイン配管を行う際は、レギュレータ本体に曲げ・引張り・圧縮等の応力がかからないようにしてください。無理な力がかかった 場合、継手やボディの変形・破損および性能の低下等が発生する可能性があり危険です。 ②レギュレータボディに表記してある矢印方向に流体が流れるように配管してください。 ③レギュレータ本体の設置については、ボトムプレートと装置を固定してください。継手のみで支持すると本体および配管・継手が 破損する恐れがあります。 ④レギュレータは微少な開度で動作するため、異物の混入した流体を流しますと、弁座が傷つき性能が低下する恐れがあります。 異物が混入する恐れがある場合は、レギュレータの1次側にフィルターを取付けていただくことを推奨します。 ⑤レギュレータの設定圧力を越えた出力圧が2次側装置の破損や作動不良を招く場合には、必ず安全装置を付けてください。 3 周囲環境について 製品からの漏れ・作動不良・破損等が発生する恐れがありますので、下記環境下では使用しないでください。 ● 腐食性雰囲気や爆発性雰囲気および薬液がかかる場所 ● 振動・衝撃の発生する場所 ● 使用温度を超える熱源のある周辺および屋外 4 耐薬品性について 薬液をご使用になる場合は、使用流体と製品材料との適合性を化学的専門知識のある方において下表を参考に ご確認の上、お客様にて使用の可否をご判断ください。接液部品のみならず、透過ガスにより製品構成材料に 影響し、製品からの漏れ・作動不具合等が発生する恐れがあります。 使用流体 適合性 使用流体 適合性 純水 ○ 水酸化カリウム ○ 硫酸 ○ アンモニア水 △（注1） ○：使用可能 塩酸 ○ アセトン △ △：ご相談ください。（注1） 硝酸 ○ 酢酸ブチル △ 　　（条件によっては対応できる場合がございます。）（注1） フッ酸 ○ イソプロピルアルコール ○ ×：使用不可。（注1、2） リン酸 ○ シンナー △ 注1： 透過性の高い薬品のため、透過ガスがパイロットエアに 混入し、操作機器に影響を及ぼす可能性があります。透 フッ化アンモニウム ○（注1） レジスト ○ 過ガス対策が必要な場合、特注品にて対応が可能です。 過酸化水素 ○ 現像液 ○ 別途ご相談ください。 オゾン水 △ スラリー ○ 注2： フッ酸の場合流体温度は40℃までとなります。 硫酸+過酸化水素水 ○ めっき液 ○ 注3： アミン系剥離液を流体温度が80℃以上で使用する場合 硫酸+オゾン △ 剥離液 ○（注3） は、定期的な交換をしてください。最低1回/1年を目安 水酸化ナトリウム ○ 気体 × にお考えください。 5 使用方法について ● 温度、圧力、流量、その他の使用条件は、製品の仕様範囲内でご使用ください。 ● 長期間にわたって使用しない場合は1次側の供給圧を止めてください。 ● 本製品はノンリリーフタイプであり、2次側を閉止してご使用されますと、ウォーターハンマなどで発生した高圧を保持して しまう場合があります。 ● 遮断弁として使用しないでください。 注意 1 流量設定について バイブレーションの発生のない流量設定でご使用ください。バイブレーションは製品の寿命を低下させる場合 があります。 本製品及び関連技術を輸出される場合は、兵器・武器関連用途に使用されるおそれのないよう、ご留意ください。 If the goods and/or their replicas, the technology and/or software found in this catalog are to be exported from Japan, Japanese laws require the exporter makes sure that they will never be used for the development and/or manufacture of weapons for mass destruction. 本社・工場 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)77-1111 FAX(0568)77-1123 営業本部 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1303 FAX(0568)77-3410 Overseas Sales Administration Dept. 2-250 Ouji, Komaki City, Aichi 485-8551, Japan TEL(0568)74-1338 FAX(0568)77-3461 ＜Website＞ 東日本支店 〒105-0013 東京都港区浜松町1-31-1（文化放送メディアプラス4階） TEL(03)5402-3620 FAX(03)5402-0120 https://www.ckd.co.jp/ 中日本支店 〒485-8551 愛知県小牧市応時2-250 TEL(0568)74-1356 FAX(0568)75-1692 西日本支店 〒550-0001 大阪府大阪市西区土佐堀1-3-20 TEL(06)6459-5770 FAX(06)6446-1945 ●このカタログに掲載の仕様および外観を、改善のため予告なく変更することがあります。 0120-771060 ●Specifications are subject to change without notice. フリーアクセス 　 お客様技術相談窓口 受付時間 9:00～12:00/13:00～17:00 ○C CKD Corporation 2020 All copy rights reserved. （土日、休日除く） 2020.7.CBC