半導体製造装置に関わる方必見！ニッタクリーン配管用製品初心者ガイド

M-20260820001 半導体製造装置に 関わる方、全員ご覧ください！ ニッタのクリーン チューブ・継手 初心者ガイド

目次 ① ニッタのクリーンチューブ製品 ② ニッタのクリーン継手製品 ③ アプリケーション例 ④ 実際のご使用事例 ⑤ 選定方法 まとめ ⑥ 連絡先 その他資料リンク

ニッタのクリーンチューブ製品 ふっ素樹脂チューブ TAチューブ（PFA材） TPチューブ（FEP材） ⚫ 耐薬品性 ⚫ 耐熱性に優れる ⚫ 溶出、析出物が少ない ⚫ 非粘着性/内面平滑性 ポリオレフィン系樹脂チューブ PLチューブ (柔軟) PNチューブ (超柔軟) ⚫ 低溶出性、水分バリア性、柔軟性 ⚫ ふっ素チューブより経済的 ⚫ カラーバリエーションが豊富 ⚫ クリーンルーム内で製造、クリーン梱包 通常のチューブを使用しているが、チューブからの不純物 の溶出を抑えたい方 ニッタの低溶出性の PL, PNチューブで改善！ 帯電防止チューブ ESチューブ ⚫ 帯電防止性能がある ⚫ 導電剤の溶出無し ⚫ ふっ素系不活性液体配管に最適 帯電によるチューブ損傷でお困りの方 ESチューブで解決！

ニッタのクリーン継手製品 クリーン用プッシュワン式継手 C1継手 ⚫ プッシュワン接続可能 ⚫ 接液部が非金属 (溶出なし ) ⚫ 無発塵 ⚫ 非汚染性 金属イオンの溶出に困っている方 非金属、無発塵で非汚染性に優れた C1継手で解決！ クリーン用ねじ込み式継手 CSE継手 ⚫ SUS316 製で耐薬品性・耐食性に優れる ⚫ アセンブリナットの増し締め不要 ⚫ 高いシール性（高温） ⚫ 大流量設計 ⚫ 完全禁油処理品 ⚫ 実績多数 高温環境下、継手からの液漏れで困っている方 高温使用時のシール性に優れる CSE継手で解決！ クリーン用プッシュワン式継手 CC継手 ⚫ 非金属 ⚫ 強い耐薬品性能を発揮 （ボディ PPS、シール材 FKM ） ⚫ プッシュワン接続 ⚫ 本体、ネジ部が回転 ⚫ 完全禁油処理・クリーン梱包仕様対応も可能 幅広い薬品に対しての耐性が欲しい方 腐食性ガス雰囲気中での配管が求められる方 本体がPPS樹脂、シール材が FKMのため、耐薬品性に優 れ、腐食ガス雰囲気下での配管に適する CC継手で解決！

アプリケーション例 こんな装置で豊富な採用実績があります！ （研磨）

実際のご使用事例 CMP装置での具体的なご使用事例 研磨ユニット EFEMユニット、搬送ユニット ・ スラリー ・ 駆動用エア配管 チューブ：ふっ素、シリコン チューブ：オレフィン、ふっ素 継手 ：クリーンワンタッチ 継手 ：クリーンワンタッチ継手 ・ 駆動用エア配管 チューブ：ウレタン、オレフィン 継手 ：クリーンワンタッチ 研磨ユニット EFEM FOUP 搬送 ユニット 洗浄ユニット 洗浄ユニット ・ 洗浄液(純水、薬液 ) チューブ：ふっ素、オレフィン 継手 ：クリーンワンタッチ、クリーン締込み ・ プロセスガス (N2) チューブ：ふっ素 その他 継手 ：クリーンワンタッチ ・ 冷却ユニット チューブ：ふっ素、オレフィン、 ホース ：大口径クリーンホース 継手 ：クリーンワンタッチ、一般用ワンタッチ ・ ユニット間の接続 継手 ：カプラー、マルチコネクタ 使用条件をお教えいただけましたら、最適な製品を選定するので、 ぜひニッタ株式会社にご相談ください！大まかな選定方法は次 ページをご参照ください！

選定方法 まとめ 製品選定に必要な条件 チューブサイズ 使用温度 継手サイズ チューブ/継手材質 使用圧力 使用流体 選定例 チューブサイズは8X6で、 使用圧力は0.3MPa TA-4-8x6、TP-4-8x6、PL-4-8x6 ES-4-8x6… 冷媒はプロピレングリコール系 使用温度域は0～+60℃ ふっ素系チューブと ステンレス系継手がよいか ねじ込み式のSUS316製継手で、 コネクタ形状でRc1/8に接続したい TA-4-8x6-CWHと、 CSE-C8x6-R1/8の組合せ クリーン環境でのおおまかな考え方 厳しい環境 狭いところ ⚫ ふっ素径チューブ ⚫ ポリオレフィン径チューブ ⚫ CSE継手 きれいな環境 ⚫ C1継手

連絡先 その他資料リンク ニここッタをクリーックン製品カタログは ニッタクリーン製品カタログは ここをクリック ニここッタを一クリ般ック産業用配管製品カタログは ニッタ一般産業用配管製品カタログは ここをクリック 直クリ接ックお問い合わせはこちらを 直接お問い合わせはこちらを クリック