【半導体・電子デバイス】製造環境の維持管理のきほん（ニッタ株式会社）のカタログ無料ダウンロード | Apérza Catalog（アペルザカタログ）

ハンドブック

■クリーンルームとは
■クリーンルームの管理規格
■気中パーティクルカウンタとは
■半導体製造における清浄度管理
■気中パーティクルカウンタの紹介
■清浄度モニタリングの基本ポイント
■環境モニタリングシステムの構成例

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ドキュメント名	【半導体・電子デバイス】製造環境の維持管理のきほん
ドキュメント種別	ハンドブック
ファイルサイズ	3.2Mb
登録カテゴリ	設備・消耗品・その他システム・ソリューションその他システム・ソリューション
取り扱い企業	ニッタ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧)

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ニッタ株式会社

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スライド 1: はじめに

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スライド 2: 目次

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スライド 3: クリーンルーム (Fundamentals: Cleanrooms)とは

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スライド 4: クリーンルームの管理規格

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スライド 5

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スライド 6

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スライド 7

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スライド 8

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スライド 9: 気中パーティクルカウンタ (Particle Counters)とは

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スライド 10: 半導体製造における清浄度管理

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スライド 11: 気中パーティクルカウンタの紹介

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スライド 12: 清浄度モニタリングの基本ポイント

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スライド 13: 環境モニタリングシステムの構成例

【半導体・電子デバイス】製造環境の維持管理のきほん