一元管理でモニタリングする監視システムのご紹介
■ソフトウェア「FMS」 FDA21CFR Part11対応
■常時監視方式（ポンプ内蔵型） AERO TRAK+ model 6000 Series
■AERO TRAK+ model 7000 Series
■常時監視方式オプション
■流路切替方式（マニホールド）
■流路切替方式（マニホールド）オプション
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 多彩な環境測定器のデータ収集、保存、解析に対応可能なソフトウェアで常時環境モニタリングする清浄度監視システム |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 1.7Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | ニッタ株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
この企業の関連カタログ
このカタログの内容
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流路切替方式（マニホールド）
オプション（Optional Parts）
●等速吸引プローブ
サンプリングスタンド（可変式） 等速吸引プローブ（壁面固定型） 等速吸引プローブ （ SUS配管型） 清浄度監視システム
材質 : SUS304 材質 : SUS304 材質 : SUS304
スタンド高さ調節可 : 120 用途 :高温炉内・耐薬品性
1/8”
10.6φ 120
960～ 1580mm
溶接
φ8 溶接 4-M6ボトルナット
φ21.7
1/2” 180
全周 2
21.7φ
φ12 コーキング R90 サンプリング
チューブ
ネジ止め 溶接
φ15.7 φ11.9 φ12
●警報ユニット（測定ポイント数で盤サイズは異なります）
卓上型（シグナルタワー付き） 青
赤 壁掛けタイプ
緑
N P
寸法 : 290（W）×250（D）×583（H）mm 運転スイッチ
状態出力： 外部入出力：
異 常 Manifold
一括警報出力
警 報 N P
運転指令入力
正 常
清浄度クラス 上限濃度（個 /m3）
ISO 14644-1:2015 ISO14644-1 Fed.Std-209E 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1 μm 5 μm
清浄度クラスの上限濃度 Class 1 10
（個 /㎥） Class 2 100 24 10
Class 3 Class 1 1,000 237 102 35
Class 4 Class 10 10,000 2,370 1,020 352 83 9110
6000 Series
Class 5 Class 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832
Class 6 Class 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class 7 Class 10,000 352,000 83,200 2,930
Class 8 Class 100,000 3,520,000 832,000 29,300
Class 9 35,200,000 8,320,000 293,000
モニタリングに関しての最大許容粒子濃度（個 /m3） 7000 Series
EU-GM P （ 欧州薬局方）、 非作業時※1 作業時
グレード
PIC/S GMP 0.5μm以上 5.0μm以上 0.5μm以上 5.0μm以上
※1 非作業時の粒子限界値は、操作の完了後、無人の状態
A 3,520 29 3,520 29 において認定中に定められた短い “クリーンアップ”
時間（20分未満のガイダンス値）後に達成されるべ
B 3,520 29 352,000 2,930 きである。
C 352,000 2,930 3,520,000 29,300 ※2 リスク評価および日常的なデータに基づいて、運用上
D 3,520,000 29,300 －※2 －※2 の管理値を確立する必要がある。 A100-31
AEROTRAKTM+
TSI社（TRUST・SCIENCE・INNOVATION）は1961年に設立。エアロゾル研究に関する測定器のリーディングカンパニーとして、
発展しています。TSI 社には、ミネソタ州 St.Paul 郊外の Shoreview の本社・工場（ISO9001：2001 認証）に加えて、アメ
リカ国内をはじめ、ヨーロッパ、アジア地域でカスタマーサポートを提供しています。
モニタリング製品
安全に関するご注意
ご使用の際は取扱説明書をよくお読みのうえ正しくお使いください。 最新情報はHPにて随時更新！
※表示価格に消費税は含まれておりません。
※本カタログに記載の仕様、デザイン、価格等は予告なく変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
クリーンエンジニアリング事業部
https://www.nitta.co.jp
大 阪 本 社 〒556-0022 大阪市浪速区桜川4-4-26
TEL.06-6563-1235 FAX.06-6563-1265
東 京 支 店 〒104-0061 東京都中央区銀座8-2-1
TEL.03-6744-2740 FAX.03-6744-2741
奈 良 工 場 〒639-1085 奈良県大和郡山市池沢町172
TEL.0743-56-9400 FAX.0743-56-4403
2026.01.KY C-H-002-03
80～585
1000～1500
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環境モニタリングシステム概要 ソフトウェア「FMS」 FDA21CFR Part11対応
環境モニタリングシステム図 多彩な環境測定器のデータ収集、保存、解析に対応
LANケーブル 真空チューブ 信号線 構成要素
モニタ
清浄度モニタリングシステム用ソフトウェア FMS は、Windows ベースの
Client
Client PC切替器 TSI 社標準ソフトウェアパッケージで､ TSI 社のパーティクル測定器や、風
マニホールド
速、温湿度､差圧などの環境測定器のデータ収集、保存、解析を行えます｡
FMS は パ ー ソ ナ ル コ ン ピ ュ ー タ 上 の Windows 環 境 下 で 動 作 し、MDI
Monitor
SQL. MainDatabase Buddy Monitor FMS Client PC （Multiple Document Interface）や Ethernet ネ ッ ト ワ ー キ ン グ な ど の
Windows の優れた特徴を継承しています。FMS では Windows 標準の GUI
FMSローカルネットワーク （グラフィカルユーザーインターフェース）を使用していますので、キーボー
・アナログインプット Phoenix リモート I/O ドやマウス操作により簡単に操作でき､他の Windows ベースアプリケー
・デジタルイン ▶各種センサのアナログ信号入力 PoE HUB
・デジタルアウト ▶接点など各種信号の入出力 ションの使用経験があれば直ぐにお使いいただけます。本ソフトウェアは
21 CFR Part11 対応しています。
温 度
湿 度 アラーム 表示画面 ステータス画面
差 圧
etc. 温 度 湿 度 差 圧 FMS には、多くのデータ表示画面が ステータス画面では各測定ポイン
Aero Trak 6510 リアルタイム浮遊菌測定 風 速 CO2濃度 外部ポンプユニット あります。複数の画面を同時に表示 トの測定状況を表示します。各測
Bio Trak 9510-BD etc. 起動 /停止 Model 7510 可能でお好みに合わせた画面構成を 定ポイントの一覧に最新の数値
設定できます。表示画面より各種の データと色により分類された状況
●Buddy Monitor（ バディモニター） ●Client（クライアント） 画面にマウスの動作で移動可能で、 を表示します。任意のポイントを
バディモニターはシステムの安定性を高めたホットスタンバイシステムを構 クライアントは PC 画面上に表示される GUI アプリケーションです。クラ 設定した画面構成は、FMS 終了後も クリックすることにより詳細な
築します。バディモニターはモニター PC を監視できる同一ネットワーク上 イアントではリアルタイム情報や履歴データを確認したり、各種レポート 次回起動時に復元されます。 データ画面を表示します。各測定
に配置され通常は休止状態にあります。 を作成することができます。システム構成や各機器の設定もクライアント ポイントをグループ化し、グルー
PC の故障やネットワークの問題等でメインモニターが予期せず停止した場合 画面から行います。クライアントを閉じてもモニターはデータ収集を継続
にはバディモニターが 1 ～ 2 分で起動を開始し、モニタリングが復元されます。 しますので、もしクライアントがフリーズしてもデータ収集が止まること プ単位での表示もできます。
メインモニターが再起動されバディモニターが必要なくなると即座に閉じて はありません。クライアントはネットワーク上であればモニターとは別の マップ画面
ホットスタンバイ状態に戻ります。FMS では復元までの 1 ～ 2 分間のデータ PC にインストールすることもできます。
はバディモニター起動後にリモートセンサー内のバッファから取り込まれます。 マップ画面では、JPG 形式ファ レポート作成
イルに対応し、測定ポイントの 測定データ、統計、監査履歴、警
最新の測定値を表示することが 報履歴、イベント履歴など個別に
医薬品製造施設の設 置例 可能です。マップが複数に及ぶ 選択してレポートに含めることが
場合も選択アイコンを設定し、 できます。
清浄度区域の分類 グレード A（ISO5） クラス 100 グレード B（ISO7） クラス 10,000 グレード C（ISO8） クラス 100,000 容易にご希望のマップを呼び出 CSV 形式のファイルを自動作成、
すことができます。 保存することもできます。
CB 機械室 A
機械室 B
前室 バスルーム
機械室
9310 測定値無し
秤量室 グラフ画面 アラーミング
調整室 OK
充填室 混合室
ク 選択した測定ポイントのリアルタ 浮遊微粒子、温度、湿度、差圧等の各測定データに対して、
model7 510 リ イムデータ、あるいは保存データ 2 段階の管理限界値（警告値 / 警報値）の設定ができます。 警告
ー
ン
廊 原料倉庫 低温室
下 のグラフを表示できます。カラー 警報設定は統計的条件（N 回連続超過）での設定もできます。 警報
マニホールド ペンに測定ポイントなどそれぞれ ソフトウェアではアラーム内容ごとに画面上でのカラー表示
前室 PR AS 一般 任意に割り当て、縦軸リニア、対 異常
保管室 AS （背景色と文字色）および音声出力の有無を設定できます。
器材 数切替、最大最少値、補助線分割 確認待ち
保管室 ホエ
機械室 着衣室 着衣室 ーレ
PR ルベ など任意に設定ができ、作成した
空調 ー
model6510 機械室 タ グラフを画像として保存、印刷出
ー
滅菌室 製造室 Model 7510 力できます。 アラームメール通知機能
GradeA 手洗室 手洗室 GradeC 機器の異常発生及び警報値を超過した場合に、同一ネットワークに接続され
GradeB 廊下 GradeD たメールサーバにより、予め設定された宛先へ E メールを送信することが
アクセス制御 できます。
（1）システムへのアクセスはユーザ ID とパスワードで保護されます。
（2） ユーザグループごとに操作権限を設定し使用者により操作範囲を制限す 監査証跡
横河電機製ペーパレスレコーダー SMARTDAC+でのシステム構築 ることができます。 各種ユーザ操作を行った際に、変更することができない監査証跡（変更者、
TSI社の各種パーティクルセンサは、SMARTDAC+との （3） 自動ログアウト時間（無アクセス時間 1 ～ 99 分で 1 分単位の設定可）を タイムスタンプ、変更内容）が自動的に記録されます。記録された監査証跡
デジタル通信（MODBUS/TCP）に対応しています。 設定できます｡ はレポート作成機能から確認できます。
データ保存 ネットワーキング
対 応 モ デ ル GX20/GX10/GP20/GP10/GM10
必要オプション MC： 通信チャンネル FMS により収集されたデータはデータベースに自動的に保存されます。デー Ethernet（スター型）で構成される専用 LAN は、ネットワークスイッチを
MT： 演算機能 タベースに保存されたオリジナルデータファイルは、アクセス制御された 使用し容易に拡張することができます。また別途オプションのクライアン
A S： セキュリティ（Part11） FMS もしくはパスワード保護された専用のデータベースエンジンを用いなけ トソフトウェアを使用することにより、ネットワーク上にデータ閲覧用の
れば閲覧できないバイナリ形式で保存・暗号化されます｡ PC を増設することができます。
画面表示例
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環境モニタリングシステム概要 ソフトウェア「FMS」 FDA21CFR Part11対応
環境モニタリングシステム図 多彩な環境測定器のデータ収集、保存、解析に対応
LANケーブル 真空チューブ 信号線 構成要素
モニタ
清浄度モニタリングシステム用ソフトウェア FMS は、Windows ベースの
Client
Client PC切替器 TSI 社標準ソフトウェアパッケージで､ TSI 社のパーティクル測定器や、風
マニホールド
速、温湿度､差圧などの環境測定器のデータ収集、保存、解析を行えます｡
FMS は パ ー ソ ナ ル コ ン ピ ュ ー タ 上 の Windows 環 境 下 で 動 作 し、MDI
Monitor
SQL. MainDatabase Buddy Monitor FMS Client PC （Multiple Document Interface）や Ethernet ネ ッ ト ワ ー キ ン グ な ど の
Windows の優れた特徴を継承しています。FMS では Windows 標準の GUI
FMSローカルネットワーク （グラフィカルユーザーインターフェース）を使用していますので、キーボー
・アナログインプット Phoenix リモート I/O ドやマウス操作により簡単に操作でき､他の Windows ベースアプリケー
・デジタルイン ▶各種センサのアナログ信号入力 PoE HUB
・デジタルアウト ▶接点など各種信号の入出力 ションの使用経験があれば直ぐにお使いいただけます。本ソフトウェアは
21 CFR Part11 対応しています。
温 度
湿 度 アラーム 表示画面 ステータス画面
差 圧
etc. 温 度 湿 度 差 圧 FMS には、多くのデータ表示画面が ステータス画面では各測定ポイン
Aero Trak 6510 リアルタイム浮遊菌測定 風 速 CO2濃度 外部ポンプユニット あります。複数の画面を同時に表示 トの測定状況を表示します。各測
Bio Trak 9510-BD etc. 起動 /停止 Model 7510 可能でお好みに合わせた画面構成を 定ポイントの一覧に最新の数値
設定できます。表示画面より各種の データと色により分類された状況
●Buddy Monitor（ バディモニター） ●Client（クライアント） 画面にマウスの動作で移動可能で、 を表示します。任意のポイントを
バディモニターはシステムの安定性を高めたホットスタンバイシステムを構 クライアントは PC 画面上に表示される GUI アプリケーションです。クラ 設定した画面構成は、FMS 終了後も クリックすることにより詳細な
築します。バディモニターはモニター PC を監視できる同一ネットワーク上 イアントではリアルタイム情報や履歴データを確認したり、各種レポート 次回起動時に復元されます。 データ画面を表示します。各測定
に配置され通常は休止状態にあります。 を作成することができます。システム構成や各機器の設定もクライアント ポイントをグループ化し、グルー
PC の故障やネットワークの問題等でメインモニターが予期せず停止した場合 画面から行います。クライアントを閉じてもモニターはデータ収集を継続
にはバディモニターが 1 ～ 2 分で起動を開始し、モニタリングが復元されます。 しますので、もしクライアントがフリーズしてもデータ収集が止まること プ単位での表示もできます。
メインモニターが再起動されバディモニターが必要なくなると即座に閉じて はありません。クライアントはネットワーク上であればモニターとは別の マップ画面
ホットスタンバイ状態に戻ります。FMS では復元までの 1 ～ 2 分間のデータ PC にインストールすることもできます。
はバディモニター起動後にリモートセンサー内のバッファから取り込まれます。 マップ画面では、JPG 形式ファ レポート作成
イルに対応し、測定ポイントの 測定データ、統計、監査履歴、警
最新の測定値を表示することが 報履歴、イベント履歴など個別に
医薬品製造施設の設 置例 可能です。マップが複数に及ぶ 選択してレポートに含めることが
場合も選択アイコンを設定し、 できます。
清浄度区域の分類 グレード A（ISO5） クラス 100 グレード B（ISO7） クラス 10,000 グレード C（ISO8） クラス 100,000 容易にご希望のマップを呼び出 CSV 形式のファイルを自動作成、
すことができます。 保存することもできます。
CB 機械室 A
機械室 B
前室 バスルーム
機械室
9310 測定値無し
秤量室 グラフ画面 アラーミング
調整室 OK
充填室 混合室
ク 選択した測定ポイントのリアルタ 浮遊微粒子、温度、湿度、差圧等の各測定データに対して、
model7 510 リ イムデータ、あるいは保存データ 2 段階の管理限界値（警告値 / 警報値）の設定ができます。 警告
ー
ン
廊 原料倉庫 低温室
下 のグラフを表示できます。カラー 警報設定は統計的条件（N 回連続超過）での設定もできます。 警報
マニホールド ペンに測定ポイントなどそれぞれ ソフトウェアではアラーム内容ごとに画面上でのカラー表示
前室 PR AS 一般 任意に割り当て、縦軸リニア、対 異常
保管室 AS （背景色と文字色）および音声出力の有無を設定できます。
器材 数切替、最大最少値、補助線分割 確認待ち
保管室 ホエ
機械室 着衣室 着衣室 ーレ
PR ルベ など任意に設定ができ、作成した
空調 ー
model6510 機械室 タ グラフを画像として保存、印刷出
ー
滅菌室 製造室 Model 7510 力できます。 アラームメール通知機能
GradeA 手洗室 手洗室 GradeC 機器の異常発生及び警報値を超過した場合に、同一ネットワークに接続され
GradeB 廊下 GradeD たメールサーバにより、予め設定された宛先へ E メールを送信することが
アクセス制御 できます。
（1）システムへのアクセスはユーザ ID とパスワードで保護されます。
（2） ユーザグループごとに操作権限を設定し使用者により操作範囲を制限す 監査証跡
横河電機製ペーパレスレコーダー SMARTDAC+でのシステム構築 ることができます。 各種ユーザ操作を行った際に、変更することができない監査証跡（変更者、
TSI社の各種パーティクルセンサは、SMARTDAC+との （3） 自動ログアウト時間（無アクセス時間 1 ～ 99 分で 1 分単位の設定可）を タイムスタンプ、変更内容）が自動的に記録されます。記録された監査証跡
デジタル通信（MODBUS/TCP）に対応しています。 設定できます｡ はレポート作成機能から確認できます。
データ保存 ネットワーキング
対 応 モ デ ル GX20/GX10/GP20/GP10/GM10
必要オプション MC： 通信チャンネル FMS により収集されたデータはデータベースに自動的に保存されます。デー Ethernet（スター型）で構成される専用 LAN は、ネットワークスイッチを
MT： 演算機能 タベースに保存されたオリジナルデータファイルは、アクセス制御された 使用し容易に拡張することができます。また別途オプションのクライアン
A S： セキュリティ（Part11） FMS もしくはパスワード保護された専用のデータベースエンジンを用いなけ トソフトウェアを使用することにより、ネットワーク上にデータ閲覧用の
れば閲覧できないバイナリ形式で保存・暗号化されます｡ PC を増設することができます。
画面表示例
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常時監視方式
�� ���� �� ����
（ポンプ内蔵型） AEROTRAKTM+ model 6000 Series AEROTRAKTM+ model 7007020 S1-2e20r0i3es0.2/0.3 µm 7301-26250 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm
72 01�-2�4010 0.2/0 .3�/0�.5/�1.�0 µm 750 1-�22�050 0.5/5.0 µm����
�� ���� �� ���� 73201--220053 0..32//0..53 µm 75301--24612050 0..53//10..05//51..0//150.0 µ/1m0/25 µm
※6000 Seriesはデータ表示画面がありません。P.3掲載の FMS（ソフトウェア）を使用し PC画面での表示・データ蓄積 ※7000 Seriesはデータ表示画面がありません。P.3掲載の FMS（ソフトウェア）を使用し PC画面での表示・データ蓄積
6201-24010 0.2/0.3/0.5/1.0 µm 6501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm 7
または、記録計や PLC等の外部の受信器にデータ出力（デジタル通信 /4-20mA出力）ができます。 または、記録計や PLC等の外部の受信器にデータ出力3
201
（デ-
-240
ジタ5
10 0
ル通信.
.32//
/0
4-.
.
25
3
0/
/10m..05A//51出.
.0
力
µm 7501
）ができます。-
-2422050 0..5//5..0/ µ1m0/25 µm
6301-24100 0.3/0.5/5.0/10 µm 6501-24250 0.5/5.0/10/25 µm 7301
※7000 Seriesは P.6掲載の真空ポンプ（ポンプユニット）-
-2
が4
2100
必要0
5 0
です..3。//0..5/ µ5m.0/10 µm 7501--25421500 0..5//1..0//5..0//10/ µ2m5 µm
6301-26250 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm 6501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm �73バ01ッ-2フ40ァ5メ0モリ0.�3/�0.※5/21.0/5.0 µm 7501-24250 0.5/5.0/10/25 µm
試料流量 0.1 CFM（2.83L/min） �� ��ポ�ンプ�� �ポン プ�自�動�停�止機能�き ※ 1 ��バ�ッファメモリ ��� ※�2 � 試料流量 27.38031L-/2m41in0（0 0.10C.F3M/0）.5/5.0/10 µm 7501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm
試料流量 622.8031 -L2/4m0i1n0（0.1 C0F.M2/）0.3/0.5/1.0 µm 6501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm 試料流量 0.1 CFM（2.83L/m�in�）������ 1�7バ2,ッ00フ0,ァ00メ0/モ�リ �（�計※�2�� 10%��）
適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE �� ���� �� ����
�������� 6137021,0-20401,00000 /� （0.3計/0�.5�/5�.01/100 % µm��） 6501-24250 0.5/5.0/10/25 µm 試料流量 27.28031L-/2m2i0n0（30.1C0F.2M/0）.3 µm 7301-26250 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm
�体�� 6�3テ01ン-2�62�50 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm 6501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm 適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE
�������� 177220,10-0204,000100/�0 .（2/計0.�3/�0.�5/11.00% µm��） 7501-22050 0.5/5.0 µm
�源 ����体��ポーン�プ�� �ポンプ自動停止機能�き ※ 1 �バッファメモリ�� ※ 2
7301-22005 0.3/0.5 µm 7501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm
試�料�流量 21.184（3 LW/m）�in6（6（0D.1） �CF1M42）（H）mm ※��部�� 7301-24050 0.3/0.5/1.0/5.0 µm 7501-24250 0.5/5.0/10/25 µm
��量������ 117.025,0 k0g0,000 /� （計��� 10 %��） 7301-24100 0.3/0.5/5.0/10 µm 7501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm
�電体源�� �PoテEン��電�（Ethernet） または DC12-24 V 30 W �バッファメモリ��※2
�使源用�� �10��体4�0ー �� / 20� 95 %（��なき�と） 試料流量 2.83L/min（0.1CFM）
�� 1E1th4（eWrn）e�t（6T6（CDP/）I�P）1 M42（odHb）umsm RT U※ ��部��
�通量信
�������� 172,000,000/� （計��� 10%��）
1�.0プ5 �kg�ン : 4-20 mA出力（�� 2 ch/�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
電ア源�ー�出力 P�o電E�電�（�E（thAeCr/nDeCt ）0 ま�た3は0 V D, 2C 1A2）-24 V 30 W �� ���� �� ����
使本用体��データ�� 12056�,04000 �デ ー/ 2タ0� 95 %（��なき�と）
7310-22005 0.3/0.5 µm 7510-22050 0.5/5.0 µm
����� E�th�e�rn�et�（、TC�P/�IP�） �M�od、bu検s� R�TU� 通信 �、ト�ーサ�リティ 試料流量 1.0 CFM（28.3L/min） 731 0-�24�050 0.3/ 0.5�/1�.0�/5�.0 µm 7510-220 50�V�（+ VHP��） 0.5/5 .0� µ�m��
�セプン�サ�ン定�: 4�-2、0等 m�A吸出引力プ（�ー��2、 c�h/��ーテ�ー、タLA�N1� chー）� ル �、�HU�B�、にAC "電A"源 表ア記�プタ、
ア��なー��プ出�力�ン
7310-22005 0.3/0.5 µm 7510--24210050 0..5//15..0/ µ5m.0/10 µm
�パ電ー�ジ�フ�ィ（ルAタC、/DモCニ 0タ�リ30ン V�, ソ2 Aフ）トウェア、PC、UPS、��ユニット etc. 適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE 77331100--2244100500 00..33//00..55//15.0.0//51.00 µµmm 7510--2422050V（+ VHP��） 0..5//5..0/ µ1m0/25 µm
本体�データ�� 256,000データ �バッファメモリ��※2 7510-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm
����� �����、�����、検����、ト�ーサ�リティ 7310-24100 0.3/0.5/5.0/10 µm
試料流量 28.3 L/min（1.0CFM） 7510-24250 0.5/5.0/10/25 µm
センサ�定��、等�吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、AC電源ア�プタ、
�な�プ��ン �������� �1バ7,2ッ0フ0,ァ00メ0/モ�リ （�計��※2�� 10 %��）
パージフィルタ、モニタリン�ソフトウェア、PC、UPS、��ユニット etc. 試料流量 28.3 L�/m�in（1.0CFM ）���� �� ����
�������� 1773,1200-02,020000/5� （0計.3�/0�.5 �µm10 %��）7510-22050 0.5/5.0 µm
7310-24050 0.3/0.5/1.0/5.0 µm 7510-22050V（+ VHP��） 0.5/5.0 µm
試料流量 1.0 CFM（28.3L/min） �� ����
7510-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm
6310 0.3/0.5/0.7/1.0 µm �体�� �73テ10ン-2�4�100 0.3/0.5/5.0/10 µm
適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE 7510-24250 0.5/5.0/10/25 µm
6510 0.5/0.7/1.0/5.0 µm �源 ��体�ー�
�体�� �バテッンフ�ァ�メモリ��※2
6510-VHP（VHP��） 0.5/0.7/1.0/5.0 µm � 114（W） 61（D） 74（H）mm ※��部��
���ポン プ�� �ポンプ自動停止機能�き ※ 1 � バ�ッ�フ�ァ�メモリ�� ※ 2 �試量源料流量 0�2.85�.93体 kLg�/mーin�（1.0CFM）
�6341 c0hア���（4-20 mA）入0.力3/�0.5�/0�.7き/1（.0� µ�m�、���等の入力） 電�源������� P11o74E（,2�0W0電）,0�（060E1（/th�De ）r（n�e計7t）4（� まH�た）�mはm1 0D %C※1�2-�24）部 V� 3�0 W
試料流量 62581.30L/min（1.0 CFM） 0.5/0.7/1.0/5.0 µm 使�用量�� 100.5�9 k4g0� / 20� 95%（��なき�と）
�������� 62591,000-V0H,0P0（0/V�HP（�計��）�� 100 %.5/�0.�7/）1.0/5.0 µm 電源 EPtohEe�rn電et（ETtChPe/rInPe） tM） まodたbuはs RDTCU1 2-24 V 30 W
通
�体�� ���テ�ンポ�ン�プ�� �ポンプ自動停止機能�き ※ 1 �バッファメモリ�� ※ 2 使信用�� �10プ��4�0�ン /: 42-02�0 m95A%出（力�（��な�き2� cとh/）�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
�源 ��4� c体hア��ー��（4-20 mA）入力���き（���、���等の入力） ア通��信体ー��出力
E�th電テe�rンn�et�（（TCAPC//IDP）C M0o�db3u0s V R, T2U A ）
試�料�流量 2285.4（3LW/m）�in1（515（.0D C）F�M2）67（H）mm ※��部�� 本�体源�データ�� 2��5プ�6,�0体0��0ンデーー�: 4タ-20 mA出力（�� 2 ch/�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
��量������ 269.5,0 k0g0,000/�（計��� 10 %��） ア����ー��出力 �11�電4（�W�）��6、（1（�ADC�/）D�C7� 04（�H、）3m検0 mV�, �2 ※�A）��、部ト��ーサ�リティ
�電体源�� �DCテ2ン4 �V �3 A 本�体量�データ�� ポ205.ン569,プ0 k0ユg0ニデッートタ、センサ�定��、等�吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、
�使源用�� �10��体4�0ー �� / 20� 95 %（��なき�と） �電な�源�プ���ン A�PCo�E電��源�電ア�（�、Eプt�hタe�、r n�eパ�t）ー� まジ、たフ検はィ� ル D�タC�1、2�モ-2、ニ4 トタV �リ 3ーン0 W�サソ�フリトテウィェア、PC、UPS、��ユニット
�� 2E5th4（eWrn）e�t（1T5C5（PD/I）P�） M26o7（dbHu）sm RmTU ※��部�� 使用�� eポ1t0cン.�プ4ユ0ニ�ッ / ト20、�セン95サ%�（定���な�き、�等と�）吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、
�通量信 64.-52 0k gmA出力（�� 2ch/�テータ� 1ch） ※2� なバ�ップファ�メ�モンリ：パーAEテCthィ電eクr源nルeアセt（�ンTプサCタPと/、I PPC）パ （Mーソoジフdbトフuウィs ルェRTアタU）、 間モのニ通タ信リがン遮�断ソすフるトとウ通ェ信ア異、常PをC検、知UしPまS、すが�、�パユーニテッィトクル
電源 通信
ア�ー�出力 D�C電24� V� 3� A（ etc.
DC60 V/2 A、AC125 V/0.5 A） センサの電源が入っている場合、パーティクルセンサはデータ収集を継続します。通信異常中に本体に蓄積されたデータは
通信復旧後に PC（ソフ�トプウ�ェ�アン）へ: 4順-2次0出 m力Aし出ま力す（。�� 2 ch/�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
使ア用���入力 140 c�h 40 � / 20� 95 %（��なき�と） ア�ー�出力 �電���（AC/DC 0� 30 V, 2 A）
本体�データ�� E3t,h00e0rnデetー（タTCP/IP） Modbus RTU
通信 本体�データ�� 256,000データ
4�-2�0� m�A�出、力�（���2�ch、/�検テ�ー�タ��、1cトh）� ー サ�リティ
ア���ー���出�
����� �����、�����、検����、ト�ーサ�リテ通信ィ障害中の蓄積データ出力
力 �等電��吸�引�プ（�DーC�6（0 キV/ャ2 Aッ、プA�C1き2）5、 V�/0�.5ー A）��続用�ン�ット、��ー� ポンプユニット、センサ�定��、等�吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、
ア���入力 4A Cch電 源ア�プタ、LAN�ー�ル、HUB、パージフィルタ、
�な�プ��ン �な�プ��ン デAーCタ電収集源継ア続�プタ、 パージフィルタ、モニタリン�ソフトウェア、PC、UPS、��ユニット
本体�データ�� 3モ,0ニ00タデリーンタ�ソフトウェア、PC etc. 通信障害 etc.
通信復旧
※1 ポンプ自動停止機能：�測�定�中�に�キ、ャッ�プ�等�で�吸�引、口検を塞�ぐ�と�自�動、的トに�ポンープサの�電リ源テがィO FFになります。 ※電源OFF時には
� � 吸�引�口�を開放後、自動等的�に吸測引定プを開�始ーし�ま（すキ。ャップ�き）、��ー��続用�ン�ット、��ー� データ収集されません
※2 バッファメモリ：パーAテCィ電ク源ルアセ�ンプサとタ、PCL（ANソフ�トーウ�ェルア、）H間UのB通、信パがー遮ジ断フするィとル通タ信、異常を検知しますが、パーティクル
�なセ�ンプサの�電�源ンが入ってモいニるタ場リ合ン、�パーソテフィトクウルェセアン、サPはCデ eーtcタ. 収集を継続します。通信異常中に本体に蓄積されたデータは
通信復旧後に PC（ソフトウェア）へ順次出力します。
4 5
Page5
常時監視方式
�� ���� �� ����
（ポンプ内蔵型） AEROTRAKTM+ model 6000 Series AEROTRAKTM+ model 7007020 S1-2e20r0i3es0.2/0.3 µm 7301-26250 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm
72 01�-2�4010 0.2/0 .3�/0�.5/�1.�0 µm 750 1-�22�050 0.5/5.0 µm����
�� ���� �� ���� 73201--220053 0..32//0..53 µm 75301--24612050 0..53//10..05//51..0//150.0 µ/1m0/25 µm
※6000 Seriesはデータ表示画面がありません。P.3掲載の FMS（ソフトウェア）を使用し PC画面での表示・データ蓄積 ※7000 Seriesはデータ表示画面がありません。P.3掲載の FMS（ソフトウェア）を使用し PC画面での表示・データ蓄積
6201-24010 0.2/0.3/0.5/1.0 µm 6501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm 7
または、記録計や PLC等の外部の受信器にデータ出力（デジタル通信 /4-20mA出力）ができます。 または、記録計や PLC等の外部の受信器にデータ出力3
201
（デ-
-240
ジタ5
10 0
ル通信.
.32//
/0
4-.
.
25
3
0/
/10m..05A//51出.
.0
力
µm 7501
）ができます。-
-2422050 0..5//5..0/ µ1m0/25 µm
6301-24100 0.3/0.5/5.0/10 µm 6501-24250 0.5/5.0/10/25 µm 7301
※7000 Seriesは P.6掲載の真空ポンプ（ポンプユニット）-
-2
が4
2100
必要0
5 0
です..3。//0..5/ µ5m.0/10 µm 7501--25421500 0..5//1..0//5..0//10/ µ2m5 µm
6301-26250 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm 6501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm �73バ01ッ-2フ40ァ5メ0モリ0.�3/�0.※5/21.0/5.0 µm 7501-24250 0.5/5.0/10/25 µm
試料流量 0.1 CFM（2.83L/min） �� ��ポ�ンプ�� �ポン プ�自�動�停�止機能�き ※ 1 ��バ�ッファメモリ ��� ※�2 � 試料流量 27.38031L-/2m41in0（0 0.10C.F3M/0）.5/5.0/10 µm 7501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm
試料流量 622.8031 -L2/4m0i1n0（0.1 C0F.M2/）0.3/0.5/1.0 µm 6501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm 試料流量 0.1 CFM（2.83L/m�in�）������ 1�7バ2,ッ00フ0,ァ00メ0/モ�リ �（�計※�2�� 10%��）
適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE �� ���� �� ����
�������� 6137021,0-20401,00000 /� （0.3計/0�.5�/5�.01/100 % µm��） 6501-24250 0.5/5.0/10/25 µm 試料流量 27.28031L-/2m2i0n0（30.1C0F.2M/0）.3 µm 7301-26250 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm
�体�� 6�3テ01ン-2�62�50 0.3/0.5/1.0/5.0/10/25 µm 6501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm 適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE
�������� 177220,10-0204,000100/�0 .（2/計0.�3/�0.�5/11.00% µm��） 7501-22050 0.5/5.0 µm
�源 ����体��ポーン�プ�� �ポンプ自動停止機能�き ※ 1 �バッファメモリ�� ※ 2
7301-22005 0.3/0.5 µm 7501-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm
試�料�流量 21.184（3 LW/m）�in6（6（0D.1） �CF1M42）（H）mm ※��部�� 7301-24050 0.3/0.5/1.0/5.0 µm 7501-24250 0.5/5.0/10/25 µm
��量������ 117.025,0 k0g0,000 /� （計��� 10 %��） 7301-24100 0.3/0.5/5.0/10 µm 7501-25250 0.5/1.0/5.0/10/25 µm
�電体源�� �PoテEン��電�（Ethernet） または DC12-24 V 30 W �バッファメモリ��※2
�使源用�� �10��体4�0ー �� / 20� 95 %（��なき�と） 試料流量 2.83L/min（0.1CFM）
�� 1E1th4（eWrn）e�t（6T6（CDP/）I�P）1 M42（odHb）umsm RT U※ ��部��
�通量信
�������� 172,000,000/� （計��� 10%��）
1�.0プ5 �kg�ン : 4-20 mA出力（�� 2 ch/�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
電ア源�ー�出力 P�o電E�電�（�E（thAeCr/nDeCt ）0 ま�た3は0 V D, 2C 1A2）-24 V 30 W �� ���� �� ����
使本用体��データ�� 12056�,04000 �デ ー/ 2タ0� 95 %（��なき�と）
7310-22005 0.3/0.5 µm 7510-22050 0.5/5.0 µm
����� E�th�e�rn�et�（、TC�P/�IP�） �M�od、bu検s� R�TU� 通信 �、ト�ーサ�リティ 試料流量 1.0 CFM（28.3L/min） 731 0-�24�050 0.3/ 0.5�/1�.0�/5�.0 µm 7510-220 50�V�（+ VHP��） 0.5/5 .0� µ�m��
�セプン�サ�ン定�: 4�-2、0等 m�A吸出引力プ（�ー��2、 c�h/��ーテ�ー、タLA�N1� chー）� ル �、�HU�B�、にAC "電A"源 表ア記�プタ、
ア��なー��プ出�力�ン
7310-22005 0.3/0.5 µm 7510--24210050 0..5//15..0/ µ5m.0/10 µm
�パ電ー�ジ�フ�ィ（ルAタC、/DモCニ 0タ�リ30ン V�, ソ2 Aフ）トウェア、PC、UPS、��ユニット etc. 適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE 77331100--2244100500 00..33//00..55//15.0.0//51.00 µµmm 7510--2422050V（+ VHP��） 0..5//5..0/ µ1m0/25 µm
本体�データ�� 256,000データ �バッファメモリ��※2 7510-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm
����� �����、�����、検����、ト�ーサ�リティ 7310-24100 0.3/0.5/5.0/10 µm
試料流量 28.3 L/min（1.0CFM） 7510-24250 0.5/5.0/10/25 µm
センサ�定��、等�吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、AC電源ア�プタ、
�な�プ��ン �������� �1バ7,2ッ0フ0,ァ00メ0/モ�リ （�計��※2�� 10 %��）
パージフィルタ、モニタリン�ソフトウェア、PC、UPS、��ユニット etc. 試料流量 28.3 L�/m�in（1.0CFM ）���� �� ����
�������� 1773,1200-02,020000/5� （0計.3�/0�.5 �µm10 %��）7510-22050 0.5/5.0 µm
7310-24050 0.3/0.5/1.0/5.0 µm 7510-22050V（+ VHP��） 0.5/5.0 µm
試料流量 1.0 CFM（28.3L/min） �� ����
7510-24100 0.5/1.0/5.0/10 µm
6310 0.3/0.5/0.7/1.0 µm �体�� �73テ10ン-2�4�100 0.3/0.5/5.0/10 µm
適合規格 ISO21501-4, JIS B9921, CE 7510-24250 0.5/5.0/10/25 µm
6510 0.5/0.7/1.0/5.0 µm �源 ��体�ー�
�体�� �バテッンフ�ァ�メモリ��※2
6510-VHP（VHP��） 0.5/0.7/1.0/5.0 µm � 114（W） 61（D） 74（H）mm ※��部��
���ポン プ�� �ポンプ自動停止機能�き ※ 1 � バ�ッ�フ�ァ�メモリ�� ※ 2 �試量源料流量 0�2.85�.93体 kLg�/mーin�（1.0CFM）
�6341 c0hア���（4-20 mA）入0.力3/�0.5�/0�.7き/1（.0� µ�m�、���等の入力） 電�源������� P11o74E（,2�0W0電）,0�（060E1（/th�De ）r（n�e計7t）4（� まH�た）�mはm1 0D %C※1�2-�24）部 V� 3�0 W
試料流量 62581.30L/min（1.0 CFM） 0.5/0.7/1.0/5.0 µm 使�用量�� 100.5�9 k4g0� / 20� 95%（��なき�と）
�������� 62591,000-V0H,0P0（0/V�HP（�計��）�� 100 %.5/�0.�7/）1.0/5.0 µm 電源 EPtohEe�rn電et（ETtChPe/rInPe） tM） まodたbuはs RDTCU1 2-24 V 30 W
通
�体�� ���テ�ンポ�ン�プ�� �ポンプ自動停止機能�き ※ 1 �バッファメモリ�� ※ 2 使信用�� �10プ��4�0�ン /: 42-02�0 m95A%出（力�（��な�き2� cとh/）�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
�源 ��4� c体hア��ー��（4-20 mA）入力���き（���、���等の入力） ア通��信体ー��出力
E�th電テe�rンn�et�（（TCAPC//IDP）C M0o�db3u0s V R, T2U A ）
試�料�流量 2285.4（3LW/m）�in1（515（.0D C）F�M2）67（H）mm ※��部�� 本�体源�データ�� 2��5プ�6,�0体0��0ンデーー�: 4タ-20 mA出力（�� 2 ch/�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
��量������ 269.5,0 k0g0,000/�（計��� 10 %��） ア����ー��出力 �11�電4（�W�）��6、（1（�ADC�/）D�C7� 04（�H、）3m検0 mV�, �2 ※�A）��、部ト��ーサ�リティ
�電体源�� �DCテ2ン4 �V �3 A 本�体量�データ�� ポ205.ン569,プ0 k0ユg0ニデッートタ、センサ�定��、等�吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、
�使源用�� �10��体4�0ー �� / 20� 95 %（��なき�と） �電な�源�プ���ン A�PCo�E電��源�電ア�（�、Eプt�hタe�、r n�eパ�t）ー� まジ、たフ検はィ� ル D�タC�1、2�モ-2、ニ4 トタV �リ 3ーン0 W�サソ�フリトテウィェア、PC、UPS、��ユニット
�� 2E5th4（eWrn）e�t（1T5C5（PD/I）P�） M26o7（dbHu）sm RmTU ※��部�� 使用�� eポ1t0cン.�プ4ユ0ニ�ッ / ト20、�セン95サ%�（定���な�き、�等と�）吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、
�通量信 64.-52 0k gmA出力（�� 2ch/�テータ� 1ch） ※2� なバ�ップファ�メ�モンリ：パーAEテCthィ電eクr源nルeアセt（�ンTプサCタPと/、I PPC）パ （Mーソoジフdbトフuウィs ルェRTアタU）、 間モのニ通タ信リがン遮�断ソすフるトとウ通ェ信ア異、常PをC検、知UしPまS、すが�、�パユーニテッィトクル
電源 通信
ア�ー�出力 D�C電24� V� 3� A（ etc.
DC60 V/2 A、AC125 V/0.5 A） センサの電源が入っている場合、パーティクルセンサはデータ収集を継続します。通信異常中に本体に蓄積されたデータは
通信復旧後に PC（ソフ�トプウ�ェ�アン）へ: 4順-2次0出 m力Aし出ま力す（。�� 2 ch/�テータ� 1 ch） ����に "A" 表記
使ア用���入力 140 c�h 40 � / 20� 95 %（��なき�と） ア�ー�出力 �電���（AC/DC 0� 30 V, 2 A）
本体�データ�� E3t,h00e0rnデetー（タTCP/IP） Modbus RTU
通信 本体�データ�� 256,000データ
4�-2�0� m�A�出、力�（���2�ch、/�検テ�ー�タ��、1cトh）� ー サ�リティ
ア���ー���出�
����� �����、�����、検����、ト�ーサ�リテ通信ィ障害中の蓄積データ出力
力 �等電��吸�引�プ（�DーC�6（0 キV/ャ2 Aッ、プA�C1き2）5、 V�/0�.5ー A）��続用�ン�ット、��ー� ポンプユニット、センサ�定��、等�吸引プ�ー�、��ー�、LAN�ー�ル、HUB、
ア���入力 4A Cch電 源ア�プタ、LAN�ー�ル、HUB、パージフィルタ、
�な�プ��ン �な�プ��ン デAーCタ電収集源継ア続�プタ、 パージフィルタ、モニタリン�ソフトウェア、PC、UPS、��ユニット
本体�データ�� 3モ,0ニ00タデリーンタ�ソフトウェア、PC etc. 通信障害 etc.
通信復旧
※1 ポンプ自動停止機能：�測�定�中�に�キ、ャッ�プ�等�で�吸�引、口検を塞�ぐ�と�自�動、的トに�ポンープサの�電リ源テがィO FFになります。 ※電源OFF時には
� � 吸�引�口�を開放後、自動等的�に吸測引定プを開�始ーし�ま（すキ。ャップ�き）、��ー��続用�ン�ット、��ー� データ収集されません
※2 バッファメモリ：パーAテCィ電ク源ルアセ�ンプサとタ、PCL（ANソフ�トーウ�ェルア、）H間UのB通、信パがー遮ジ断フするィとル通タ信、異常を検知しますが、パーティクル
�なセ�ンプサの�電�源ンが入ってモいニるタ場リ合ン、�パーソテフィトクウルェセアン、サPはCデ eーtcタ. 収集を継続します。通信異常中に本体に蓄積されたデータは
通信復旧後に PC（ソフトウェア）へ順次出力します。
4 5
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常時監視方式 流路切替方式（マニホールド）
オプション（Optional Parts）
Client PC / Monitor サンプリング
●ポンプユニット model 7310 / 7510用 プローブを
Main CR各所に設置
Database
①ポンプユニット（4センサ接続用） ② 真空ポンプ
電源 ： 3Φ200V, 400W 電源 ： AC100V, 100W: チューブ
寸法 ： 500（W）×390（D）×1000（H）mm 寸法 ： 181（W）×336.5（D）×217（H）mm
重量 ： 約65kg 重量 ： 10.3kg Client PC / Monitor 社内用
適用チューブ径 ： OD16mm 適用チューブ径 ： OD16mm ネットワーク
チューブ配管長 ： 各 40m以内推奨 チューブ配管長 ： 20m以内推奨 HUB
DA-81S マニホールド
※クリーンルーム内設置NG ※クリーンルーム内設置NG ULVAC ブロア
イーサネット
（UTP CAT5) センサーユニット
Client PC / Monitor パーティクルカウンタ
●ポンプユニット model 7201 / 7301 / 7501用
① 真空ポンプ（6センサ接続用） ② センサ収納ポンプユニット ③ ポンプボックス ▶ パーティクルカウンタ１台で複数のポイントを順次切り替えながら測定します。
電源 ： 電源 AC100, 60W ▶
電源 ： AC100V, 2A 電源 ： AC100V, 1A １システム最大 32ポイントを測定できます。
寸法 ： 128（W）×242（D）× 寸法 ： 250（W）×390（D）× 寸法 ： 160（W）×260（D）× ▶ チューブは各 50 ｍまで伸長できます。
178（H）mm 265（H）mm 200（H）mm
▶ 全ポイントを常時吸引させることでチューブ内に粒子沈着することを抑制しています。
重量 ： 7.2kg 重量 ： 約8kg 重量 ： 約5kg
適用チューブ径 ：OD9.53 × ID6.35mm IN側チューブ配管長 ： 適用チューブ径 ：OD 9.53 ×
チューブ配管長 ：各30m以内推奨 3m以内推奨 ID 6.35mm
※クリーンルーム内設置NG ※クリーンルーム内設置可 チューブ配管長 ： 30m以内推奨 �� 9110-01 A100-31
※クリーンルーム内設置可
���� 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 µm 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm
●等速吸引プローブ（チューブ延長用） model 7310 / 7510用 ���� 28.3 L/ min（1.0 CFM） 28.3L/min（1.0 CFM）
�対�象パ�ー�テ�ィ�ク�ル�カウ※ンタ 100,000� /28.3 L（3,500,000� /�） 8,110,000 � /28.3L（286,383,300 � /�）
①等速吸引プローブ ②等速吸引プローブ ③等速吸引プローブ ④等速吸引プローブ
（壁面固定型） （卓上スタンド） （ パイプ型） （SUS配管型） �� 206（W）×522（D）×236（H）mm 250（W）×222（D）×226（H）mm
�� 11.1 kg 5.4kg
材質：SUS304 材質：SUS304 材質：SUS304 材質 : SUS304
スタンド高さ：320mm 高さをご指定ください 用途： 電源電� AC100�240 V 50-60 Hz AC100�240V 50-60Hz
φ8 用途：無菌充填装置 無菌充填装置 �
安全キャビネット 用途：センサ収納ポンプユニット 安全キャビネット �用��� �� 10� 35 ����912100-�0195 %（������） �� 1� 35���� A150�0-3915%（������）
無菌充填装置 ※�
溶接 安全キャビネット �������10%以� 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 µm 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm
���� 28.3 L/ min（1.0 CFM） 28.3L/min（1.0 CFM）
●等速吸引プローブ（チューブ延長用） model 7201 / 7301 / 7501 / 6201 / 6301 / 6501用 ��������※ 100,000� /28.3 L（3,500,000� /�） 8,110,000 � /28.3L（286,383,300 � /�）
�� 206（W）×522（D）×236（H）mm 250（W）×222（D）×226（H）mm
①等速吸引プローブ ②等速吸引プローブ ③等速吸引プローブ ④等速吸引プローブ
パイプ型） （SUS配管型） �� 11.1 kg 5.4kg
（壁面固定型） （床置スタンド） （
電源電� AC100�240 V 50-60 Hz AC100�240V 50-60Hz
材質 : SUS304 材質 : SUS316L 材質 : SUS304 材質 : SUS304
スタンド高さ : 1300mm �用�� �� 10� 35 ���� 20� 95 %（������） �� 1� 35���� 5� 95%（������）
高さをご指定ください 用途：
φ16 無菌充填装置 ※���� 10%以�
溶接 （t3） 用途：センサ収納ポンプユニット 安全キャビネット
無菌充填装置
安全キャビネット
●等速吸引プローブ（センサ直結） ●センサ収納ボックス
センサーユニット
model 7310/7510用 model 7201/7301/7501/
6201/6301/6501用 model 7000シリーズ用
排気フィルタユニット
材質 : SUS304 材質 : SUS304 材質 : SUS304
用途 :除染対策 �� SSU-32-5000C SSU-32-5001C SSU-32-5000CCR SSU-32-5001CCR
センサ保護用
A Status Status
EROTRAK Flow AEROTRAK Flow セ�ク���ッ� ��ッ�（入��） ��ッ�（入�����） ��ッ�（入��） ��ッ�（入�����）
Remote Partcle Counter Sample Remote Partcle Counter Sample
設置�� 一�� クリーンルーム
��ー�� 50 m（全�定�一�）
���定�� 32ポ�ント
●警報ユニット（測定ポイント数で盤サイズは異なります） 青
赤 ����� �ニ�ール�（�� : M32-01）
緑
卓上型（シグナルタワー付き） 青
赤 壁掛けタイプ 壁掛けタイプ（シグナルタワー付き） �� 700（W）×750（D）×850（H）mm
緑
���� 約 15S0SkUg-32-5000C SSU-32-5001C SSU-32-5000CCR SSU-32-5001CCR
寸法 ： 290（W）×250（D）× 運転スイッチ 運転操作スイッチ
583（H）mm N P
外部入出力： 電セ源�電ク���ッ� 3 Φ�20�0ッ V�, （3 k入V�A�） ��ッ�（入�����） ��ッ�（入��） ��ッ�（入�����）
状態出力： 異 常 GL
状態出力： 異 常 一括警報出力 PB SS �設用置���� �� 0� 40 ����一0��90 %（������） クリーンルーム
N P
運転指令入力 警 報
警 報
正 常 �����ー�� �50� m�（全�定�一�）
正 常 �����定�� �32�ポ��内ン�ト�キャ��ー（�トッ�ー��）�AC100V�ンセント x����ル�ット�定��
����� �ニ�ール�（�� : M32-01）
6 �� 700（W）×750（D）×850（H）mm 7
�� 約 150kg
電源電� 3 Φ 200 V, 3 kVA
�用�� �� 0� 40 ���� 0� 90 %（������）
���� ���
�� ���内��キャ��ー（�トッ�ー��）�AC100V�ンセント x����ル�ット�定��
500
700
1300
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常時監視方式 流路切替方式（マニホールド）
オプション（Optional Parts）
Client PC / Monitor サンプリング
●ポンプユニット model 7310 / 7510用 プローブを
Main CR各所に設置
Database
①ポンプユニット（4センサ接続用） ② 真空ポンプ
電源 ： 3Φ200V, 400W 電源 ： AC100V, 100W: チューブ
寸法 ： 500（W）×390（D）×1000（H）mm 寸法 ： 181（W）×336.5（D）×217（H）mm
重量 ： 約65kg 重量 ： 10.3kg Client PC / Monitor 社内用
適用チューブ径 ： OD16mm 適用チューブ径 ： OD16mm ネットワーク
チューブ配管長 ： 各 40m以内推奨 チューブ配管長 ： 20m以内推奨 HUB
DA-81S マニホールド
※クリーンルーム内設置NG ※クリーンルーム内設置NG ULVAC ブロア
イーサネット
（UTP CAT5) センサーユニット
Client PC / Monitor パーティクルカウンタ
●ポンプユニット model 7201 / 7301 / 7501用
① 真空ポンプ（6センサ接続用） ② センサ収納ポンプユニット ③ ポンプボックス ▶ パーティクルカウンタ１台で複数のポイントを順次切り替えながら測定します。
電源 ： 電源 AC100, 60W ▶
電源 ： AC100V, 2A 電源 ： AC100V, 1A １システム最大 32ポイントを測定できます。
寸法 ： 128（W）×242（D）× 寸法 ： 250（W）×390（D）× 寸法 ： 160（W）×260（D）× ▶ チューブは各 50 ｍまで伸長できます。
178（H）mm 265（H）mm 200（H）mm
▶ 全ポイントを常時吸引させることでチューブ内に粒子沈着することを抑制しています。
重量 ： 7.2kg 重量 ： 約8kg 重量 ： 約5kg
適用チューブ径 ：OD9.53 × ID6.35mm IN側チューブ配管長 ： 適用チューブ径 ：OD 9.53 ×
チューブ配管長 ：各30m以内推奨 3m以内推奨 ID 6.35mm
※クリーンルーム内設置NG ※クリーンルーム内設置可 チューブ配管長 ： 30m以内推奨 �� 9110-01 A100-31
※クリーンルーム内設置可
���� 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 µm 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm
●等速吸引プローブ（チューブ延長用） model 7310 / 7510用 ���� 28.3 L/ min（1.0 CFM） 28.3L/min（1.0 CFM）
�対�象パ�ー�テ�ィ�ク�ル�カウ※ンタ 100,000� /28.3 L（3,500,000� /�） 8,110,000 � /28.3L（286,383,300 � /�）
①等速吸引プローブ ②等速吸引プローブ ③等速吸引プローブ ④等速吸引プローブ
（壁面固定型） （卓上スタンド） （ パイプ型） （SUS配管型） �� 206（W）×522（D）×236（H）mm 250（W）×222（D）×226（H）mm
�� 11.1 kg 5.4kg
材質：SUS304 材質：SUS304 材質：SUS304 材質 : SUS304
スタンド高さ：320mm 高さをご指定ください 用途： 電源電� AC100�240 V 50-60 Hz AC100�240V 50-60Hz
φ8 用途：無菌充填装置 無菌充填装置 �
安全キャビネット 用途：センサ収納ポンプユニット 安全キャビネット �用��� �� 10� 35 ����912100-�0195 %（������） �� 1� 35���� A150�0-3915%（������）
無菌充填装置 ※�
溶接 安全キャビネット �������10%以� 0.1/0.15/0.2/0.25/0.3/0.5/1.0/5.0 µm 0.3/0.5/1.0/3.0/5.0/10 µm
���� 28.3 L/ min（1.0 CFM） 28.3L/min（1.0 CFM）
●等速吸引プローブ（チューブ延長用） model 7201 / 7301 / 7501 / 6201 / 6301 / 6501用 ��������※ 100,000� /28.3 L（3,500,000� /�） 8,110,000 � /28.3L（286,383,300 � /�）
�� 206（W）×522（D）×236（H）mm 250（W）×222（D）×226（H）mm
①等速吸引プローブ ②等速吸引プローブ ③等速吸引プローブ ④等速吸引プローブ
パイプ型） （SUS配管型） �� 11.1 kg 5.4kg
（壁面固定型） （床置スタンド） （
電源電� AC100�240 V 50-60 Hz AC100�240V 50-60Hz
材質 : SUS304 材質 : SUS316L 材質 : SUS304 材質 : SUS304
スタンド高さ : 1300mm �用�� �� 10� 35 ���� 20� 95 %（������） �� 1� 35���� 5� 95%（������）
高さをご指定ください 用途：
φ16 無菌充填装置 ※���� 10%以�
溶接 （t3） 用途：センサ収納ポンプユニット 安全キャビネット
無菌充填装置
安全キャビネット
●等速吸引プローブ（センサ直結） ●センサ収納ボックス
センサーユニット
model 7310/7510用 model 7201/7301/7501/
6201/6301/6501用 model 7000シリーズ用
排気フィルタユニット
材質 : SUS304 材質 : SUS304 材質 : SUS304
用途 :除染対策 �� SSU-32-5000C SSU-32-5001C SSU-32-5000CCR SSU-32-5001CCR
センサ保護用
A Status Status
EROTRAK Flow AEROTRAK Flow セ�ク���ッ� ��ッ�（入��） ��ッ�（入�����） ��ッ�（入��） ��ッ�（入�����）
Remote Partcle Counter Sample Remote Partcle Counter Sample
設置�� 一�� クリーンルーム
��ー�� 50 m（全�定�一�）
���定�� 32ポ�ント
●警報ユニット（測定ポイント数で盤サイズは異なります） 青
赤 ����� �ニ�ール�（�� : M32-01）
緑
卓上型（シグナルタワー付き） 青
赤 壁掛けタイプ 壁掛けタイプ（シグナルタワー付き） �� 700（W）×750（D）×850（H）mm
緑
���� 約 15S0SkUg-32-5000C SSU-32-5001C SSU-32-5000CCR SSU-32-5001CCR
寸法 ： 290（W）×250（D）× 運転スイッチ 運転操作スイッチ
583（H）mm N P
外部入出力： 電セ源�電ク���ッ� 3 Φ�20�0ッ V�, （3 k入V�A�） ��ッ�（入�����） ��ッ�（入��） ��ッ�（入�����）
状態出力： 異 常 GL
状態出力： 異 常 一括警報出力 PB SS �設用置���� �� 0� 40 ����一0��90 %（������） クリーンルーム
N P
運転指令入力 警 報
警 報
正 常 �����ー�� �50� m�（全�定�一�）
正 常 �����定�� �32�ポ��内ン�ト�キャ��ー（�トッ�ー��）�AC100V�ンセント x����ル�ット�定��
����� �ニ�ール�（�� : M32-01）
6 �� 700（W）×750（D）×850（H）mm 7
�� 約 150kg
電源電� 3 Φ 200 V, 3 kVA
�用�� �� 0� 40 ���� 0� 90 %（������）
���� ���
�� ���内��キャ��ー（�トッ�ー��）�AC100V�ンセント x����ル�ット�定��
500
700
1300
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流路切替方式（マニホールド）
オプション（Optional Parts）
●等速吸引プローブ
サンプリングスタンド（可変式） 等速吸引プローブ（壁面固定型） 等速吸引プローブ （ SUS配管型） 清浄度監視システム
材質 : SUS304 材質 : SUS304 材質 : SUS304
スタンド高さ調節可 : 120 用途 :高温炉内・耐薬品性
1/8”
10.6φ 120
960～ 1580mm
溶接
φ8 溶接 4-M6ボトルナット
φ21.7
1/2” 180
全周 2
21.7φ
φ12 コーキング R90 サンプリング
チューブ
ネジ止め 溶接
φ15.7 φ11.9 φ12
●警報ユニット（測定ポイント数で盤サイズは異なります）
卓上型（シグナルタワー付き） 青
赤 壁掛けタイプ
緑
N P
寸法 : 290（W）×250（D）×583（H）mm 運転スイッチ
状態出力： 外部入出力：
異 常 Manifold
一括警報出力
警 報 N P
運転指令入力
正 常
清浄度クラス 上限濃度（個 /m3）
ISO 14644-1:2015 ISO14644-1 Fed.Std-209E 0.1 μm 0.2 μm 0.3 μm 0.5 μm 1 μm 5 μm
清浄度クラスの上限濃度 Class 1 10
（個 /㎥） Class 2 100 24 10
Class 3 Class 1 1,000 237 102 35
Class 4 Class 10 10,000 2,370 1,020 352 83 9110
6000 Series
Class 5 Class 100 100,000 23,700 10,200 3,520 832
Class 6 Class 1,000 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
Class 7 Class 10,000 352,000 83,200 2,930
Class 8 Class 100,000 3,520,000 832,000 29,300
Class 9 35,200,000 8,320,000 293,000
モニタリングに関しての最大許容粒子濃度（個 /m3） 7000 Series
EU-GM P （ 欧州薬局方）、 非作業時※1 作業時
グレード
PIC/S GMP 0.5μm以上 5.0μm以上 0.5μm以上 5.0μm以上
※1 非作業時の粒子限界値は、操作の完了後、無人の状態
A 3,520 29 3,520 29 において認定中に定められた短い “クリーンアップ”
時間（20分未満のガイダンス値）後に達成されるべ
B 3,520 29 352,000 2,930 きである。
C 352,000 2,930 3,520,000 29,300 ※2 リスク評価および日常的なデータに基づいて、運用上
D 3,520,000 29,300 －※2 －※2 の管理値を確立する必要がある。 A100-31
AEROTRAKTM+
TSI社（TRUST・SCIENCE・INNOVATION）は1961年に設立。エアロゾル研究に関する測定器のリーディングカンパニーとして、
発展しています。TSI 社には、ミネソタ州 St.Paul 郊外の Shoreview の本社・工場（ISO9001：2001 認証）に加えて、アメ
リカ国内をはじめ、ヨーロッパ、アジア地域でカスタマーサポートを提供しています。
モニタリング製品
安全に関するご注意
ご使用の際は取扱説明書をよくお読みのうえ正しくお使いください。 最新情報はHPにて随時更新！
※表示価格に消費税は含まれておりません。
※本カタログに記載の仕様、デザイン、価格等は予告なく変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
クリーンエンジニアリング事業部
https://www.nitta.co.jp
大 阪 本 社 〒556-0022 大阪市浪速区桜川4-4-26
TEL.06-6563-1235 FAX.06-6563-1265
東 京 支 店 〒104-0061 東京都中央区銀座8-2-1
TEL.03-6744-2740 FAX.03-6744-2741
奈 良 工 場 〒639-1085 奈良県大和郡山市池沢町172
TEL.0743-56-9400 FAX.0743-56-4403
2026.01.KY C-H-002-03
80～585
1000～1500